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公开(公告)号：KR101034647B1
公开(公告)日：2011-05-16
申请号：KR1020080096256
申请日：2008-09-30
Applicant: (주)유우일렉트로닉스
IPC: H01L29/84
Abstract: 본 발명은 웨이퍼 레벨 패키징을 이용한 NDIR 방식의 가스 센서용 적외선 감지소자 및 그의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명은, 지지층이 형성된 상부기판, 지지층의 일면 상에 형성된 절연층, 절연층 상에 형성된 전극층, 전극층 상에 형성된 보호층, 내면에 제1캐비티가 형성되고 내면 또는 외면에 적외선 필터가 형성되어 하부기판의 상부에 접합된 상부기판, 상부기판의 내면상에 형성된 게터, 하부기판 및 상부기판을 접합시키기 위한 금속솔더층을 포함하며,
여기서, 하부기판은 상면에 적어도 하나의 제2캐비티가 형성되고 각 제2캐비티의 상부 공간상에 적외선을 감지하는 감지부와, 감지부의 양측으로 그 감지부를 지지하는 지지부가 형성되며, 이때, 감지부는 절연층 내 지지층 상에 형성된 반사층과, 보호층 내 절연층 상에 형성되어 전극층과 연결되도록 구성된 감지층을 포함하고,
하부기판 및 상부기판은 내부가 진공상태로 접합된 것을 특징으로 한다.
NDIR, 웨이퍼 레벨 패키징(WLP), 이산화탄소, 적외선, 감지센서, 볼로메터, 캐비티, 기판-
公开(公告)号：KR1020100116332A
公开(公告)日：2010-11-01
申请号：KR1020090034981
申请日：2009-04-22
Applicant: (주)유우일렉트로닉스
IPC: H05B37/02
CPC classification number: Y02B20/40 , Y02B20/44 , Y02B20/445 , H05B37/0227 , F21V23/0471
Abstract: PURPOSE: A sensor lamp is provided to automatically turn on/off by detecting a human body through a micro-bolometer. CONSTITUTION: A sensor lamp comprises a micro-bolometer module(20), a control module(CM), and an illuminance sensor(10). The micro-bolometer module detects the resistance change due to thermal energy which is radiated from a human body and continuously output a detection signal. The control module controls the on/off of the sensor lamp according to the detection signal which is outputted from the micro-bolometer module. The illuminance sensor outputs an operation signal to the micro-bolometer module according to ambient illuminance.
Abstract translation: 目的：提供一个传感器灯，通过微型辐射热量计检测人体自动开启/关闭。 构成：传感器灯包括微测辐射热计模块（20），控制模块（CM）和照度传感器（10）。 微测辐射热计模块检测由于人体辐射的热能引起的电阻变化，并连续输出检测信号。 控制模块根据从微量热计量模块输出的检测信号，控制传感器灯的开/关。 照度传感器根据环境照度向微量热仪模块输出一个操作信号。
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13.发明授权
公开(公告)号：KR101679018B1
公开(公告)日：2016-11-25
申请号：KR1020150114797
申请日：2015-08-13
Applicant: (주)유우일렉트로닉스
Abstract: 본발명의일 실시형태에따른테스트회로를구비한판독집적회로는볼로미터센서내부의진공상태및 볼로미터센서에포함된액티브셀들간의저항값편차를판독하기위한판독집적회로에있어서, 바이어스전원이인가되면, 더미셀들을순차적으로스위칭하여바이어스전원에의해가변되는저항값을전압으로출력하는스위치모듈을포함하며, 더미셀들의저항값변화는, 액티브셀들간의저항값편차및 볼로미터센서내부의진공상태중 적어도하나를판단하는데이용될수 있다.
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公开(公告)号：KR101569191B1
公开(公告)日：2015-11-16
申请号：KR1020140035462
申请日：2014-03-26
Applicant: (주)유우일렉트로닉스
Abstract: 웨이퍼레벨패키징소자가제공된다. 본발명의패키징소자는, 센서가형성되어있는하부센서기판; 상기하부센서기판상에제공되고, 상기센서가수용될수 있도록그 일면에캐비티가형성되어있는상부캡 기판; 및상기하부센서기판과상부캡 기판을접착하는금속솔더층;을포함하고, 상기상부캡 기판은 SOI 웨이퍼이고, 상기캐비티는상기 SOI 웨이퍼를이루는하부 Si층과절연체층을순차적으로제거함으로써형성되는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR1020140133775A
公开(公告)日：2014-11-20
申请号：KR1020140035461
申请日：2014-03-26
Applicant: (주)유우일렉트로닉스
CPC classification number: H01L2924/16235 , H01L23/48 , B81B7/02 , H01L27/12
Abstract: 웨이퍼레벨 패키징 소자가 제공된다.
본 발명의 패키징 소자는, 센서가 형성되어 있는 하부 센서 기판; 상기 하부 센서 기판상에 제공되고, 상기 센서가 수용될 수 있도록 그 일면에 캐비티(cavity)가 형성되어 있는 상부 캡(Cap) 기판; 상기 하부 센서 기판과 상기 상부 캡 기판을 접착하는 금속솔더층;을 포함하고, 상기 하부 센서 기판상에는, 상기 센서와 상기 금속 솔더층과의 사이에 상하부 기판의 접합시 발생하는 용융 금속솔더층의 리플로우를 차단할 수 있는 제1 리플로우 차단막이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.Abstract translation: 提供晶片级封装装置。 本发明的包装装置包括：具有传感器的下传感器基板; 上盖基板，其形成在所述下传感器基板上，并且在一个表面上具有用于接收所述传感器的空腔; 以及将下传感器基板结合到上盖基板的金属焊料层。 在下传感器基板上形成有用于切断熔融金属焊料层的回流的第一回流切断膜，该熔融金属焊料层在上下基板与传感器与金属焊料层之间的间隙接合时产生。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101307436B1
公开(公告)日：2013-09-12
申请号：KR1020110117153
申请日：2011-11-10
Applicant: (주)유우일렉트로닉스
CPC classification number: B81B7/0038 , B81B7/007 , B81B2201/0207 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2207/096 , B81C1/00269 , B81C1/00285 , B81C2203/0118 , G01P15/0802 , H01L31/02016 , H01L2224/291 , H01L2924/014
Abstract: 본 발명에 따른 MEMS 센서 패키징은, ROIC 회로가 형성된 제 1 웨이퍼와; 상기 제 1 웨이퍼와 대응하도록 배치되고, 일면에 오목부가 형성되어 MEMS 센서가 마련된 제 2 웨이퍼와; 상기 제 1 웨이퍼와 상기 제 2 웨이퍼를 접합하여 상기 MEMS 센서가 밀봉되도록 상기 MEMS 센서의 주위를 따라 형성된 접합 솔더와; 상기 제 1 웨이퍼의 ROIC 회로와 상기 제 2 웨이퍼의 MEMS 센서가 전기적으로 연결되도록 형성된 패드 솔더를 포함하는 점에 그 특징이 있다.
본 발명에 따르면, ROIC 회로가 형성된 웨이퍼와 MEMS 센서가 형성된 웨이퍼를 접합하여 패키징하는데 있어서, ROIC 회로와 MEMS 센서를 전기적으로 연결하기 위한 패드 솔더를 내부에 형성함으로써 패키지의 크기를 줄이고, 안정적으로 전기적 신호를 공급할 수 있다.-
公开(公告)号：KR101033115B1
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：KR1020090034981
申请日：2009-04-22
Applicant: (주)유우일렉트로닉스
IPC: H05B37/02
CPC classification number: Y02B20/40 , Y02B20/44 , Y02B20/445
Abstract: 본 발명은 복도나 현관 등에 설치되어 출입하거나 대기하는 사람을 감지하여 자동으로 점멸시키는 에너지 절약형 인체감지 조명등에 관한 것이다.
이러한 본 발명은, 감지영역 내로 출입하는 인체를 감지하여 자동으로 점멸되는 조명등에 있어서, 상기 감지영역 내로 출입하거나 감지영역 내에서 대기하는 인체에서 방사되는 열에너지에 의한 저항 변화에 따라 검출 및 증폭하여 감지신호를 지속적으로 출력하는 마이크로 볼로미터 모듈; 상기 마이크로 볼로미터에서 출력된 감지신호에 따라 조명등의 점멸을 제어하는 제어모듈;로 구성된다.
따라서, 본 발명은 감지영역 내로 출입하는 인체를 감지하여 조명등을 자동으로 점멸시킬 뿐만 아니라, 감지영역 내로 들어온 사람이 움직이거나 미동 없이 대기하고 있더라도 조명등의 점등을 유지하며, 이에 따라 사용자의 편리성 및 에너지 절감을 기대할 수 있는 장점이 있다.
감지영역, 자동 점멸, 조명등, 인체감지, 마이크로 볼로미터, 저항 변화.-
公开(公告)号：KR1020100036853A
公开(公告)日：2010-04-08
申请号：KR1020080096256
申请日：2008-09-30
Applicant: (주)유우일렉트로닉스
IPC: H01L29/84
Abstract: PURPOSE: A high sensitive infrared detector for an NDIR-type gas sensor using a wafer level packaging and a method for manufacturing the same are provided to reduce manufacturing cost and time using the junction of a wafer. CONSTITUTION: An upper substrate(121) includes a first cavity and an infrared filter and is bonded on the upper side of a lower substrate. A getter is formed in the upper substrate. A metal solder layer bonds the upper substrate and the lower substrate. At least one second cavity is formed on the upper side of the lower substrate. A sensor(113) and a support unit(115) are formed on the second cavity. The sensor senses infrared rays. The support unit supports the both side of the sensor.
Abstract translation: 目的：提供一种用于使用晶片级封装的NDIR型气体传感器的高灵敏度红外检测器及其制造方法，以减少使用晶片结的制造成本和时间。 构成：上基板（121）包括第一空腔和红外滤光器，并且结合在下基板的上侧。 在上基板上形成吸气剂。 金属焊料层结合上基板和下基板。 在下基板的上侧形成有至少一个第二空腔。 传感器（113）和支撑单元（115）形成在第二腔体上。 传感器感测红外线。 支撑单元支撑传感器的两侧。
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公开(公告)号：KR102228266B1
公开(公告)日：2021-03-18
申请号：KR1020190016107
申请日：2019-02-12
Applicant: (주)유우일렉트로닉스
Abstract: 본발명의일 실시형태에따른열화상카메라를이용한온도측정장치는, 열화상카메라에대하여 X축이출력코드차, Y축이온도차로표현되는다수개의실측값으로표시되는출력코드차 대비온도차 곡선을구하는제1 연산모듈과, 출력코드차 대비온도차 곡선을이용하여커브피팅된출력코드차 대비온도차 함수를구하는제2 연산모듈과, 커브피팅된출력코드차 대비온도차 함수를적용하여대상물의온도를측정하는제3 연산모듈을포함할수 있다.
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