半导体基板的清洗方法、经加工的半导体基板的制造方法以及剥离用组合物

    公开(公告)号:CN115335967A

    公开(公告)日:2022-11-11

    申请号:CN202180023489.2

    申请日:2021-03-22

    Abstract: 本发明提供一种半导体基板的清洗方法,其包括使用剥离用组合物来剥离半导体基板上的粘接层的工序,上述剥离用组合物包含溶剂,不包含盐,上述溶剂包含80质量%以上的式(L0)~(L4)中的任一式所示的有机溶剂。(式中,L101~L112分别独立地表示氢原子、碳原子数1~5的烷基、碳原子数2~5的烯基或碳原子数2~5的炔基,L101~L112中的至少一个表示碳原子数1~5的烷基、碳原子数2~5的烯基或碳原子数2~5的炔基,L201~L210分别独立地表示氢原子、碳原子数1~5的烷基、碳原子数2~5的烯基或碳原子数2~5的炔基,L201~L210中的至少一个表示碳原子数1~5的烷基、碳原子数2~5的烯基或碳原子数2~5的炔基,L301~L308分别独立地表示氢原子、碳原子数1~5的烷基、碳原子数2~5的烯基或碳原子数2~5的炔基,L301~L308中的至少一个表示碳原子数1~5的烷基、碳原子数2~5的烯基或碳原子数2~5的炔基,L401~L408分别独立地表示氢原子、碳原子数1~5的烷基、碳原子数2~5的烯基或碳原子数2~5的炔基,L401~L408中的至少一个表示碳原子数1~5的烷基、碳原子数2~5的烯基或碳原子数2~5的炔基)。

    层叠体、层叠体的制造方法以及半导体基板的制造方法

    公开(公告)号:CN116508132A

    公开(公告)日:2023-07-28

    申请号:CN202180079636.8

    申请日:2021-11-26

    Abstract: 一种层叠体,具有:支承基板;半导体基板,在所述支承基板侧具有凸块;无机材料层,介于所述支承基板与所述半导体基板之间,且与所述半导体基板相接;以及粘接层,介于所述支承基板与所述无机材料层之间,且与所述支承基板和所述无机材料层相接,所述层叠体用于在所述层叠体中的所述半导体基板的加工后使所述支承基板与所述半导体基板分离的用途,所述支承基板与所述半导体基板分离时的、所述无机材料层与所述粘接层的粘接力小于所述无机材料层与所述半导体基板的粘接力。

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