公开(公告)号：KR1020110058909A

公开(公告)日：2011-06-01

申请号：KR1020117009432

申请日：2009-09-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 츠지노리히코 ,  모로이마사유키 ,  야나기타니겐이치 ,  하나다요시유키

IPC: C23C16/54 ,  C23C16/455 ,  H01L21/285 ,  H01L21/31

CPC classification number: C23C16/54 ,  C23C16/0245 ,  C23C16/45551 ,  C23C16/4583 ,  H01L21/67005 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67201 ,  H01L21/67346 ,  H01L21/67706

Abstract: 개시되는 성막 장치는, 진공 용기 내에 마련되고, 복수의 기판 탑재부를 열형상으로 주회 반송하는 주회 반송로를 포함하는 기판 반송 기구로서, 해당 주회 반송로가 해당 복수의 기판 탑재부가 직선형으로 반송되는 직선 반송로를 포함하는, 상기 기판 반송 기구와, 직선 반송로에 있어서 기판 탑재부가 반송되는 반송방향을 따라 배치되고, 직선 반송로를 반송되는 복수의 기판 탑재부에 대하여 제 1 반응 가스를 공급하도록 구성되는 제 1 반응 가스 공급부와, 반송방향을 따라 제 1 반응 가스 공급부와 교대로 배치되고, 직선 반송로를 반송되는 복수의 기판 탑재부에 대하여 제 2 반응 가스를 공급하도록 구성되는 제 2 반응 가스 공급부와, 제 1 반응 가스 공급부 및 제 2 반응 가스 공급부 사이에 있어서 분리 가스를 공급하도록 구성되는 분리 가스 공급 부를 포함하고 있다.