公开(公告)号：CN109781097A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201711128909.5

申请日：2017-11-15

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 郭中洋 ,  刘飞 ,  盛洁 ,  苏翼 ,  夏春晓 ,  王登顺 ,  刘凯 ,  崔健 ,  林梦娜

IPC: G01C21/16 ,  B81B7/02 ,  B81B7/00

Abstract: 本发明属于定位导航授时(PNT)领域，具体涉及一种集成化微PNT单元；包括中心微时钟模块和外侧微惯性模块；中心微时钟模块的锚点位于中心，锚点的外部分布有若干圆环，圆环与圆环之间均匀分布有径向短梁，外电极分布在最外围，工作时，通过静电力作用和闭环反馈实现稳定控制，对外提供稳定的频率信息；微惯性模块的环形锚点位于中心，圆环位于外侧，圆环与环形锚点之间均匀分布有组合梁，圆环的内、外侧均匀分布有平面外电极和平面内电极、圆环上下表面分布有离面电极，实现X、Y、Z三轴向加速度输入和X、Y、Z三轴向角运动输入的敏感。本发明整体可通过MEMS平面工艺实现，不涉及微观层面的多层堆叠和精密组装，实现工艺较为简单。

公开(公告)号：CN105424020A

公开(公告)日：2016-03-23

申请号：CN201510727774.9

申请日：2015-10-30

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 郭中洋 ,  杨军 ,  刘飞 ,  盛洁 ,  窦茂莲 ,  胡兴雷 ,  崔健 ,  林梦娜 ,  刘凯

IPC: G01C19/5747

CPC classification number: G01C19/5747

Abstract: 本发明属于敏感结构，具体涉及一种带解耦功能的音叉型微机电陀螺敏感结构。一种带解耦功能的音叉型微机电陀螺敏感结构，呈左右对称分布，左右半边主体结构均由驱动框、驱动检测转接框、检测框三框组成，其中驱动框设置在最外侧，检测框在最内侧，驱动检测转接框设置在中间，左右半边主体通过驱动框和驱动检测转接框连接为一个整体；驱动检测转接框上设有正交耦合误差抑制结构。本发明的效果是：本发明采用对称式三框设计，即驱动框、驱动检测转接框、检测框，同时采用单自由度梁连接各框，进而限定各框和质量块的运动自由度，实现了驱动与检测之间的双向解耦，能够在很大程度上抑制耦合误差。