粘接剂组合物、层叠体、层叠体的制造方法、以及半导体基板的制造方法

    公开(公告)号:CN117120573A

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202280024274.7

    申请日:2022-03-01

    Abstract: 本发明提供一种粘接剂组合物,该粘接剂组合物提供粘接层,该粘接层能够适当地临时粘接带凸块的半导体基板和支承基板,能抑制或缓和由加热等来自外部的负荷引起的凸块变形,表现高蚀刻速率。一种粘接剂组合物,包含粘接剂成分(S),上述粘接剂成分(S)含有通过氢化硅烷化反应而固化的聚有机硅氧烷成分(A),上述聚有机硅氧烷成分(A)含有下述式(V)所示、重均分子量为60000以上的聚合物(V)。(n表示重复单元的数量,为正整数。)

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