Abstract:
본 발명은 소자 봉지용 봉지구조체 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반응물질로 실란 화합물과 질소 함유 가스를 저온에서 증착시켜 형성된 유동성 산화물 박막으로 유기층의 핀홀을 채움으로써 기존 ALD 증착법 보다 증착속도 향상으로 인한 생산속도가 개선되고, 낮은 온도에서 증착 공정이 가능하여 소자의 손상 정도를 현저히 줄일 수 있다. 특히, 벤딩 시 막 깨짐 현상이 개선되어 플렉시블 디스플레이 적용에 유리한 발광 소자를 개발할 수 있다.
Abstract:
PURPOSE: A finger for a data glove is provided to maximize convenience of operation by simultaneously performing a rotating movement and a separating movement in each frame using a four bar link structure. CONSTITUTION: A finger(100) for a data glove comprises a base(110), a plurality of frames(120), and a detection member(140). The detection member detects an angle difference formed between the frames and delivers the same to an outer device. A virtual rotary center is equipped for a pair of frames to be perpendicular to a rotary shaft. The pair of frames is connected to be circularly moved based on the virtual rotary center.
Abstract:
PURPOSE: A sealing structure for a device including a flowable oxide thin film and a manufacturing method thereof are provided to improve a deposition speed by filling a pin hole of an organic layer with a flowable oxide thin film. CONSTITUTION: An organic layer and a sealing layer are formed on a substrate with a device. An inorganic layer is formed on the sealing layer. An inorganic layer is the flowable oxide thin film. A flowable oxide thin film is formed on an organic layer. A flowable oxide thin film is formed by depositing slane based compound and nitrogen containing gas at low temperatures.
Abstract:
본 발명의 일 실시예에 의하면, 플라즈마 상태를 이용한 박막 증착에 있어서 인시투 상황 하에서 실시간으로 박막 증착 두께를 측정할 수 있으므로 별도의 증착 두께 확인 공정을 제거할 수 있는 효과가 있다. 이를 위해 특히, 본 발명의 일 실시예는 챔버; 챔버 내부에 형성되며 시스층(sheath)을 포함하는 플라즈마 가스; 챔버 내부에 설치되며 상부로 박막이 증착되는 기판; 챔버 외부에서 챔버에 소스 전력을 인가하는 소스 RF 전원; 챔버 외부에서 기판에 바이어스 전력을 인가하는 바이어스 RF 전원; 기판과 바이어스 RF 전원 사이에서의 전류 및 전압에 기반하여 실측 임피던스를 실시간으로 측정하는 임피던스 측정부; 및 시스층에 대응하는 제1 커패시턴스, 박막에 대응하는 제2 커패시턴스 및 측정된 실측 임피던스에 기반하여 증착 시간에 따른 박막의 증착 두께를 연산하는 두께 연산부;를 포함하는 임피던스를 이용한 인시투 박막 두께 측정 장치를 포함한다.
Abstract:
본 발명은 상압 저온 공정을 이용한 나노 구조 감마 망간 산화물 분말의 합성방법과 이를 이용한 리튬망간 산화물의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 나노구조를 갖는 감마 MnO 2 분말을 상압에서 저온으로 감마상의 망간 산화물을 제조하는 단계, 상기 망간 산화물에 리튬염 및 금속염을 혼합하여 혼합물을 형성하는 단계, 상기 혼합물을 고상반응법(Solid-state reaction)에 의해 열처리하는 단계를 포함한다. 상기에서 합성된 리튬 망간 산화물의 화학식은 LiMn 2 O 4 이며 리튬 망간 금속 산화물의 화학식은 LiMxMn (2-x) O 4 (0 본 발명은 비교적 저온에서 적절한 교반과 첨가제를 이용하여 감마상의 MnO 2 를 높은 순도와 최대 이론값에 가까운 높은 수율로 합성할 수 있다. 합성된 감마 MnO 2 는 대부분의 경우 나노 입자 형태로 성장이 되며 일부는 나노판이나 나노로드 형태로 성장될 수도 있다. 상기 공정은 리튬이온 이차 전지용 양극 활물질인 리튬 망간계 산화물의 원료가 될 수 있는 감마상의 MnO 2 를 100℃ 이하의 저온에서 나노 크기의 입자 형태로 대량 합성하는데 적합하다.