公开(公告)号：KR100791653B1

公开(公告)日：2008-01-04

申请号：KR1020067023056

申请日：2005-05-12

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 츠지노리히코

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/20 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01L21/67109 ,  B01D45/08 ,  C23C16/4412 ,  Y02C20/30 ,  Y02P70/605

Abstract: 가스의 배기 경로를 통과하는 배기 가스부터의 석출물을 포집하는 배기 포집 장치(100)에는, 배기 경로를 따라, 내부에 배기 가스를 통과시키는 배기 통로가 구성된 복수의 배기 포집 유닛(110, 120, 130)이 직렬로 배치되어 있다. 각 포집 유닛내의 배기 포집부에는 각각 복수의 충돌판이 마련된다. 상류측의 포집 유닛(110, 120)의 배기 포집부에서의 충돌판은, 그 배기 통로내에 배치된 어떠한 충돌판에 의해서도 차단되는 일없이 그 배기 통로의 축선 방향을 따라서 연속적으로 연장하는 공간이 그 배기 통로내에 존재하도록 배치되어 있고, 하류측의 배기 포집 유닛(130)내의 배기 포집부에서의 충돌판은, 그와 같은 공간이 존재하지 않도록 배치되어 있다. 이 구성에 의하면, 복잡한 제어를 실행하지 않더라도, 반응 부생성물 등의 석출물의 퇴적량의 편재를 억제하여, 또한, 배기 포집 장치의 하류측으로의 석출 성분의 유출를 확실히 저감할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020110058909A

公开(公告)日：2011-06-01

申请号：KR1020117009432

申请日：2009-09-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 츠지노리히코 ,  모로이마사유키 ,  야나기타니겐이치 ,  하나다요시유키

IPC: C23C16/54 ,  C23C16/455 ,  H01L21/285 ,  H01L21/31

CPC classification number: C23C16/54 ,  C23C16/0245 ,  C23C16/45551 ,  C23C16/4583 ,  H01L21/67005 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67201 ,  H01L21/67346 ,  H01L21/67706

Abstract: 개시되는 성막 장치는, 진공 용기 내에 마련되고, 복수의 기판 탑재부를 열형상으로 주회 반송하는 주회 반송로를 포함하는 기판 반송 기구로서, 해당 주회 반송로가 해당 복수의 기판 탑재부가 직선형으로 반송되는 직선 반송로를 포함하는, 상기 기판 반송 기구와, 직선 반송로에 있어서 기판 탑재부가 반송되는 반송방향을 따라 배치되고, 직선 반송로를 반송되는 복수의 기판 탑재부에 대하여 제 1 반응 가스를 공급하도록 구성되는 제 1 반응 가스 공급부와, 반송방향을 따라 제 1 반응 가스 공급부와 교대로 배치되고, 직선 반송로를 반송되는 복수의 기판 탑재부에 대하여 제 2 반응 가스를 공급하도록 구성되는 제 2 반응 가스 공급부와, 제 1 반응 가스 공급부 및 제 2 반응 가스 공급부 사이에 있어서 분리 가스를 공급하도록 구성되는 분리 가스 공급 부를 포함하고 있다.

公开(公告)号：KR100868115B1

公开(公告)日：2008-11-10

申请号：KR1020077003361

申请日：2005-08-12

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이이즈카하치시로 ,  야스무로아키라 ,  기무라고이치로 ,  츠지노리히코

IPC: H01L21/203

Abstract: 액체 혹은 기액 혼합물로 구성되는 원료를 공급하는 원료 공급부와, 원료를 기화해서 원료 가스를 생성하는 원료 기화부와, 생성된 원료 가스를 이용하여 성막 처리를 실행하는 성막부를 갖는 성막 장치에 있어서, 원료 기화부에서 성막부의 도입 부분에 이르는 원료 가스의 수송 경로의 도중에 필터(153)가 배치된다. 필터(153)의 바깥가장자리(153a)는 가압 방향의 부하에 대해 상기 바깥가장자리(153a)보다도 잘 변형되지 않는 환상의 지지부재(158)에 의해, 그 전체 둘레에 걸쳐서 수송 경로의 내면에 대해 눌려지며, 수송 경로의 내면과 지지부재(158)의 사이에서 압축된 상태로 수송 경로의 내면에 고정된다.

公开(公告)号：KR1020070031451A

公开(公告)日：2007-03-19

申请号：KR1020077003361

申请日：2005-08-12

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 이이즈카하치시로 ,  야스무로아키라 ,  기무라고이치로 ,  츠지노리히코

IPC: H01L21/203

Abstract: 액체 혹은 기액 혼합물로 구성되는 원료를 공급하는 원료 공급부와, 원료를 기화해서 원료 가스를 생성하는 원료 기화부와, 생성된 원료 가스를 이용하여 성막 처리를 실행하는 성막부를 갖는 성막 장치에 있어서, 원료 기화부에서 성막부의 도입 부분에 이르는 원료 가스의 수송 경로의 도중에 필터(153)가 배치된다. 필터(153)의 바깥가장자리(153a)는 가압 방향의 부하에 대해 상기 바깥가장자리(153a)보다도 잘 변형되지 않는 환상의 지지부재(158)에 의해, 그 전체 둘레에 걸쳐서 수송 경로의 내면에 대해 눌려지며, 수송 경로의 내면과 지지부재(158)의 사이에서 압축된 상태로 수송 경로의 내면에 고정된다.

公开(公告)号：KR1020170092120A

公开(公告)日：2017-08-10

申请号：KR1020170014475

申请日：2017-02-01

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 곤도게이스케 ,  츠지노리히코

IPC: H01L21/673 ,  H01L21/677 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67389 ,  H01L21/67376 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/67393 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/67775

Abstract: 본발명의과제는, 기판수납용기를, 질소등의퍼지가스를순환하는구조의상압반송실에연결할때에, 연결부나기판수납용기로부터산소가스나수분, 및파티클의침입을극력방지하는것이다. 해결수단으로서, FOUP(10)을탑재하는스테이지(42)와, 상압반송실(8)의벽부(8a)에마련된웨이퍼반송구(40)와, 웨이퍼반송구(40)를개폐하는개폐도어(43)와, 스테이지(42)에탑재된 FOUP(10)을개폐도어(43)에밀착시키고, FOUP(10)의덮개체(22)와개폐도어(43)를결합시키는결합기구와, FOUP(10)이결합기구에의해개폐도어(43)에결합하여있는상태로, FOUP(10) 내를배기·퍼지하는배기·퍼지기구(51, 54)와, 웨이퍼반송구(10)의주연부와개폐도어(43) 사이, 개폐도어(43)와덮개체(22) 사이등에밀폐공간을형성하는시일부재(47, 71, 72)와, 밀폐공간을배기하는배기수단(62, 66)을구비한다.

Abstract translation: 本发明中，在基板收纳容器，到时间的一个目的是连接到该结构的吹扫和压力传递到循环气室，如氮，氧从连接部和防止尽可能的seuna水渗透的基板收纳容器，和颗粒。 作为解决方案，提供了安装FOUP 10的平台42，设置在大气传输室8的壁部分8a中的晶片传输开口40以及开闭门 用于将安装在工作台42上的FOUP 10装配到开闭门43中以接合FOUP 10的盖22和开闭门43的接合机构， 清洗机构51和54用于在主体10通过连接机构连接到开闭门43的同时对FOUP 10的内部进行排气和清洗， 用于形成门43与开闭门43和盖22之间的密封空间的密封构件47,71和72以及用于排出封闭空间的排出装置62和66 。

公开(公告)号：KR1020070010045A

公开(公告)日：2007-01-19

申请号：KR1020067023056

申请日：2005-05-12

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 츠지노리히코

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/20 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01L21/67109 ,  B01D45/08 ,  C23C16/4412 ,  Y02C20/30 ,  Y02P70/605

Abstract: Exhaust gas collection units (110, 120, 130) are arranged in series in an exhaust gas collection device (100) for collecting objects separated from exhaust gas passing an exhaust gas route, and inside the exhaust gas collection units (110, 120, 130) are formed exhaust gas paths for passing exhaust gas along the exhaust gas route. Collision plates are placed in an exhaust gas collection section in each of the collection units. The collision plates in the exhaust gas collection sections of the upstream side collection units (110, 120) are arranged such that a space extending in the axial direction of the exhaust path is present in the exhaust path without being blocked by any of the collision plates arranged in the exhaust path. The collision plates in the exhaust gas collection section in the exhaust gas collection unit (130) on the downstream side are arranged so that such a space is not present. Uneven distribution of the amount of accumulation of separated objects such as reaction by-products are suppressed without performing complex control, and outflow of the objects to the downstream side of the exhaust gas collection device can be reliably reduced. ® KIPO & WIPO 2007

Abstract translation: 废气收集单元（110,120,130）串联排列在废气收集装置（100）中，用于收集通过废气路线的废气分离的物体，并且在废气收集单元（110,120,130）内 ）形成用于沿排气路线排放废气的废气路径。 碰撞板被放置在每个收集单元中的废气收集部分中。 上游侧收集单元（110,120）的排气收集部中的碰撞板被布置成使得在排气路径中沿着轴向方向延伸的空间不被任何碰撞板阻挡 排列在排气路径中。 排气收集部（130）的排气收集部中的下游侧的碰撞板配置成不存在空间。 在不进行复杂的控制的情况下，抑制了分离对象如反应副产物的累积量的不均匀分布，可以可靠地降低物品向排气收集装置的下游侧的流出。 ®KIPO＆WIPO 2007

公开(公告)号：KR101903270B1

公开(公告)日：2018-10-01

申请号：KR1020170014475

申请日：2017-02-01

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 곤도게이스케 ,  츠지노리히코

IPC: H01L21/673 ,  H01L21/677 ,  H01L21/67

CPC classification number: H01L21/67389 ,  H01L21/67376 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/67393 ,  H01L21/67772 ,  H01L21/67775

Abstract: 본발명의과제는, 기판수납용기를, 질소등의퍼지가스를순환하는구조의상압반송실에연결할때에, 연결부나기판수납용기로부터산소가스나수분, 및파티클의침입을극력방지하는것이다. 해결수단으로서, FOUP(10)을탑재하는스테이지(42)와, 상압반송실(8)의벽부(8a)에마련된웨이퍼반송구(40)와, 웨이퍼반송구(40)를개폐하는개폐도어(43)와, 스테이지(42)에탑재된 FOUP(10)을개폐도어(43)에밀착시키고, FOUP(10)의덮개체(22)와개폐도어(43)를결합시키는결합기구와, FOUP(10)이결합기구에의해개폐도어(43)에결합하여있는상태로, FOUP(10) 내를배기·퍼지하는배기·퍼지기구(51, 54)와, 웨이퍼반송구(10)의주연부와개폐도어(43) 사이, 개폐도어(43)와덮개체(22) 사이등에밀폐공간을형성하는시일부재(47, 71, 72)와, 밀폐공간을배기하는배기수단(62, 66)을구비한다.

公开(公告)号：KR1020160035982A

公开(公告)日：2016-04-01

申请号：KR1020150131553

申请日：2015-09-17

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 와카바야시신지 ,  곤도게이스케 ,  츠지노리히코

IPC: H01L21/677

CPC classification number: F16K49/002 ,  F16K3/0218 ,  F16K3/029 ,  F16K51/02

Abstract: 본발명은기계적강도를유지하면서, 파티클의발생을방지하는게이트밸브를제공하는것을목적으로한다. 상하방향으로배치된복수매의기판을진공용기의내부에반송할때, 상하방향으로배치된복수의개구부를복수의밸브체에의해개폐하는게이트밸브로서, 상기복수의개구부가형성된케이스와, 상기복수의밸브체를지지하는지지부재와, 상기지지부재를통해상기복수의밸브체를이동시켜, 상기복수의개구부를개폐시키는구동기구와, 상기복수의밸브체에대응하여배치된복수의가이드기구를구비하고, 상기복수의가이드기구의각각은, 상기케이스에고정되고, 상하방향으로신축가능한벨로우즈와, 상기벨로우즈에내포되고, 상기벨로우즈의내부에서상기지지부재를가이드하는가이드부재를갖는게이트밸브가제공된다.

Abstract translation: 本发明涉及一种在保持机械强度的同时防止颗粒产生的闸阀。 当沿垂直方向布置的多个基板被输送到真空容器中时，闸阀通过使用多个阀体来打开和关闭沿垂直方向布置的多个开口。 闸阀包括：形成有开口的壳体; 支撑多个阀体的支撑构件; 驱动工具，其使所述多个阀体通过所述支撑构件移动以打开和关闭所述多个开口; 以及多个引导工具，其布置成对应于多个阀体。 多个引导工具中的每一个包括：波纹管，其固定到壳体并且能够在垂直方向上扩展; 以及布置在波纹管中以将支撑构件引导到波纹管中的引导构件。