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公开(公告)号：CN119986043A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202411959667.4
申请日：2024-12-30
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供一种MEMS加速度计测控与补偿电路，所述电路包括ARM芯片、载波发生模块、电荷放大器、前置放大器、A/D转换模块、解调滤波模块以及综合补偿模块；其中，利用ARM芯片控制载波发生模块，生成满足要求的数字合成正弦波；载波发生模块作用于MEMS加速度计上，加速度计敏感到的加速度信息被调制在载波发生模块中产生的正弦载波上，信号经过电荷放大器转换为电压信号，再经过前置放大变成强信号，该强信号被ARM芯片控制的A/D转换模块转换为数字信号，数字信号经过解调滤波模块后，经过综合补偿模块，得到最终的加速度输出。该方案可以根据不同的加速度计表头补偿各类误差，使得加速度计能够在一定的量程范围内稳定输出。
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公开(公告)号：CN119827798A
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202411943489.6
申请日：2024-12-27
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明提供一种MEMS加速度计标度因数批量化测试装置及方法，装置包括离心机和多个测试工装，离心机具有离心机圆盘，多个测试工装沿离心机圆盘的周向均匀间隔设置在圆盘面上，其中，每两个对称测试工装为一组，测试工装包括：固定底板、测试电路转接工装、加速度计固定装置和测试电路板，固定底板固定设置在圆盘上，测试电路转接工装为两个，对称间隔固定在固定底板上，测试电路板固定设置在两个转接工装上，加速度计通过加速度计固定装置设置在测试电路板上并与测试电路板电气联结。本发明通过使用特定的批量测试工装和计算方法，同时完成多只加速度计的标度因数对称性测试。
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公开(公告)号：CN118566535A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202311797092.6
申请日：2023-12-25
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/125 , G01P15/08
Abstract: 本发明涉及加速度计技术领域，公开了一种用于电容式加速度计的静电调制方法。其中，该方法包括：在电容式加速度计中设置与质量块M相对的调制电极T；在调制电极T上施加交流调制电压VT，产生静电弹簧效应；产生静电弹簧效应后，电容式加速度计的输出作为位移检测电路的输入，输出得到检测位移VM；将检测位移VM与给定位移Vd作为力反馈控制器GC的输入，输出得到力反馈信号，并将力反馈信号反馈至电容式加速度计作为输入；通过解调模块对力反馈信号进行实时监测并解调；在解调结果中存在弹性力时，通过PI调节模块自动调节给定位移Vd，得到调节后的位移，并将调节后的位移与检测位移VM作为力反馈控制器GC的输入，直至解调结果中不存在弹性力。
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公开(公告)号：CN117949012A
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202311828547.6
申请日：2023-12-27
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供一种基于ARM的MEMS器件标度因数补偿系统，该系统包括ARM芯片、A/D转换模块、标度因数补偿模块和标准信息输出模块，其中，所述ARM芯片控制所述A/D转换模块采集MEMS器件未补偿前输出的传感器信息，并将该传感器信息采集进入ARM芯片，所述A/D转换模块将传感器信息转换之后输出至所述标度因数补偿模块，所述标准信息输出模块输出加速度/角速率标准信息至所述标度因数补偿模块，所述标度因数补偿模块根据其输入进行标度因数补偿。该技术方案可以根据不同的MEMS器件类型修正其标度因数误差，使得在MEMS器件规定的工作温度范围内标度因数能够满足要求的误差范围。
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公开(公告)号：CN111707250B
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202010493576.1
申请日：2020-06-03
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C19/5607 , G01C19/5621 , F16F15/04 , F16F15/02
Abstract: 本发明涉及一种石英音叉陀螺减振装置，石英音叉(103)、组合梁(301)、膜状结构(302)以及管壳(303)。组合梁(301)包含四个呈空间S形分布弹性梁(311)，外侧与膜状结构(302)固定，内侧与石英音叉中心锚点(104)相连，膜状结构(303)。膜状结构(302)整体呈长方形，在与驱动叉指(105)和所述检测叉指(106)对应处开有豁口(320)。在不增大体积的条件下，能够有效隔离和衰减外界振动、冲击等力学输入，抑制应力。(302)的下部为用于提供稳定封闭环境的管壳
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110440798B
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN201910638589.0
申请日：2019-07-16
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供了一种高精度集成化微惯性测量单元及惯性导航系统，该微惯性测量单元包括：电路模组、柔性部件和安装骨架，电路模组包括综合信息处理电路模块、陀螺电路模块单元和加速度计电路模块单元，柔性部件用于电连接电路模组中的任意两个电路模块以实现电路模组的一体化，电路模组中的七个电路模块一一对应设置在七个安装台面上。应用本发明的技术方案，能够解决现有技术中因陀螺和加速度计的台体构造和互连部件较为复杂所导致的在同等精度条件下微惯性测量单元体积较大的技术问题。
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公开(公告)号：CN105424020B
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201510727774.9
申请日：2015-10-30
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C19/5747
Abstract: 本发明属于敏感结构，具体涉及一种带解耦功能的音叉型微机电陀螺敏感结构。一种带解耦功能的音叉型微机电陀螺敏感结构，呈左右对称分布，左右半边主体结构均由驱动框、驱动检测转接框、检测框三框组成，其中驱动框设置在最外侧，检测框在最内侧，驱动检测转接框设置在中间，左右半边主体通过驱动框和驱动检测转接框连接为一个整体；驱动检测转接框上设有正交耦合误差抑制结构。本发明的效果是：本发明采用对称式三框设计，即驱动框、驱动检测转接框、检测框，同时采用单自由度梁连接各框，进而限定各框和质量块的运动自由度，实现了驱动与检测之间的双向解耦，能够在很大程度上抑制耦合误差。
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公开(公告)号：CN107782295A
公开(公告)日：2018-03-09
申请号：CN201610730782.3
申请日：2016-08-26
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C19/5621
CPC classification number: G01C19/5621
Abstract: 本发明属于敏感结构，具体涉及一种带调频功能的音叉型微机电陀螺敏感结构。一种带调频功能的音叉型微机电陀螺敏感结构，包括驱动部分、检测部分、驱动检测转接部分和双质量块耦合部分，在布局上呈左右对称布置，并且左部分或右部分呈上下对称布置，左部分或右部分均包括驱动部分、检测部分、驱动检测转接部分和双质量块耦合部分，在检测部分设置调频梳齿组合。本发明的效果是：本发明敏感结构具备调频功能，通过调整调频梳齿上电压的极性和大小可实现对检测模态频率的调节，进而满足对频差的控制需求。
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公开(公告)号：CN103256926B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201210040745.1
申请日：2012-02-21
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C19/5607 , G01C19/5628
Abstract: 本发明属于石英音叉，具体涉及一种石英音叉止挡结构。它包括一种石英音叉止挡结构，包括底座、支撑框和上盖，石英音叉位于底座、支撑框和上盖组成的腔体内部。本发明的显著效果是：(1)提高石英音叉抗冲击性能；(2)整个止挡为全石英结构，其加工工艺与现有的石英音叉微加工工艺相兼容，易于批量化实现；(3)保证粘接时装配间隙的均匀性；(4)实现对止挡间隙均匀性误差的精确控制(±2μm以内)；(5)引入装配工装，并结合止挡结构的晶向确定定位基准，实现对平面定位误差的精确控制(±20μm以内)。
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公开(公告)号：CN119038487A
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202411142677.9
申请日：2024-08-20
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明提供一种高真空封装方法，所述封装方法由于没有镀制保护层，不需要吸气剂高温激活，同时吸气剂在加工完成后没有暴露过大气，未吸附大气中的水汽等杂质气体，提高了器件封装的真空度，减少了器件内部的杂质气体，提高了器件的封装真空度及保持时间，提高了器件的封装可靠性。
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