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公开(公告)号：KR1020090068724A
公开(公告)日：2009-06-29
申请号：KR1020070136454
申请日：2007-12-24
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: A biosensor and a manufacture method thereof are provided to respectively form a nanoscaled structure and a target molecule on different substrates, thereby continuously using a nanowire/carbon nanotube FET biosensor device. A biosensor using a nanoscaled structure comprises: a micro channel(220) which stores or flows a test solution containing target molecules(160); a receptor(150) which is connected to a chemical functioning unit(140) immobilized to a flexible thin film located on an upper part of the micro channel and which captures the target molecules; and a nanowire structure(130) which is located in a lower part of the micro channel in order to sense a field effect by an electric charge of the target molecules. The flexible thin film consists of a first upper thin film(240), a second upper thin film(250) and a pressure device(230).
Abstract translation: 提供生物传感器及其制造方法，以在不同的基板上分别形成纳米级结构和靶分子，从而连续使用纳米线/碳纳米管FET生物传感器装置。 使用纳米尺度结构的生物传感器包括：存储或流动含有目标分子（160）的测试溶液的微通道（220）; 连接到固定在位于微通道上部并且捕获靶分子的柔性薄膜上的化学功能单元（140）的受体（150）; 以及纳米线结构（130），其位于微通道的下部，以便通过靶分子的电荷感测场效应。 柔性薄膜由第一上薄膜（240），第二上薄膜（250）和压力装置（230）组成。
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公开(公告)号：KR100848263B1
公开(公告)日：2008-07-25
申请号：KR1020060100246
申请日：2006-10-16
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명의 나노와이어 자동 전사시스템은 나노와이어가 전사될 기판상에 점착제를 코팅하기 위한 점착제 코팅부, 기판상에 나노와이어를 전사하기 위한 나노와이어 전사부, 점착제 코팅부와 나노와이어 전사부 사이에 위치하여 공정 기판을 이송하기 위한 기판 이송부 및 점착제 코팅부, 나노와이어 전사부 및 기판 이송부를 제어하기 위한 시스템 제어부를 포함한다.
본 발명은 나노와이어 자동 전사시스템을 제공하여 제조된 나노와이어를 점착제가 코팅된 타 기판으로 전사시, 동일한 압력을 가하여 전사공정을 수행할 수 있어 나노와이어의 소실을 방지한다. 또한, 정렬의 오차를 최소화하여 공정의 재연성 및 공정 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
나노와이어, 자동 전사시스템, 이송 암-
公开(公告)号：KR1020080060058A
公开(公告)日：2008-07-01
申请号：KR1020060134134
申请日：2006-12-26
Applicant: 전자부품연구원
IPC: A61B1/00
CPC classification number: A61B1/00018 , A61B1/00147 , A61B1/00183 , A61B1/0057 , A61B1/041
Abstract: A capsule type endoscope with an induction hose is provided to transmit an image photographed by a capsule to an external receiving device by connecting a signal line to the capsule. A capsule type endoscope includes a capsule(210), at least one operation wire(220), a power line(230), a signal line(235), an induction hose(240), and a connecting unit(250). The capsule has a photographing system to obtain an image inside a body. At least one operation wire is connected to the capsule. The power line and the signal line are connected to the capsule. The induction hose protects the operation wire, the power line, and the signal line. The connecting unit connects the capsule to the induction hose.
Abstract translation: 提供具有感应软管的胶囊型内窥镜，通过将信号线连接到胶囊，将由胶囊拍摄的图像发送到外部接收装置。 胶囊型内窥镜包括胶囊（210），至少一个操作线（220），电力线（230），信号线（235），感应软管（240）和连接单元（250）。 胶囊具有拍摄系统以获得身体内的图像。 至少一个操作线连接到胶囊。 电源线和信号线连接到胶囊。 感应软管保护操作线，电源线和信号线。 连接单元将胶囊连接到导入软管。
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公开(公告)号：KR1020080058285A
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：KR1020070135886
申请日：2007-12-21
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01D21/02
CPC classification number: G01D5/244 , G01D15/005 , G01D21/02 , G01K7/32 , H03M1/12
Abstract: A digital temperature/humidity sensor is provided to simplify the configuration of a circuit while forming the circuit as a digital logic signal using an RC oscillator and a counter, thereby obtaining stable and high resolution output signal. A digital temperature/humidity sensor comprises a temperature sensor, a humidity sensor(221), a humidity to frequency converter, a temperature to frequency converter, a reference timer, and a frequency to digital converter. The temperature sensor comprises a voltage generator and PTAT(Proportional To Absolute Temperature) sensor, and is connected to a temperature to frequency converter. The humidity sensor comprises an RC oscillating circuit consisting of a variable capacitor(410) and a resistance(420), and is connected to a humidity to frequency converter. The humidity/temperature to frequency converters are configured to convert values measured by the sensors to output them as a frequency signal. The reference timer measures the cycle of the frequency signal, wherein a pulse of the reference timer is counted by a counter of the frequency to digital converter. The frequency to digital converter is configured to convert the frequency signal and the measured cycle to output the converted signals as digital signals.
Abstract translation: 提供数字温度/湿度传感器，以便在使用RC振荡器和计数器形成电路作为数字逻辑信号的同时简化电路的配置，从而获得稳定和高分辨率的输出信号。 数字温湿度传感器包括温度传感器，湿度传感器（221），湿度变频器，温度变频器，参考定时器和频数转换器。 温度传感器包括电压发生器和PTAT（比例绝对温度）传感器，并连接到温度变频器。 湿度传感器包括由可变电容器（410）和电阻（420）组成的RC振荡电路，并且连接到湿度变频器。 变频器的湿度/温度被配置为转换由传感器测量的值作为频率信号输出。 参考定时器测量频率信号的周期，其中参考定时器的脉冲由频数转换器的计数器计数。 频率到数字转换器被配置为转换频率信号和测量周期，以将转换的信号输出为数字信号。
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公开(公告)号：KR1020070058759A
公开(公告)日：2007-06-11
申请号：KR1020050117423
申请日：2005-12-05
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: A device and a package for analyzing a solution component and a method of manufacturing the same are provided to rapidly flow a solution to a reaction channel groove and to increase speed at which a solution is analyzed. A micro analyzing device includes a lower substrate(100) having a channel groove to allow a solution to flow to be mixed with each other and to allow light to transmit the mixed solution and an upper substrate(200) connected to the upper part of the lower substrate. The lower substrate of the micro analyzing device includes injection hole grooves for receiving a plurality of solutions to be injected, micro piezoelectric pumps connected to the injection hole grooves to pump the solutions, a reaction channel groove connected to the micro piezoelectric pumps to mix the solutions pumped by the micro piezoelectric pumps with each other and to make the mixed solutions react to each other, a measuring channel groove, a discharge hole groove for discharging the solutions transmitting the measuring channel groove, and optical fiber insertion grooves formed on both ends of the measuring channel groove formed thereon.
Abstract translation: 提供了一种用于分析溶液成分的装置和包装及其制造方法，以迅速将溶液流向反应通道槽并提高分析溶液的速度。 微分析装置包括具有通道槽的下基板（100），以允许溶液流动以彼此混合并且允许光透射混合溶液;以及上基板（200），其连接到所述上基板 下基板。 微分析装置的下基板包括用于接收多个待注射溶液的注入孔槽，连接到喷孔槽的微型压电泵以泵送溶液;连接到微型压电泵的反应通道槽，以混合溶液 通过微型压电泵彼此泵送并使混合溶液相互反应，测量通道槽，用于排出透过测量槽槽的溶液的排出孔槽和形成在两端的光纤插入槽 测量沟槽形成在其上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100702531B1
公开(公告)日：2007-04-02
申请号：KR1020060025126
申请日：2006-03-20
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L29/775 , B82Y40/00 , B82Y10/00
Abstract: 본 발명의 나노와이어 소자는 제1실리콘 기판에서 트랜스퍼를 위해 릴리즈된 나노와이어, 제2기판의 상부에 트랜스퍼된 상기 나노와이어, 상기 나노와이어와 전기적으로 연결된 전극 및 나노와이어소자, 상기 전극의 상부에 형성되어 분석 대상물에 노출되는 것을 방지하는 절연층, 상기 나노와이어의 표면에 형성된 산화막, 상기 산화막의 표면에 유기 실란기로 이루어진 유기 실란층 및 상기 유기 실란층 상부에 형성되어 분석 대상물에 감응하는 수용기를 포함한다.
따라서, 본 발명은 나노와이어 릴리즈 과정에서 발생되는 스트레스 영향을 최소화하여 나노와이어 트랜스퍼 시 나노와이어의 소실 및 위치변화를 방지할 수 있어 나노와이어 소자의 양산성을 향상시킬 수 있으며, 나노와이어 소자 제조에서 필수적인 나노와이어 배열 및 정렬을 용이하게 하는 이점이 있다. 이로 인하여 본 발명은 향후, 나노와이어 바이오센서뿐 아니라, 나노와이어 FET, 플렉시블 디스플레이 등의 분야에 용이하게 적용 가능한 이점이 있다.
나노와이어 소자, 점착제 패턴, 나노와이어 릴리즈, 나노와이어 트랜스퍼.Abstract translation: 在纳米线的顶部上的本发明的纳米线器件中，纳米线，电极和纳米线器件的第二上部，连接到所述纳米线和释放，用于从第一硅衬底转移衬底电传输电极 形成的形成有绝缘层，所述氧化物膜，所述有机硅烷层上和所述由形成所述纳米线，以防止暴露于分析物的表面上的氧化有机硅烷基团的表面的至受体分析物敏感的有机硅烷层上方 它包括。
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公开(公告)号：KR100563478B1
公开(公告)日：2006-03-27
申请号：KR1020040037196
申请日：2004-05-25
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 압전 구동 마이크로 그리퍼의 제조방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 압전 구동 방식의 액츄에이터에 의한 그리핑 방식을 제안하여 저전압 구동과 그리핑의 힘을 크게 낼 수 있고, 그리핑 범위를 조절할 수 있는 그리퍼에 관한 것이다.
본 발명의 압전 구동 마이크로 그리퍼의 제조방법은 실리콘 웨이퍼를 이용하는 압전 구동 마이크로 그리퍼의 제조방법에 있어서, 실리콘 하부면을 에칭하고 실리콘 산화막과 폴리 실리콘을 차례로 증착하는 단계; 상기 증착된 폴리 실리콘 상에 질화 실리콘을 증착 및 패터닝하고 그리핑 구동 변위 센싱 및 제어를 위한 변위센서를 만드는 단계; 상기 폴리 실리콘 상부에 하부전극을 형성하는 단계; 상기 하부전극 상부에 압전 물질을 증착 및 패터닝하여 압전 액츄에이터를 형성하는 단계; 상기 압전 액츄에이터 상부에 상부전극을 형성하는 단계 및 상기 폴리 실리콘과 실리콘 산화막의 일부를 제거하는 단계로 이루어짐에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 압전 구동 마이크로 그리퍼의 제조방법은 압전 박막에 전압을 인가하여 길이 방향으로 수축시켜 압전 박막이 입힌 쪽으로 휘게 함으로써 물체를 잡거나 놓을 수 있고, 외팔 집게형과 양팔 집게형의 두 가지 형태로 제작이 가능한 장점이 있고, 그리핑 범위를 자유로이 조절할 수 있으며, 에너지 소비를 줄일 수 있는 효과가 있다.
그리퍼, 압전, 변위센서-
公开(公告)号：KR1020060009559A
公开(公告)日：2006-02-01
申请号：KR1020040058192
申请日：2004-07-26
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/14
CPC classification number: G01N27/185 , G01N27/31
Abstract: 본 발명은 가스 센서 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 가스 센서가 만들어지는 기판의 뒷면을 식각하여 생기는 홈을 그대로 이용하여 감지물질을 도포 시킴으로써, 종래 기술과 같은 가스 감지물질 지지대를 별도로 제작하여 접합하는 공정이 필요하지 않고, 감지물질을 고온에서 소결할 때 지지부가 분리되는 문제를 제거할 수 있으며, 또한 반도체 포토 리소그래피 공정을 이용하여 감지 물질 지지를 위한 홈을 형성하기 때문에 별도의 가스 감지물질 지지대의 정렬장치가 필요 없는 효과가 있다.
가스, 센서, 지지대, 감지물질, 식각-
公开(公告)号：KR1020050096469A
公开(公告)日：2005-10-06
申请号：KR1020040021693
申请日：2004-03-30
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01N27/00
CPC classification number: G01N27/87 , G01N9/002 , G01N27/128 , G01N27/283 , G01N29/022
Abstract: 본 발명은 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서 및 그 제작 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 멤스 공정 기술을 이용한 초소형 화학 센서 시스템에 관한 것이다.
본 발명의 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서 제조 방법은 실리콘 기판 상부에 형성된 실리콘 질화막 칸티레버; 상기 실리콘 질화막 칸티레버 상부에 형성된 실리콘 산화막; 상기 실리콘 산화막 상부에 소정의 크기로 형성된 하부 전극; 상기 하부 전극 상부에 압전 구동을 위해 형성된 압전 구동층; 상기 하부 전극 상부 및 상기 압전 구동층 일부 영역 상부에 상하부 전극간 절연을 위해 형성된 절연층; 상기 절연층의 상부 및 상기 압전 구동층의 상부에 형성된 상부 전극 및 상기 상부 전극과 하부 전극에 소자의 구동을 위해 전계를 인가하기 위해 형성된 전극 라인으로 구성됨에 기술적 특징이 있다.
따라서, 본 발명의 압전 마이크로 칸티레버를 이용한 화학 센서 및 그 제작 방법은 외부로부터 극소량의 ppb 또는 ppt 수준의 산업 환경유해 물질의 농도에 신속하게 반응하여 공진주파수의 변화를 통해 즉시 감지가 가능하여 빠른 응답 속도와 높은 감도 낮은 전력 손실이 가능한 장점이 있고, 시스템의 소형화로 인한 휴대형화, 실리콘 반도체 가공기술로 대량생산에 따른 제조원가 절감 및 집적의 용이함, 다양한 감지 대상 물질을 감지할 수 있도록 어레이 형태로 제작이 가능하며, 생명공학, 의학 및 환경관련 분야에 활용이 가능한 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR101215922B1
公开(公告)日：2012-12-27
申请号：KR1020100078350
申请日：2010-08-13
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본발명은제조공정을단순화시키고, 접합특성과감지특성을향상시킬수 있는정전용량형(capacitive type) 압력센서및 그의제조방법을제공하는데그 목적이있다. 이를위해, 본발명은홈부를구비한유리기판과, 상기홈부내에형성된상부전극과, 후면에멤브레인을구비한실리콘기판과, 상기실리콘기판의전면에이온주입공정을실시하여상기실리콘기판의전면으로부터일정깊이를갖도록상기실리콘기판내에서로이격되어형성된제1 및제2 하부전극을포함하고, 상기제1 및제2 하부전극의적어도일부가상기상부전극과대향되도록상기실리콘기판과상기유리기판이양극접합(anodic bonding)으로이종접합된정전용량형압력센서를제공한다. 따라서, 본발명은실리콘기판내에제1 및제2 하부전극을형성하고, 유리기판상에상부전극을형성하며, 상기실리콘기판과상기유리기판을양극접합으로이종접합시켜정전용량형압력센서를구현함으로써종래기술에따른실리콘융합접합방법(실리콘-실리콘접합)에비해공정을단순화시키고, 접합및 감도특성을향상시킬수 있다.
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