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公开(公告)号：KR1020130130284A
公开(公告)日：2013-12-02
申请号：KR1020120053959
申请日：2012-05-22
Applicant: 한국에너지기술연구원
CPC classification number: B01J19/121 , B01J4/001 , B82B3/0004
Abstract: A nanoparticle synthesis apparatus using laser and a nanoparticle synthesis method using laser are provided. The nanoparticle synthesis apparatus according to the present invention comprises: a chamber; a source gas injection part provided at one side of the chamber and supplying source gas to the chamber; and a laser irradiation part provided at another side of the chamber and irradiating the source gas, supplied from the source gas injection part to the chamber, with laser. [Reference numerals] (130) Laser
Abstract translation: 提供了使用激光的纳米颗粒合成装置和使用激光的纳米颗粒合成方法。 根据本发明的纳米颗粒合成装置包括：室; 源气体注入部，其设置在所述室的一侧并将气体源供给到所述室; 以及激光照射部，设置在所述室的另一侧，并且将从所述源气体喷射部供给到所述室的所述源气体用激光照射。 （附图标记）（130）激光
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公开(公告)号：KR101316943B1
公开(公告)日：2013-10-18
申请号：KR1020100094860
申请日：2010-09-30
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: H01L31/04
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 실리콘 구립체 기반 태양전지 제조방법 및 이에 의하여 제조된 태양전지가 제공된다.
본 발명에 따른 실리콘 구립체 기반 태양전지 제조방법은 소정 간격으로 이격된 복수 개의 개방 홈이 구비된 절연기판의 상기 홈에 제 1형 불순불이 도핑된 실리콘 구립체를 안착시키는 단계; 상기 실리콘 구립체상에 진성 실리콘층을 증착시키는 단계; 상기 진성 실리콘층 상에 제 2형 불순물이 도핑된 실리콘층을 증착시키는 단계; 및 상기 실리콘 구립체가 안착된 방향에 대향하는 기판상에 후면 전극층을 증착시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 따른 실리콘 구립체 기반 태양전지는 실리콘 구립체를 절연 지지기판의 개방 홈에 먼저 안착하고, 태양전지 제조공정을 진행하는 방식을 취한다. 이 경우, 실리콘 구립체에 대한 태양전지 공정을 진행한 후, 이를 기판 홈에 안착시키고, 다시 후면전극과의 컨택을 위한 마모공정이 수행되는 종래 기술에 비하여 획기적인 생산성 향상 효과를 발생시킬 수 있다.-
公开(公告)号：KR101199210B1
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：KR1020100105758
申请日：2010-10-28
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: H01L31/18 , H01L31/0445 , H01L21/205
CPC classification number: C23C16/4582 , C23C16/44 , C23C16/455 , C23C16/54 , H01L31/0747 , H01L31/202 , Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 태양전지 박막 증착장치, 방법, 시스템이 제공된다.
본 발명에 따른 태양전지 박막 증착장치는 기판을 경계로 구분되는 복수 개의 단위 챔버; 복수 개의 단위 챔버에 증착가스를 독립적으로 주입시키기 위한 증착가스 주입부; 및 상기 단위 챔버 내에 각각 구비되며, 상기 주입된 증착가스를 분해하기 위한 분해 수단을 포함하며, 상기 기판의 양면 각각은 상기 복수 개의 단위 챔버로 노출되며, 본 발명에 따른 태양전지 박막 증착장치 및 이를 이용한 제조방법은 기판의 회전 없이 고정된 상태에서 기판의 양면 증착이 가능하게 한다. 따라서, 일면에 대해서 하나의 층만이 적층되는 종래 기술에 비하여, 요구되는 설비의 수가 획기적으로 줄 수 있으며, 그 결과 본 발명에 따른 증착장치는 종래 기술에 비하여 경제성이 우수하다. 더 나아가, 증착공정의 수가 감소됨에 따라, 기판의 외부노출 시간을 또한 줄며, 그 결과 기판표면의 오염을 최소화할 수 있으며, 우수한 신뢰성을 갖는 태양전지의 제조가 가능하다.-
公开(公告)号：KR101019639B1
公开(公告)日：2011-03-07
申请号：KR1020090007470
申请日：2009-01-30
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: H01L31/18 , H01L31/0445
CPC classification number: Y02E10/52 , Y02P70/521
Abstract: 본 발명은 태양전지 광흡수층용 CIS계 화합물 박막 제조장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 파이로미터를 이용하여 진공증착에 의해 박막이 형성되는 기판의 온도를 측정하도록 하되 상기 파이로미터를 밀폐된 히팅수단 몸체의 내부에 장착하여 기판 후면의 온도를 측정하도록 함으로써 증발되는 기체의 간섭없이 정확한 측정이 가능하도록 한 것이다. 또한, 비접촉에 의해 기판의 온도를 측정함으로 접촉에 따른 기판의 손상과 열손실을 방지할 수 있어 균일한 박막의 형성이 가능하도록 하는 태양전지 광흡수층용 CIS계 화합물 박막 제조장치에 관한 것이다.
본 발명은 내측하부에 Cu,In,Ga,Se등의 원소를 내포하는 보트나 이퓨젼셀인 증발원이 설치된 진공챔버와, 상기 진공챔버의 내부에 장착되어 진공챔버의 증발물질이 내입되는 것을 방지하는 몸체와 상기 몸체의 하부면에 장착되어 기판을 안치하는 트레이와 상기 기판에 열을 가하는 열원을 구비한 히팅수단과, 상기 트레이에 안치되는 기판의 온도를 측정하는 기판온도측정장치와, 상기 기판온도측정장치로부터 측정된 신호를 입력받는 제어부를 포함하여 구성된 태양전지 광흡수층용 CIS계 화합물 박막 제조장치에 있어서, 상기 기판온도측정장치는 히팅수단의 몸체 내에 장착되어 기판 후면의 온도를 측정하는 파이로미터인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 히팅수단의 열원은 환형으로 구성하고, 중심에는 온도측정통공을 형성하여 파이로미터에서 광조사와 반사된 광의 입사가 이루어지도록 할 수 있다.
CIS계 태양전지, 기판, 온도측정, 박막, 파이로미터Abstract translation: 目的：提供CIS系统复合薄膜制造装置，通过防止由于接触导致的热损失和基板的损坏而形成均匀的薄膜。 构成：真空室（20）包括容纳诸如Cu，In，Ga的元件的舟皿。加热部件（30）包括主体，托盘和加热源。 高温计（40）测量放置在托盘中的基板的温度。 控制器接收从高温计测量的信号。 高温计安装在加热部件的主体内，并测量基板背面的温度。
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公开(公告)号：KR100264232B1
公开(公告)日：2000-09-01
申请号：KR1019970026529
申请日：1997-06-23
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: H01L21/20
Abstract: PURPOSE: A method and an apparatus for manufacturing cadmium sulfide are provided to significantly improve the quality of a film by controlling a CdS thin film formation condition and at the same time applying ultra supersonic waves to a reaction solution in which a thin film formation reaction is generated. CONSTITUTION: A method and an apparatus for manufacturing cadmium sulfide grows a CdS thin film in a substrate using chemical bath deposition(CBD)(or dip coating or solution growth) method. The reaction solution used in the CBD method comprises a cadimium acetate Cd(CH3COO)2, 0.004-0.016M, thiourea(NH2) CS 0.005-0.015M, a buffer solution NH4(CH3COO) 1.54-6.16gm, NH4OH 1.74M. The composed reaction solution is heated at the reaction temperature of 80 Celsius. A glass substrate is inserted into the reaction solution and ultrasonic waves are applied to the glass substrate and the reaction solution so that a chemical reaction can be accelerated.
Abstract translation: 目的：提供一种制造硫化镉的方法和装置，通过控制CdS薄膜形成条件，同时对超薄膜形成反应的反应溶液施加超超声波，显着提高膜的质量 产生。 构成：使用化学浴沉积（CBD）（或浸涂或溶液生长）法在基底中生产硫化镉的方法和装置生长CdS薄膜。 在CBD方法中使用的反应溶液包括乙酸镉Cd（CH 3 COO）2，0.004-0.016M，硫脲（NH 2）CS 0.005-0.015M，缓冲溶液NH 4（CH 3 COO）1.54-6.16gm，NH 4 OH 1.74M。 在80℃的反应温度下加热组合的反应溶液。 将玻璃基板插入反应溶液中，并且将超声波施加到玻璃基板和反应溶液，使得可以加速化学反应。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100220371B1
公开(公告)日：1999-09-15
申请号：KR1019960028492
申请日：1996-07-15
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: H01L31/0445 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 본 발명은 황화-카드뮴(CdS) 박막의 제조 방법에 관한 것으로서, CBD법으로 제조한 황화-카드뮴(CdS) 박막을 염화-카드뮴(CdCl
2 ) 열처리함으로서 결정의 크기가 크고 치밀하며, 표면 또한 평탄한 황화-카드뮴(CdS) 박막을 제조할 수 있는 방법에 관한 것으로 기판을 세척하고 CBD법을 사용하여 황화-카드뮴(CdS) 박막을 제조하고 제조된 황화-카드뮴(CdS) 박막을 염화-카드뮴(CdCl
2 ) 용액이나 염화-카드뮴(CdCl
2 ) 분말 그리고 황화-카드뮴(CdS) 분말과 함께 특별히 제작한 카본 보트(carbon boat) 속에 넣고 아르곤 또는 질소 등의 비활성 가스 분위기에서 고온으로 3분 내지 10분간 열처리하여 황화-카드뮴(CdS) 결정 크기가 크고 치밀하며 표면이 평탄한 황화-카드뮴(CdS) 박막을 제조하고 고효율의 태양전지를 제조하는 것을 특징으로 하는 CBD(Chemical-bath-deposition)법과 염화-카 드뮴(CdCl
2 ) 열처리에 의한 황화-카드뮴(CdS) 박막의 제조 방법과 CdS 박막.-
公开(公告)号：KR1019970012993A
公开(公告)日：1997-03-29
申请号：KR1019950025877
申请日：1995-08-22
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: H01L21/20
Abstract: 투명전도막은 비정질 규소 태양전지나 액정표시장치 등의 박막표시장치에서 투명전극으로 사용되므로 가시광 투과율이 높고, 전기 저항이 작고, 화학적으로 안정되어 있어야 하며, 태양전지용 투명전도막의 경우 입사된 태양광의 다중 산란에 의한 반사 손실을 줄이기 위하여 요철구조의 표면형상을 가지고 있어야 한다.
본 발명은 원료인 아연 화합물, Ⅲ족 원소의 화합물, 물 및 메탄올의 혼합용액을 초음파를 이용하여 무화시키고, 이를 반송가스에 실어 가열된 기판 위에서 열분해 · 산화시킴으로써 산화아연계 박막을 투명한 기판에 입혀 투명전도막을 제조하는 방법이다.
산화아연계 투명전도막은 산화아연의 에너지 간격(금지대의 폭)이 크므로 가시광 투과율이 높으며, 불순물로서 Ⅲ족 원소를 미량 함유하기 때문에 전기 저항이 작고, 산화아연의 결합 에너지가 매우 크므로 화학적으로 안정되어 있다.
또한 본 발명에서는 원료 혼합용액을 초음파를 이용하여 무화시키는 방법을 사용하므로 CVD 법과는 달리 박막 제조장치의 구성과 조작이 간편하고, 원료의 투입을 물질별로 독립적으로 해야되는 번거로움을 피할 수 있다.-
公开(公告)号：KR1019920007251A
公开(公告)日：1992-04-28
申请号：KR1019900013868
申请日：1990-09-03
Applicant: 한국에너지기술연구원
IPC: H01L31/0445 , H01L31/18
Abstract: 내용 없음
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公开(公告)号：KR101438561B1
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：KR1020130036857
申请日：2013-04-04
Applicant: 한국에너지기술연구원
Abstract: The present invention relates to a pest control apparatus. In particular, the self-powered pest control apparatus is formed by adding a self-power supplying function to a pest control apparatus which electrically operates for controlling harmful insects and/or harmful animals. Therefore, the self-powered pest control apparatus can be used without an extra power connection or consumable electric power. According to the present invention, when sunlight is irradiated the pest control apparatus directly receives electric power from a photovoltaic devices. When sunlight is not irradiated, the pest control device receives electric power from a secondary battery in which electric energy is stored. Therefore, the pest control apparatus can be used without relying on external electric power.
Abstract translation: 本发明涉及一种害虫控制装置。 特别地，通过将自动供电功能添加到用于控制有害昆虫和/或有害动物的电动操作的害虫控制装置中来形成自供电的害虫控制装置。 因此，可以在没有额外的电力连接或消耗电力的情况下使用自供电的害虫控制装置。 根据本发明，当照射太阳光时，害虫控制装置直接从光伏器件接收电力。 当不照射阳光时，害虫控制装置从存储电能的二次电池接收电力。 因此，可以在不依赖外部电力的情况下使用害虫控制装置。
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公开(公告)号：KR101400836B1
公开(公告)日：2014-05-29
申请号：KR1020130011679
申请日：2013-02-01
Applicant: 한국에너지기술연구원
CPC classification number: B82B3/0095 , B01J19/08 , B82Y40/00 , G02B27/0961
Abstract: A nanoparticle synthesizing apparatus using a line beam laser of the present invention irradiates laser to an inner space of a reaction chamber (20) in a line beam form in which a cross section is a line in order not to be equal to the propagation direction of a reaction gas introduced to the inner space and contains a laser generating device (10) generating line beam at the outside of the reaction chamber (20), thereby being able to use the energy of the laser synthesizing nanoparticles for producing nanoparticles in a scheduled method by being controlled in the inner space of the reaction chamber (20). Especially, the nanoparticle synthesizing apparatus prevents the generation of reaction gas incapable of reacting with a laser through a line beam, thereby greatly improving mass production technology efficiency of nanoparticles.
Abstract translation: 使用本发明的线束激光器的纳米颗粒合成装置以横截面为直线的线束形式将激光照射到反应室（20）的内部空间，以便不等于 反应气体引入到内部空间，并且包含在反应室（20）的外部产生线束的激光发生装置（10），从而能够以预定的方法使用激光合成纳米颗粒的能量来制造纳米颗粒 通过控制在反应室（20）的内部空间中。 特别地，纳米颗粒合成装置防止产生不能通过线束与激光反应的反应气体，从而大大提高纳米颗粒的批量生产技术效率。
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