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公开(公告)号：KR1020140032026A
公开(公告)日：2014-03-14
申请号：KR1020120097121
申请日：2012-09-03
Applicant: (주)펨트론
Abstract: An electron beam irradiator for transferring a vacuum mode according to an embodiment of the present invention includes: a chamber having a space in where a sample is mounted and in which a column with a structure that is in communication with the space is installed; a first pump connected to the chamber to suck air in the chamber until the internal pressure in the chamber becomes high vacuum pressure; a second pump connected to the chamber and the first pump to suck air therein until the internal pressure therein becomes low vacuum pressure; and a valve part installed in the chamber and connected to the first pump and the second pump to open and close a first flow path for the air from the chamber to the first pump and a second flow path for the air from the chamber to the second pump.
Abstract translation: 根据本发明的实施例的用于传送真空模式的电子束照射器包括：具有安装样本的空间的腔室，并且其中安装有与该空间连通的结构的列; 连接到所述室以吸入所述室中的空气的第一泵直到所述室中的内部压力变得高真空压力; 连接到所述室的第二泵和所述第一泵以吸入其中的空气，直到其内部压力变得低真空压力; 以及阀部件，其安装在所述腔室中并且连接到所述第一泵和所述第二泵，以打开和关闭用于空气从所述腔室到所述第一泵的第一流路和用于从所述腔室到所述第二泵的空气的第二流动路径 泵。
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公开(公告)号：KR1020130115515A
公开(公告)日：2013-10-22
申请号：KR1020120037868
申请日：2012-04-12
Applicant: (주)펨트론
Abstract: PURPOSE: An electronic beam emitting device having a vibration reduction structure is provided to completely block a vibration by secondarily reducing the vibration delivered to a chamber by a bellows. CONSTITUTION: A chamber is installed in a basic frame. A vacuum generating unit (150) provides vacuum pressure into the chamber. A pump support unit (140) supports the vacuum generating unit. A vibration absorbing unit is installed in the basic frame. The vibration absorbing unit absorbs a vibration of the vacuum generating unit.
Abstract translation: 目的：提供一种具有减振结构的电子束发射装置，以通过二次减小通过波纹管传递到腔室的振动来完全阻挡振动。 构成：一个房间安装在一个基本框架中。 真空发生单元（150）向腔室提供真空压力。 泵支撑单元（140）支撑真空发生单元。 振动吸收单元安装在基本框架中。 振动吸收单元吸收真空发生单元的振动。
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公开(公告)号：KR101152798B1
公开(公告)日：2012-06-14
申请号：KR1020100076360
申请日：2010-08-09
Applicant: (주)펨트론
Inventor： 조철훈
Abstract: 듀얼 파장 디지털 홀로그래피를 이용한 3D 측정 장치에 있어서, 상호 상이한 파장과 편광 상태를 갖는 제1 광 및 제2 광을 조사하는 광원부와 상기 광원부로부터 조사되는 상기 제1 광과 상기 제2 광을 측정 광 경로와 기준 광 경로로 분할하여 출력하고, 상기 제1 광 및 상기 제2 광이 상기 측정 광 경로 상에 배치된 측정 대상물로부터 각각 반사되어 형성되는 제1 측정광 및 상기 제2 측정광이 입사되는 광분할간섭부와 상기 기준 광 경로 상에 배치되어 상기 광분할간섭부로부터의 상기 제1 광 및 상기 제2 광을 각각 상기 제1 측정광 및 상기 제2 측정광에 각각 소정 각도 기울어진 제1 기준광 및 제2 기준광으로 변화하여 상기 광분할간섭부로 출력하는 기준광발생부와 상기 광분할간섭부로 입사된 상기 제1 측정광과 상기 제1 기준광 간의 간섭에 의하여 형성된 제1 간섭광과, 상기 광분할간섭부로 입사된 상기 제2 측정광과 상기 제2 기준광 간의 간섭에 의하여 형성된 제2 간섭광을 촬상하는 촬상부와 상기 촬상부에 의해 촬상된 상기 제1 간섭광 및 상기 제2 간섭광으로부터 각각 홀로그램을 추출하여 상기 측정대상물의 표면 형상을 측정하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 한 장의 홀로그램 영상으로 마치 두 장의 홀로그램 영상을 얻을 수 있으며, 마이켈슨 간섭계 또는 트와인만-그린 간섭계를 이용하여 기준광이 측정광과 동일한 위상 변조를 따르기 때문에 별도의 대물렌즈 위상 변조 보상을 요하지 않는다.
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公开(公告)号：KR100955272B1
公开(公告)日：2010-04-30
申请号：KR1020090006789
申请日：2009-01-29
Applicant: (주)펨트론
Abstract: 본 발명은 측정대상물의 표면의 2D 이미지를 촬상하는 표면형상 측정장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 표면형상 측정장치는 제1 단색광을 상기 측정대상물의 표면에 조사하는 제1 광원과; 상기 제1 단색광과 상이한 색상의 제2 단색광을 상기 측정대상물의 표면에 조사하는 제2 광원과; 상기 제1 광원 및 상기 제2 광원으로부터 조사되어 상기 측정대상물의 표면으로부터 반사된 상기 제1 단색광 및 상기 제2 단색광을 촬상하는 흑백 카메라와; 상기 제1 단색광 및 상기 제2 단색광이 상기 측정대상물의 표면에 각각 조사되는 상태에서 상기 제1 단색광 및 상기 제2 단색광에 각각 대응하는 제1 흑백 이미지 데이터 및 제2 흑백 이미지 데이터가 획득되도록 상기 제1 광원, 상기 제2 광원 및 상기 흑백 카메라를 제어하며, 상기 제1 흑백 이미지 데이터 및 상기 제2 흑백 이미지 데이터에 기초하여 제3 흑백 이미지 데이터를 산출하며, 상기 제1 흑백 이미지 데이터, 상기 제2 흑백 이미지 데이터 및 상기 제3 흑백 이미지 데이터를 상호 대응하는 픽셀에 대한 R,G,B 데이터로 처리하여 상기 측정대상물의 표면에 대한 합성 컬러 이미지를 생성하는 제어부를 포함하며, 상기 제1 단색광은 녹색광 및 청색광 중 어느 하나이고, 상기 제2 단색광은 적색광인 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 저비용의 흑백 카메라를 이용하여 컬러 2D 이미지를 획득 가능하게 되고, 컬러 카메라보다 처리 속도가 빠른 흑백 카메라를 이용함으로써 처리 속도 또한 향상시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020090120383A
公开(公告)日：2009-11-24
申请号：KR1020080098020
申请日：2008-10-07
Applicant: (주)펨트론
Abstract: PURPOSE: A surface profile measuring apparatus is provided to obtain a 2D(2-Dimensional) color image by using an inexpensive monochrome camera. CONSTITUTION: A surface profile measuring apparatus is composed of first, second, and third light sources(31,32,33), a monochrome camera(10), and a control unit(40). The first light source irradiates a first monochromatic light to the surface of an object(100). The second light source irradiates the first monochromatic light and a second monochromatic light having another color to the surface of the object. The third light source irradiates a third monochromatic light which is different from the first and second monochromatic lights to the surface of the object. The monochrome camera photographs the first, second, and third monochromatic lights reflected from the surface of the object. The control unit controls the first, second, and third light sources and the monochrome camera to obtain the first, second, and third black-and-white image data corresponded to the first, second, and third monochromatic lights. The control unit generates a color composite image about the surface of the object by processing the black-and-white image data as RGB(Red Green Blue) data about the corresponded pixel.
Abstract translation: 目的：提供一种表面轮廓测量装置，通过使用廉价的单色相机来获得2D（2维）彩色图像。 构成：表面轮廓测量装置由第一，第二和第三光源（31,32,33），单色相机（10）和控制单元（40）组成。 第一光源将第一单色光照射到物体（100）的表面。 第二光源将第一单色光和具有另一颜色的第二单色光照射到物体的表面。 第三光源将与第一和第二单色光不同的第三单色光照射到物体的表面。 单色相机拍摄从物体表面反射的第一，第二和第三单色光。 控制单元控制第一，第二和第三光源和单色相机，以获得对应于第一，第二和第三单色光的第一，第二和第三黑白图像数据。 控制单元通过处理黑白图像数据作为关于对应像素的RGB（红绿蓝）数据来生成关于对象表面的彩色合成图像。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100681885B1
公开(公告)日：2007-02-12
申请号：KR1020040012372
申请日：2004-02-24
Applicant: (주)펨트론
IPC: G01B11/25
Abstract: 본 발명은 투영격자와 상기 투영격자를 통해 측정물에 광을 투영하는 광원을 갖는 영사장치와, 상기 측정물에 투영된 광에 의해 형성된 격자이미지를 결상하기 위한 결상장치를 갖는 모아레 시스템을 이용한 표면형상 측정방법에 있어서, 상기 결상장치로부터 상이한 이격거리를 갖는 복수의 표본 기준면에 대한 기준위상 데이터를 산출하는 단계와; 상기 결상장치와 상기 측정물에 대한 실제 기준면 간의 이격거리를 검출하는 단계와; 상기 모아레 시스템을 이용하여 상기 측정물의 표면에 대한 측정위상 데이터를 산출하는 단계와; 상기 기준위상 데이터들 중 검출된 상기 실제 기준면의 이격거리에 대응하는 기준위상 데이터와 상기 측정위상 데이터에 기초하여 상기 측정물의 표면형상에 대한 데이터를 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 복수의 기준면에 대한 기준위상을 사용하여 보다 정밀한 표면형상 측정을 가능하게 하고, 모아레 시스템의 가격을 낮출 수 있다.
Abstract translation: 使用具有用于成像由具有用于通过投影光栅和投影光栅光投射到测量对象的光源的投射装置形成的网格图像的成像装置的莫尔系统的本发明的表面，所述光投射到测量对象 一种测量形状的方法，该方法包括：计算与成像设备距离不同的多个样本参考平面的参考相位数据; 检测图像形成设备和实际参考平面之间相对于被测物体的分离距离; 使用莫尔系统计算物体表面的测量相位数据; 基于所测量的相位数据计算与从参考相位数据检测到的实际参考平面的距离相对应的参考相位数据和关于测量对象的表面形状的数据。 由此，能够使用多个基准面的基准相位进行更正确的表面形状测定，能够降低莫尔条纹系统的价格。
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公开(公告)号：KR101916134B1
公开(公告)日：2018-11-08
申请号：KR1020170008882
申请日：2017-01-18
Applicant: (주)펨트론
Abstract: 본발명은인쇄회로기판상의컨포멀코팅검사장치에관한것으로, 상기인쇄회로기판에광을조사하는조명모듈과, 광이조사된상기인쇄회로기판을촬영하는카메라모듈과, 상기카메라모듈에의해촬영된영상의각 픽셀데이터를색도좌표계상의색좌표데이터로변환하는색좌표변환부와, 상기색좌표데이터의좌표평균값을산출하고, 상기좌표평균값이기 설정된기준범위를벗어나는경우상기컨포멀코팅의불량으로판단하는양불판단부와, 상기조명모듈이적색광, 녹색광및 UV 광을선택적으로조사하도록상기조명모듈을제어하고, 상기조명모듈이적색광, 녹색광및 UV 광을각각조사할때 상기카메라모듈이상기인쇄회로기판을각각촬영하도록제어하는메인제어부를포함하고; 각각의상기픽셀데이터는적색광에대응하여촬영된적색데이터와, 녹색광에대응하여촬영된녹색데이터와, UV 광에대응하여촬영된 UV 데이터를포함하는것을특징으로한다. 이에따라, 인쇄회로기판의검사영역으로부터컬러데이터및 UV 데이터를포함하는픽셀데이터를획득하고, 픽셀데이터를색도좌표계상의색좌표데이터로변환하여검사영역의각 픽셀의색좌표데이터의평균값을이용하여컨포멀코팅의불량여부를판단함으로써, 코팅영역과코팅이되지않은영역간의대조(Contrast)의차이가명확하지않은경우에도보다정확한검사가가능하게된다.
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公开(公告)号：KR101327357B1
公开(公告)日：2013-11-11
申请号：KR1020120037868
申请日：2012-04-12
Applicant: (주)펨트론
Abstract: 본 발명은 진동 감쇄 구조를 가진 전자빔 조사장치에 관한 것이며, 상세하게는 챔버로 전달되는 진동을 감쇄시킬 수 있는 진동 감쇄 구조를 가진 전자빔 조사장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 진동 감쇄 구조를 가진 전자빔 조사장치는, 기초프레임에 설치된 챔버; 제 2 진동흡수부재가 마련된 진공배관이 구비되고, 상기 진공배관을 통해 상기 챔버에 연결되어 상기 챔버 내부로 진공압력을 제공하는 진공발생부; 상기 챔버와 이격된 위치에서 상기 기초프레임에 설치된 한 쌍의 지지바와, 상기 한 쌍의 지지바를 덮도록 상기 한 쌍의 지지바에 결합되어 상기 진공발생부를 지지하는 펌프지지플레이트가 구비된 펌프지지부; 및 상기 펌프지지부와 이격된 위치에서 상기 기초프레임과 상기 챔버 사이에 설치되어, 상기 진공발생부에서 상기 기초프레임으로 전달된 진동을 흡수하는 복수의 제 1 진동흡수부재가 구비된 진동흡수부를 포함하고, 상기 진공발생부의 작동시 상기 진공발생부에서 발생된 진동은 상기 진공발생부에서 상기 펌프지지플레이트, 상기 한 쌍의 지지바와 상기 기초프레임으로 순차적으로 전달되어 상기 복수의 제 1 진동흡수부재에 의해 1차적으로 진동감쇄된 상태로 상기 챔버의 하부로 전달되고, 상기 진공배관을 통해 상기 챔버로 전달되는 진동은 상기 제 2 진동흡수부재에 의해 2차적으로 진동감쇄된 상태로 상기 챔버로 전달되는 것이 바람직하다.
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公开(公告)号：KR1020130115516A
公开(公告)日：2013-10-22
申请号：KR1020120037870
申请日：2012-04-12
Applicant: (주)펨트론
IPC: H01L21/02
CPC classification number: H01L21/02 , F16K31/1225 , F16K51/02 , G01N23/2251
Abstract: PURPOSE: An electron beam irradiator having a vacuum valve and a method for controlling the vacuum valve are provided to simplify the structure of a vacuum generation part by providing a first and a second vacuum pressure to a chamber through a single valve structure. CONSTITUTION: A chamber (120) is installed on a base frame (110). A vacuum generation part (130) is connected to the chamber. The vacuum generation part provides a first vacuum pressure or a second vacuum pressure to the chamber. A vacuum valve part (140) is connected between the chamber and the vacuum generation part. The vacuum valve part selectively provides the first vacuum pressure or the second vacuum pressure to the chamber.
Abstract translation: 目的：提供具有真空阀的电子束照射器和用于控制真空阀的方法，以通过单个阀结构向腔室提供第一和第二真空压力来简化真空产生部件的结构。 构成：室（120）安装在基架（110）上。 真空产生部分（130）连接到腔室。 真空产生部分向腔室提供第一真空压力或第二真空压力。 真空阀部分（140）连接在腔室和真空产生部件之间。 真空阀部件选择性地向腔室提供第一真空压力或第二真空压力。
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