用于加工半导体薄膜晶片的晶片支撑粘合膜

    公开(公告)号:CN102150240A

    公开(公告)日:2011-08-10

    申请号:CN200980118992.5

    申请日:2009-01-15

    Abstract: 本发明提供了用于制造半导体薄膜晶片的晶片支撑粘合膜,所述半导体薄膜晶片在半导体晶片的膜减薄工艺期间不需要单独的粘合装置,所述晶片支撑粘合膜不受半导体晶片尺寸的任何限制,其通过在耐热基材上涂布丙烯酸类粘合剂层而防止研磨水渗透,其在剥离期间不在电路表面上留下任何粘合剂层且因此不需要附加的洗涤工艺,从而防止了在复杂的工艺期间可能发生的半导体晶片中的损伤以及电路表面的污染。为此,本发明的所述用于制造半导体薄膜晶片的晶片支撑粘合膜包含耐热基材和涂布在耐热基材上的耐热粘合剂层,其中所述耐热粘合剂层包含分子量为500,000~3,000,000的丙烯酸类共聚物、可能量束固化的丙烯酸类低聚物和光引发剂。

    用于处理基材的高疏水表面的方法

    公开(公告)号:CN102084027A

    公开(公告)日:2011-06-01

    申请号:CN200980111635.6

    申请日:2009-06-18

    CPC classification number: B82Y30/00 B05D1/185 B05D1/60 B05D5/083

    Abstract: 本发明涉及为对基材提供高疏水性而将基材表面改性成高疏水性的方法。更具体地说,本方法利用了在基材改性期间具有低表面能、但链长不同的两种不同的有机硅烷分子的自发相分离。分别由相分离的长、短低表面能有机硅烷分子形成域结构和基质结构,由两者的高度差导致的表面粗糙度能够摹拟荷叶效应的超疏水性。所述方法以此方式能够对基材赋予高疏水性。为此目的,将基材表面处理成高疏水性的方法的特征在于,使用具有CF3基团作为官能团的有机硅烷以及碳链长度比前述有机硅烷更短且具有CH3基团作为官能团的有机硅烷,通过化学气相沉积来形成混合自组装单层(SAM),由此获得高疏水性的表面。

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