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公开(公告)号：KR100291555B1
公开(公告)日：2001-05-15
申请号：KR1019990029367
申请日：1999-07-20
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L21/306
Abstract: 이발명은기판식각장치및 이를이용한실리콘멤브레인제조방법을개시한다. 실리콘기판의하부면의일부를설정된실리콘멤브레인두께만큼식각하여적어도하나이상의식각영역을형성한다음, 식각영역에각각금속막을증착한다. 다음에실리콘기판의상하부면에보호막을형성하고, 실리콘기판의상부면에형성된보호막의일부를제거하여식각영역에대응하는측정영역의제1 개구부와소자를형성하기위한활성영역의제2 개구부를형성한다. 보호막중 제거되지않은보호막을식각마스크로하여제1 및제2 개구부를통하여측정영역이및 활성영역을식각하며, 식각시에일정량의광을식각영역의금속막으로조사한다. 제1 개구부를통하여금속막이노출됨에따라금속막으로조사되는광의일부가투과되어금속막으로부터반사되는광의세기가최고치에서감소되기시작하여, 금속막이모두식각되어반사되는광이최소치로감소되는구간내에서식각공정을종료한다. 따라서, 식각용액의농도및 온도변화그리고식각시간에상관없이설정된두께를가지는실리콘멤브레인을용이하게제조할수가있다.
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公开(公告)号：KR1020160140241A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：KR1020150076629
申请日：2015-05-29
Applicant: 전자부품연구원 , 주식회사 아프로테크
Abstract: 본발명의일 실시예에따른플라즈마전해기반의시료코팅방법은코팅전공정(pre-process)에서전해액을제조하는단계, 상기전해액에코팅대상시료를침지하고플라즈마전해산화장치를통해상기침지된코팅대상시료의표면에플라즈마를발생시키는단계및 상기발생된플라즈마를통해상기코팅대상시료에산화피막을형성하는단계를포함한다.
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公开(公告)号：KR101145667B1
公开(公告)日：2012-05-24
申请号：KR1020100025559
申请日：2010-03-23
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 본 발명은 산처리 과정을 포함하는 강유전체 박막 형성방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 염기성을 가지는 표면을 식각하고 산성을 가지는 표면을 노출시키기 위해 기판 표면을 산처리하는 단계; 및 상기 산처리 과정을 거친 기판 상에 수열합성법에 의해 페로브스카이트형 강유전체 박막을 형성하는 단계를 포함하는 강유전체 박막 제조방법에 관한 것이다.
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公开(公告)号：KR1020110104244A
公开(公告)日：2011-09-22
申请号：KR1020100023270
申请日：2010-03-16
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L41/04
CPC classification number: H01L41/314 , H01L41/09 , H01L41/1873 , H01L41/43
Abstract: 본 발명은 마이크로 액추에이터용 무연계 압전 세라믹 박막 제조 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 높은 전기 기계결합계수와 높은 압전상수 및 소결온도를 갖는 마이크로 액추에이터용 무연계 압전 세라믹 박막 제조 방법에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명의 압전 세라믹 박막 제조 방법은 K
2 CO
3 , Na
2 CO
3 , Nb
2 O
5 의 원료 분말을 이용하여 세라믹 표적을 생성하는 단계, 생성한 상기 세라믹 표적을 스퍼터링 챔버에 장착한 후 플라즈마를 이용하여 박막을 형성하는 단계, 형성된 상기 박막을 설정된 산소 압력하에서 후열처리를 수행하는 단계를 포함한다.-
公开(公告)号：KR1020090019226A
公开(公告)日：2009-02-25
申请号：KR1020070083492
申请日：2007-08-20
Applicant: 전자부품연구원
IPC: C03C17/30
CPC classification number: C03C23/006 , C03C17/32 , C03C23/007
Abstract: A silica glass film formation method for passivating surface using polysilazane is provided to have no deformity by impurity when cured in a room temperature and to form glass film having high density. A glass film formation method for passivating surface comprises steps of: coating polysilazane on a substrate; and curing the polysilazane by using atmospheric pressure plasma process. A process time of the curing step is 10-20 minutes. A processing temperature of the curing step is 50~120°C. A process gas of the atmospheric pressure plasma process is argon gas and oxygen gas.
Abstract translation: 提供使用聚硅氮烷钝化表面的二氧化硅玻璃膜形成方法，其在室温下固化时不会产生杂质变形，并形成高密度的玻璃膜。 钝化表面的玻璃成膜方法包括以下步骤：在基材上涂布聚硅氮烷; 并使用大气压等离子体处理固化聚硅氮烷。 固化步骤的处理时间为10-20分钟。 固化步骤的加工温度为50〜120℃。 大气压等离子体工艺的工艺气体是氩气和氧气。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020090019059A
公开(公告)日：2009-02-25
申请号：KR1020070083195
申请日：2007-08-20
Applicant: 전자부품연구원
IPC: B32B33/00
CPC classification number: B32B33/00 , B32B17/06 , B32B38/0008 , B32B2255/205 , B32B2307/402 , B32B2307/554 , B32B2307/584 , B32B2310/14
Abstract: A structure having a glass protection layer formed on the surface thereof is provided to protect the surface of the structure from scratches, wear, finger printing, dust, etc. while maintaining color or gloss of the substrate, to reduce the entire coating process time, and to allow the glass protection layer to exhibit best physical properties even at room temperature. In a structure having a glass protection layer(240) in which a matrix(210) and a silver coating layer(220) are sequentially formed, a structure having a glass protection layer formed on the surface thereof comprises the glass protection layer formed on the silver coating layer using polysilazane. The structure having a glass protection layer formed on the surface thereof further comprises a coloring layer(230) formed between the silver coating layer and glass protection layer to display gloss and color of the structure. The formation of the glass protection layer is performed using atmospheric pressure plasma hardening, pressurized wet hardening, or seam hardening. The sliver coating layer and glass protection layer are formed by spray coating, dip coating, or spin coating. The glass protection layer is coated to a thickness of 0.1 to 5 mum.
Abstract translation: 提供了在其表面上形成有玻璃保护层的结构，以保持结构的表面免受划伤，磨损，指纹印刷，灰尘等，同时保持基底的颜色或光泽，从而减少整个涂布处理时间， 并且即使在室温下也允许玻璃保护层表现出最好的物理性能。 在其中依次形成有基体（210）和银涂层（220）的玻璃保护层（240）的结构中，在其表面上形成有玻璃保护层的结构包括形成在玻璃保护层 银涂层采用聚硅氮烷。 具有形成在其表面上的玻璃保护层的结构还包括形成在银涂层和玻璃保护层之间的着色层（230），以显示结构的光泽和颜色。 玻璃保护层的形成使用大气压等离子体硬化，加压湿固化或接缝硬化进行。 纱线涂层和玻璃保护层通过喷涂，浸涂或旋涂形成。 将玻璃保护层涂覆至0.1〜5μm的厚度。
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公开(公告)号：KR100827994B1
公开(公告)日：2008-05-08
申请号：KR1020060030582
申请日：2006-04-04
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01R1/067
Abstract: 본 발명은 이종 도금 결합방식을 이용한 하이브리드형 고강도 탐침 구조물 및 그 제작 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 반도체 칩 또는 디스플레이의 회로패드와 직접 접촉되는 탐침부는 고강도 도금으로 제작하고, 나머지 스프링부는 패턴의 일부가 상기 탐침부와 상호 겹치도록 정렬한 상태에서 이종의 다른 재질로 도금하여 상기 탐침부와 상기 스프링부가 상호 결합된 형태를 갖는 탐침 구조물 및 그 제작 방법에 관한 것이다.
본 발명의 이종 도금 결합방식을 이용한 하이브리드형 고강도 탐침 구조물 제작 방법은 탐침 구조물을 제작함에 있어서, 기판상에 탐침부를 형성하는 제1단계; 상기 탐침부가 형성된 상기 기판상에 제2감광막을 형성하는 제2단계; 상기 제2감광막에 스프링부 패턴을 형성하는 제3단계; 상기 스프링부 패턴에 도금하는 제4단계; 및 상기 제2감광막을 제거하는 제5단계를 포함한다.
탐침구조물, 이종도금, MEMS, 탐침, 스프링Abstract translation: 提供了使用不同种类材料的电镀结合方法的混合高强度探针结构制造方法，以确保探针结构的机械稳定性，并且通过组合具有缓和电镀应力的弹簧单元和高强度探针单元来防止耐磨性 通过电镀使用不同种类的材料。 使用不同种类的材料的电镀结合方法的混合高强度探针结构体的制造方法由在基板上形成探针单元（260）的工序， 在具有探针单元的基板上形成第二感光膜; 在第二感光膜上形成弹簧单元（270）的图案; 电镀弹簧单元的图案; 去除第二感光膜; 将探针结构（280）与基底分离; 并将探针结构插入载体孔中。
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公开(公告)号：KR1020070081997A
公开(公告)日：2007-08-20
申请号：KR1020060030582
申请日：2006-04-04
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G01R1/067
CPC classification number: G01R3/00 , G01R1/067 , G01R1/06716 , G01R1/06733
Abstract: A hybrid high-strength probe structure manufacturing method using a plating binding method of different kinds of materials is provided to secure mechanical stability of a probe structure and to prevent wear resistance by combining a spring unit with relieved plating stress and a high-strength probe unit through plating using the different kinds of materials. A hybrid high-strength probe structure manufacturing method using a plating binding method of different kinds of materials is composed of steps for forming a probe unit(260) on a substrate; forming a second photosensitive film on the substrate having the probe unit; forming a pattern of a spring unit(270) on the second photosensitive film; plating the pattern of the spring unit; removing the second photosensitive film; separating a probe structure(280) from the substrate; and inserting the probe structure into a carrier hole.
Abstract translation: 提供了使用不同种类材料的电镀结合方法的混合高强度探针结构制造方法，以确保探针结构的机械稳定性，并且通过组合具有缓和电镀应力的弹簧单元和高强度探针单元来防止耐磨性 通过电镀使用不同种类的材料。 使用不同种类的材料的电镀结合方法的混合高强度探针结构体的制造方法由在基板上形成探针单元（260）的工序， 在具有探针单元的基板上形成第二感光膜; 在第二感光膜上形成弹簧单元（270）的图案; 电镀弹簧单元的图案; 去除第二感光膜; 将探针结构（280）与基底分离; 并将探针结构插入载体孔中。
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公开(公告)号：KR101401396B1
公开(公告)日：2014-05-30
申请号：KR1020120151903
申请日：2012-12-24
Applicant: 전자부품연구원
Inventor： 장세홍
IPC: H05B3/20
CPC classification number: H05B3/20 , H05B3/03 , H05B3/145 , H05B2214/04
Abstract: A sheet-type heater is disclosed. The sheet-type heater according to an embodiment of the present invention comprises a conductive exothermic thin film and electrode units mounted on both sides of the conductive exothermic thin film, wherein the conductive exothermic thin film includes a first exothermic portion having a first resistance and a second exothermic portion having a second resistance lower than the first resistance. The second resistance is disposed at the central portion of the conductive exothermic thin film.
Abstract translation: 公开了一种片式加热器。 根据本发明实施例的片式加热器包括导电放热薄膜和安装在导电放热薄膜两侧的电极单元，其中导电放热薄膜包括具有第一电阻的第一放热部分和 第二放热部分具有比第一电阻低的第二电阻。 第二电阻设置在导电放热薄膜的中心部分。
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公开(公告)号：KR1020100000947A
公开(公告)日：2010-01-06
申请号：KR1020080060635
申请日：2008-06-26
IPC: G01J1/42
Abstract: PURPOSE: An apparatus for measuring ultraviolet intensity is provided to indicate the ultraviolet ray intensity in a display of a mobile communication terminal. CONSTITUTION: An ultraviolet ray intensity measure system(300) outputs the ultraviolet information of a mobile communication terminal(400) with an input unit(420) and a display(410). An ultraviolet-ray sensor senses the external ultraviolet ray intensity. A connection terminal is connected to a communication port of the mobile communication terminal. A signal processing unit receives a signal from the ultraviolet-ray sensor and processes the ultraviolet information. The signal processing unit has the communication with the mobile communication terminal. A power switch transmits the command signal by user to the signal processing unit.
Abstract translation: 目的：提供一种用于测量紫外线强度的装置，以指示移动通信终端的显示器中的紫外线强度。 构成：紫外线强度测量系统（300）通过输入单元（420）和显示器（410）输出移动通信终端（400）的紫外线信息。 紫外线传感器感测外部紫外线强度。 连接终端连接到移动通信终端的通信端口。 信号处理单元从紫外线传感器接收信号并处理紫外线信息。 信号处理单元与移动通信终端进行通信。 电源开关将用户的命令信号发送到信号处理单元。
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