나노 구조물을 갖는 압력 센서 및 그 제조 방법
    11.
    发明公开
    나노 구조물을 갖는 압력 센서 및 그 제조 방법 有权
    具有纳米结构的压力传感器及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020130062587A

    公开(公告)日:2013-06-13

    申请号:KR1020110128939

    申请日:2011-12-05

    Abstract: PURPOSE: A pressure sensor with a nanostructure and a manufacturing method thereof are provided to improve a response speed and the sensitivity of a sensor due to the nanostructure adhered to the surface of the sensor. CONSTITUTION: A pressure sensor(100) with a nanostructure comprises a substrate(110), a source electrode(120), a drain electrode(130), and flexible sensor layer(140). The source and the drain electrodes are arranged separately on the substrate on a predetermined distance. The flexible sensor layer is arranged on the source and drain electrodes. The nanostructure adhered to a surface of the flexible sensor layer includes a zigzagged portions of a nano size.

    Abstract translation: 目的:提供具有纳米结构的压力传感器及其制造方法,以提高由于纳米结构粘附到传感器表面而导致的传感器的响应速度和灵敏度。 构成:具有纳米结构的压力传感器(100)包括基底(110),源电极(120),漏电极(130)和柔性传感器层(140)。 源电极和漏电极以预定距离分开布置在衬底上。 柔性传感器层布置在源极和漏极上。 附着在柔性传感器层的表面上的纳米结构包括纳米尺寸的锯齿形部分。

    캔틸레버 센서 및 그 제조 방법
    12.
    发明授权
    캔틸레버 센서 및 그 제조 방법 有权
    CANTILEVER传感器及其制造方法

    公开(公告)号:KR100479687B1

    公开(公告)日:2005-03-30

    申请号:KR1020020030340

    申请日:2002-05-30

    CPC classification number: G01P15/0922 G01P2015/0828

    Abstract: 본 발명은 캔틸레버 센서에 관한 것으로서, 압전막들을 동일면에 형성하여 전기적 측정 방법을 통하여 여러 정보를 감지하는 것을 특징으로 하는 캔틸레버 센서 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
    본 발명인 캔틸레버 센서는 그 일부는 일면의 실리콘 기판 위에 형성되고, 나머지 일부는 실리콘 웨이퍼의 뒷면을 식각하여 멤브레인으로서 제작된 제 1 실리콘 질화막 또는 실리콘/실리콘산화막(2중막)과; 상기 실리콘 질화막 위에 형성된 실리콘 산화막과; 상기 실리콘 산화막 상에 소정의 크기로 형성된 하부 전극과; 상기 하부 전극 상에 형성된 제 1 압전막과, 상기 제 1 압전막과 접촉하지 않도록 형성된 제 2 압전막과; 상기 제 1 및 제 2 압전막 위에 소정의 크기로 형성된 상부 전극과; 상기 하부 실리콘 산화막과, 하부 전극과, 제 1 및 제 2 압전막과, 상부 전극들에 형성된 보호막과; 각각의 상부 전극 상의 보호막과, 상기 하부 전극 상의 보호막에 형성된 제 1 개구들와 제 2 개구들과; 상기 제 1 및 제 2 개구들에 각각 형성된 제 1 및 제 2 콘택 패드 및; 상기 기판의 타면에 형성된 제 2 실리콘 질화막으로 이루어진다.

    전자석의 흡인력을 이용한 원격조종 로봇용촉각 궤환장치
    13.
    发明授权
    전자석의 흡인력을 이용한 원격조종 로봇용촉각 궤환장치 失效
    使用电磁牵引力的触觉反馈装置

    公开(公告)号:KR100219838B1

    公开(公告)日:1999-09-01

    申请号:KR1019970017145

    申请日:1997-05-03

    CPC classification number: B25J13/084 G05B2219/39567

    Abstract: 본 발명은 원격지에 있는 로봇팔에 달린 그리퍼와 그리퍼가 접촉하는 작업대상물 사이의 촉각 정보를 중앙 제어실에 있는 작업자에게 전달하여 더욱 정교하고 효과적인 작업을 할 수 있도록 하는 전자석의 흡인력을 이용한 원격조종로봇용 촉각궤환장치에 관한 것으로, 종래의 공압이나 형상기억합금을 사용한 촉각궤환장치에 있어서는 그리퍼와 그리퍼가 접촉하는 촉각정보를 중앙제어실에 있는 작업자에게 정확히 전달할 수 없게되는 문제점이 있었다. 이러한 점을 감안하여, 촉각센서로부터 측정된 촉각정보를 접촉유형분석기부에서 적당한 주기마다 신호들을 한 부류로 묶고, 그 형성된 신호 군들의 변화 추세를 이미 얻어진 접촉 유형 데이터베이스를 토대로 하여 각 경우에 맞게 변화시키고, 촉각궤환소자 구동회로부에서 전류로 변환하여, 각각의 촉각궤환소자를 구동시키게 하며, 상기 촉각궤환소자를 5 x 5 어레이 형태로 구성하여 상기 촉각정보를 어레이 단위로 궤환되도록 함과 아울러 연속적인 출력제어가 가능하도록 함으로써, 원격지의 촉각정보를 작업자에게 정확히 전달하여 정교하고 효과적인 작업을 수행할 수 있게 한 것이다.

    인간근육 특성을 이용한 다자유도계 운동모듈
    14.
    发明公开
    인간근육 특성을 이용한 다자유도계 운동모듈 失效
    多层感应电机模块采用人体肌肉特性

    公开(公告)号:KR1019990065579A

    公开(公告)日:1999-08-05

    申请号:KR1019980000931

    申请日:1998-01-15

    Abstract: 본 발명은 인간근육의 특징을 이용한 다자유도계 운동모듈에 관한 것이다. 본 발명에서는 로봇 등의 팔 등에 전달되는 동력원 매체의 에너지를 구체적인 움직임으로 변환하기 위한 액튜에이터(Actuator)의 직동·회전 전용의 운동 개념을 벗어나 인간의 근육의 움직임과 유사한 다양한 움직임을 갖는 인간 근육의 특성을 갖는 다자유도 운동모듈을 제공한다.
    본 발명은 코일을 통하여 전기를 공급함으로써 자력을 발생하는 전자석의 양단을 씌우는 일정길이의 유연한 튜브와, 그 튜브의 중앙에 고정 설치되는 피자력체와, 상기의 전자석의 양단을 씌우고 있는 튜브를 다수의 유연한 와이어로 연결하여 상기의 양측 튜브에서 전자석이 이탈되지 않도록 구성하고, 상기의 전자석의 중앙에 고정간을 부착하여 전자석이 양측 튜브의 내측으로 삽입되는 길이가 일정하게 되도록 하고, 코일에 인가되는 전력에 따라 상기의 전자석에 의해 피자력체가 당겨져서 전자석의 양단이 양 측의 튜브 내로 삽입되어 당겨지도록 한 구성의 인조 근육 모듈 복수개를 위치고정막을 사용하여 병렬로 결합시킨 다자유도계 운동모듈이다.

    전자석의 흡인력을 이용한 원격조종 로봇용촉각 궤환장치
    15.
    发明公开
    전자석의 흡인력을 이용한 원격조종 로봇용촉각 궤환장치 失效
    电磁吸引式遥控机器人触觉反馈装置

    公开(公告)号:KR1019980082306A

    公开(公告)日:1998-12-05

    申请号:KR1019970017145

    申请日:1997-05-03

    Abstract: 본 발명은 원격지에 있는 로봇팔에 달린 그리퍼와 그리퍼가 접촉하는 작업대상물 사이의 촉각 정보를 중앙 제어실에 있는 작업자에게 전달하여 더욱 정교하고 효과적인 작업을 할 수 있도록 하는 전자석의 흡인력을 이용한 원격조종로봇용 촉각궤환장치에 관한 것으로, 종래의 공압이나 형상기억합금을 사용한 촉각궤환장치에 있어서는 그리퍼와 그리퍼가 접촉하는 촉각정보를 중앙제어실에 있는 작업자에게 정확히 전달할 수 없게되는 문제점이 있었다. 이러한 점을 감안하여, 촉각센서로부터 측정된 촉각정보를 접촉유형분석기부에서 적당한 주기마다 신호들을 한 부류로 묶고, 그 형성된 신호 군들의 변화 추세를 이미 얻어진 접촉 유형 데이터베이스를 토대로 하여 각 경우에 맞게 변화시키고, 촉각궤환소자 구동회로부에서 전류로 변환하여, 각각의 촉각궤환소자를 구동시키게 하며, 상기 촉각궤환소자를 5 x 5 어레이 형태로 구성하여 상기 촉각정보를 어레이 단위로 궤환되도록 함과 아울러 연속적인 출력제어가 가능하도록 함으로써, 원격지의 촉각정보를 작업자에게 정확히 전달하여 정교하고 효과적인 작업을 수행할 수 있게 한 것이다.

    생체분자 농축 기능 일체형 센서 및 그 제조방법
    16.
    发明公开
    생체분자 농축 기능 일체형 센서 및 그 제조방법 有权
    生物分子预处理器一体化电传感器及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020160097639A

    公开(公告)日:2016-08-18

    申请号:KR1020150019579

    申请日:2015-02-09

    CPC classification number: G01N27/02 G01N27/30 G01N27/333 G01N33/53 G01N27/301

    Abstract: 본명세서는생체분자농축기능일체형센서에관한것으로서, 본명세서의일실시예에따른센서는마이크로채널, 상기마이크로채널양단에형성된표적물질시료레저버(reservoir) 및선택적이온투과막패턴을포함하는농축기; 및두 전극이상호슬릿(Slit)을형성하며소정간격이격되도록교차전극부가기판상에패턴형성되어, 상기마이크로채널상의소정영역에농축된상기표적물질이상기두 전극이형성하는상기슬롯에서포획될수 있는감지기를포함한다.

    Abstract translation: 本说明书涉及生物分子预浓缩器综合电传感器。 根据本说明书的实施例,传感器包括:具有微通道的集中器,形成在微通道两端的目标材料样品储存器和选择性离子渗透膜图案; 以及检测器,其中交叉电极单元是形成在用于两个电极的基板上的图案,以形成相互狭缝并以预定距离彼此间隔开,并且集中在微通道的预定区域中的目标材料可以被捕获在 电极形成的滑动。

    선택적 이온 투과형 마이크로 포어 소자 및 그 제조 방법
    17.
    发明授权
    선택적 이온 투과형 마이크로 포어 소자 및 그 제조 방법 有权
    离子选择性微波器件及其制造方法

    公开(公告)号:KR101577524B1

    公开(公告)日:2015-12-15

    申请号:KR1020140016272

    申请日:2014-02-12

    Abstract: 본발명은단백질농축을위한마이크로포어소자및 그제조방법에관한것으로서, 본발명의실시예에따른마이크로포어소자는이온투과막이함침된마이크로포어(micorpore)를포함하는선택적이온투과층; 상기선택적이온투과층의상부에형성되고, 상기선택적이온투과층의상기마이크로포어와접하는일면에상부레저버(reservoir)가형성되는상부 PDMS(polydimethylsiloxane)층; 및상기선택적이온투과층의하부에형성되고, 상기선택적이온투과층의상기마이크로포어와접하는일면에하부레저버(reservoir)가형성되는하부 PDMS(polydimethylsiloxane)층을포함한다.

    선택적 이온 투과형 마이크로 포어 소자 및 그 제조 방법
    18.
    发明公开
    선택적 이온 투과형 마이크로 포어 소자 및 그 제조 방법 有权
    离子选择性微波器件及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020150095138A

    公开(公告)日:2015-08-20

    申请号:KR1020140016272

    申请日:2014-02-12

    CPC classification number: G01N33/68 G01N27/00 G01N37/00

    Abstract: 본 발명은 단백질 농축을 위한 마이크로포어 소자 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 실시예에 따른 마이크로 포어 소자는 이온투과막이 함침된 마이크로 포어(micorpore)를 포함하는 선택적 이온 투과층; 상기 선택적 이온 투과층의 상부에 형성되고, 상기 선택적 이온 투과층의 상기 마이크로 포어와 접하는 일면에 상부 레저버(reservoir)가 형성되는 상부 PDMS(polydimethylsiloxane)층; 및 상기 선택적 이온 투과층의 하부에 형성되고, 상기 선택적 이온 투과층의 상기 마이크로 포어와 접하는 일면에 하부 레저버(reservoir)가 형성되는 하부 PDMS(polydimethylsiloxane)층을 포함한다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于蛋白质浓缩的微孔装置及其制造方法。 根据本发明的一个实施方案,微孔装置包括:选择性离子可渗透层,其包含浸渍有离子透过膜的微孔; 上部聚二甲基硅氧烷(PDMS)层,其形成在选择性离子渗透层的上部并且具有形成在与选择性离子渗透层的微孔接触的表面上的上部储存器; 以及下部PDMS层,其形成在选择性离子可渗透层的下部,并且具有形成在与选择性离子渗透层的微孔接触的表面上的下部储存器。

    생체물질 측정 시스템 및 방법
    19.
    发明授权
    생체물질 측정 시스템 및 방법 有权
    检测生物元素的方法和系统

    公开(公告)号:KR100583233B1

    公开(公告)日:2006-05-26

    申请号:KR1020040074116

    申请日:2004-09-16

    Abstract: 본 발명은 온도 및 습도가 조절된 대기 또는 기상에서 단백질, 유전자 등과 같은 생체물질(bio-element)의 존재여부 및 존재량을 정밀하게 측정할 수 있는 생체물질 측정 시스템 및 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 생체물질 측정 방법은 복수개의 캔틸레버를 구비하는 캔틸레버 센서를 준비하는 단계와, 상기 복수개의 캔틸레버에 대한 기준 공진주파수를 측정하는 단계와, 생체물질이 포함된 시료에 상기 복수의 캔틸레버를 반응시키는 단계와, 외부 환경과 격리되고 온도 및 습도가 특정 상태로 조절된 닫힌 계(closed system)에서, 반응 후의 캔틸레버의 공진주파수를 측정하는 단계와, 상기 반응 전후의 캔틸레버의 공진주파수 변동값을 산출하여 시료 내에 포함되어 있는 생체물질의 정량 분석을 실시하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
    캔틸레버, 생체물질, PSA, 공진주파수

    전자석 방식의 인조 근육 모듈
    20.
    发明授权
    전자석 방식의 인조 근육 모듈 失效
    使用电磁线圈的人造肌肉模块

    公开(公告)号:KR100249420B1

    公开(公告)日:2000-04-01

    申请号:KR1019980000930

    申请日:1998-01-15

    Abstract: 본 발명은 로봇 등의 팔 등에 전달되는 동력원 매체의 에너지를 구체적인 움직임으로 변환하기 위한 액튜에이터(Actuator)에 사용되는 인조 근육 모듈에 관한 것이다. 본 발명에서는 직동·회전 전용의 액튜에이터의 개념을 벗어나 인간의 근육의 움직임과 유사한 움직임을 갖는 인간 근육의 특성을 갖는 전자석 방식의 인조 근육 모듈을 제공한다.
    본 발명은 코일(30)을 통하여 전기를 공급함으로써 자력을 발생하는 전자석(60)의 양단을 씌우는 일정길이의 유연한 튜브(10)와, 그 튜브(10)의 중앙에 고정 설치되는 피자력체(40)와, 상기의 전자석(60)의 양단을 씌우고 있는 튜브(10)를 다수의 와이어(20)로 연결하여 상기의 양 튜브(10)에서 전자석(60)이 이탈되지 않도록 구성하고, 상기의 전자석(60)의 중앙에 고정간(50)을 부착하여 전자석(60)이 양 튜브(10)의 내측으로 삽입되는 길이가 일정하게 되도록 하고, 코일(30)에 인가되는 전력에 따라 상기의 전자석(60)에 의해 쇠구슬(40)이 당겨져서 전자석(60)의 양단이 양 측의 튜브(10) 내로 삽입되어 당겨지도록 한 구성의 액튜에이터에 사용되는 전자석을 이용한 인조 근육 모듈이다.

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