소자용 봉지구조체 및 이의 제조방법
    11.
    发明授权
    소자용 봉지구조체 및 이의 제조방법 有权
    装置的封装结构及其制造方法

    公开(公告)号:KR101351109B1

    公开(公告)日:2014-01-15

    申请号:KR1020120016565

    申请日:2012-02-17

    Inventor: 채희엽 김대경

    Abstract: 본 발명은 소자 봉지용 봉지구조체 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반응물질로 실란 화합물과 질소 함유 가스를 저온에서 증착시켜 형성된 유동성 산화물 박막으로 유기층의 핀홀을 채움으로써 기존 ALD 증착법 보다 증착속도 향상으로 인한 생산속도가 개선되고, 낮은 온도에서 증착 공정이 가능하여 소자의 손상 정도를 현저히 줄일 수 있다. 특히, 벤딩 시 막 깨짐 현상이 개선되어 플렉시블 디스플레이 적용에 유리한 발광 소자를 개발할 수 있다.

    데이터 글로브용 핑거
    12.
    发明公开
    데이터 글로브용 핑거 有权
    数据手指

    公开(公告)号:KR1020130058522A

    公开(公告)日:2013-06-04

    申请号:KR1020110124578

    申请日:2011-11-25

    CPC classification number: B25J3/00 A61B34/35 A61B34/37 B25J3/04 B25J15/086

    Abstract: PURPOSE: A finger for a data glove is provided to maximize convenience of operation by simultaneously performing a rotating movement and a separating movement in each frame using a four bar link structure. CONSTITUTION: A finger(100) for a data glove comprises a base(110), a plurality of frames(120), and a detection member(140). The detection member detects an angle difference formed between the frames and delivers the same to an outer device. A virtual rotary center is equipped for a pair of frames to be perpendicular to a rotary shaft. The pair of frames is connected to be circularly moved based on the virtual rotary center.

    Abstract translation: 目的:提供用于数据手套的手指,以通过使用四杆连杆结构同时执行每个框架中的旋转运动和分离运动来最大化操作的便利性。 构成:用于数据手套的手指(100)包括基座(110),多个框架(120)和检测构件(140)。 检测构件检测在两个框架之间形成的角度差异并将其传送到外部装置。 虚拟旋转中心配备有与旋转轴垂直的一对框架。 这对框架基于虚拟旋转中心被连接成圆周地移动。

    소자용 봉지구조체 및 이의 제조방법
    13.
    发明公开
    소자용 봉지구조체 및 이의 제조방법 有权
    装置的封装结构及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020120094874A

    公开(公告)日:2012-08-27

    申请号:KR1020120016565

    申请日:2012-02-17

    Inventor: 채희엽 김대경

    Abstract: PURPOSE: A sealing structure for a device including a flowable oxide thin film and a manufacturing method thereof are provided to improve a deposition speed by filling a pin hole of an organic layer with a flowable oxide thin film. CONSTITUTION: An organic layer and a sealing layer are formed on a substrate with a device. An inorganic layer is formed on the sealing layer. An inorganic layer is the flowable oxide thin film. A flowable oxide thin film is formed on an organic layer. A flowable oxide thin film is formed by depositing slane based compound and nitrogen containing gas at low temperatures.

    Abstract translation: 目的:提供一种包括可流动的氧化物薄膜的装置的密封结构及其制造方法,以通过用可流动的氧化物薄膜填充有机层的针孔来提高沉积速度。 构成:在具有器件的基板上形成有机层和密封层。 在密封层上形成无机层。 无机层是可流动的氧化物薄膜。 在有机层上形成可流动的氧化物薄膜。 通过在低温下沉积基于硅烷的化合物和含氮气体形成可流动的氧化物薄膜。

    임피던스를 이용한 인시투 박막 두께 측정 장치, 박막 두께 측정 방법 및 그 기록 매체
    19.
    发明授权
    임피던스를 이용한 인시투 박막 두께 측정 장치, 박막 두께 측정 방법 및 그 기록 매체 有权
    使用阻抗的薄膜厚度的现场测量装置,其同一方法及其记录介质的现场测量方法

    公开(公告)号:KR101206744B1

    公开(公告)日:2012-11-30

    申请号:KR1020110018096

    申请日:2011-02-28

    Inventor: 채희엽 김대경

    Abstract: 본 발명의 일 실시예에 의하면, 플라즈마 상태를 이용한 박막 증착에 있어서 인시투 상황 하에서 실시간으로 박막 증착 두께를 측정할 수 있으므로 별도의 증착 두께 확인 공정을 제거할 수 있는 효과가 있다. 이를 위해 특히, 본 발명의 일 실시예는 챔버; 챔버 내부에 형성되며 시스층(sheath)을 포함하는 플라즈마 가스; 챔버 내부에 설치되며 상부로 박막이 증착되는 기판; 챔버 외부에서 챔버에 소스 전력을 인가하는 소스 RF 전원; 챔버 외부에서 기판에 바이어스 전력을 인가하는 바이어스 RF 전원; 기판과 바이어스 RF 전원 사이에서의 전류 및 전압에 기반하여 실측 임피던스를 실시간으로 측정하는 임피던스 측정부; 및 시스층에 대응하는 제1 커패시턴스, 박막에 대응하는 제2 커패시턴스 및 측정된 실측 임피던스에 기반하여 증착 시간에 따른 박막의 증착 두께를 연산하는 두께 연산부;를 포함하는 임피던스를 이용한 인시투 박막 두께 측정 장치를 포함한다.

    상압 저온 공정을 이용한 나노 구조 감마 망간 산화물 분말의 합성방법과 이를 이용한 리튬망간 산화물의 제조방법
    20.
    发明授权
    상압 저온 공정을 이용한 나노 구조 감마 망간 산화물 분말의 합성방법과 이를 이용한 리튬망간 산화물의 제조방법 有权
    在大气压和低温下合成纳米结构的γ氧化锰的方法及其尖晶石锂锰氧化物

    公开(公告)号:KR101170095B1

    公开(公告)日:2012-07-31

    申请号:KR1020100014787

    申请日:2010-02-18

    Abstract: 본 발명은 상압 저온 공정을 이용한 나노 구조 감마 망간 산화물 분말의 합성방법과 이를 이용한 리튬망간 산화물의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 나노구조를 갖는 감마 MnO
    2 분말을 상압에서 저온으로 감마상의 망간 산화물을 제조하는 단계, 상기 망간 산화물에 리튬염 및 금속염을 혼합하여 혼합물을 형성하는 단계, 상기 혼합물을 고상반응법(Solid-state reaction)에 의해 열처리하는 단계를 포함한다. 상기에서 합성된 리튬 망간 산화물의 화학식은 LiMn
    2 O
    4 이며 리튬 망간 금속 산화물의 화학식은 LiMxMn
    (2-x) O
    4 (0 본 발명은 비교적 저온에서 적절한 교반과 첨가제를 이용하여 감마상의 MnO
    2 를 높은 순도와 최대 이론값에 가까운 높은 수율로 합성할 수 있다. 합성된 감마 MnO
    2 는 대부분의 경우 나노 입자 형태로 성장이 되며 일부는 나노판이나 나노로드 형태로 성장될 수도 있다. 상기 공정은 리튬이온 이차 전지용 양극 활물질인 리튬 망간계 산화물의 원료가 될 수 있는 감마상의 MnO
    2 를 100℃ 이하의 저온에서 나노 크기의 입자 형태로 대량 합성하는데 적합하다.

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