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公开(公告)号：KR100627703B1
公开(公告)日：2006-09-26
申请号：KR1020040105704
申请日：2004-12-14
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01S5/30
CPC classification number: H01S5/18316 , H01S5/0215 , H01S5/0217 , H01S5/18369 , H01S5/18375 , H01S5/18377
Abstract: 본 발명은 반도체 광소자 중 표면방출 레이저 제작방법에 관한 것으로 화합물 반도체 기판 위에 거울층과 활성층으로 구성된 에피 구조를 유전체 거울층과 결합하고, 이를 다시 새로운 기판 위에 금속접합 방법으로 결합한 후 기존 기판을 제거한 후 새로운 기판 위에서 표면방출 레이저를 제작하는 방법에 관한 기술을 개시한다. 이러한 기술은 표면방출 레이저를 구성하는 상부 거울 및 하부 거울과 활성층에 전기적, 광학적 영향없이 표면방출 레이저 구조를 외부적인 금속접합 방법으로 새로운 기판에 옮겨 붙여 제작하는 방법으로, 기존의 표면방출 레이저의 제작방법을 이용하면서 열적 특성이 우수한 새로운 기판으로 옮겨 제작함으로써 우수한 열 방출 특성을 얻게 하여, 궁극적으로 제작이 용이하면서 신뢰성이 높으며, 우수한 특성의 표면방출 레이저 제작을 가능하게 한다.
표면방출 레이저(Vertical Cavity Surface Emitting Lasers, VCSELs), 금속접합(metallic bonding), 화합물 반도체(compound semiconductor), 유전체 거울층(dielectric mirror), 반도체 거울층(semiconductor Distributed Brag reflector, DBR), 습식선택 식각, 건식선택 식각-
公开(公告)号：KR100527108B1
公开(公告)日：2005-11-09
申请号：KR1020030085359
申请日：2003-11-28
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01S5/18
CPC classification number: H01S5/18341 , H01S5/02461 , H01S5/18305 , H01S5/18308 , H01S5/18363
Abstract: 본 발명은 반도체 반사경 또는 광학 필터로 이용될 수 있는 반도체 광소자의 제작 방법에 대해 개시한다. 에칭비가 서로 다른 두가지 이상의 반도체층들을 교대로 적층한 후 적어도 한 종류의 반도체층들을 선택적으로 에칭하여 에어갭(air gap)을 형성하고, 에어갭이 매립되도록 열전달 특성이 양호한 산화물 혹은 질화물을 증착한다. 에어갭에 매립된 산화물 혹은 질화물과 반도체층의 큰 굴절률 차이로 인하여 적은 주기로도 효과적으로 높은 반사율을 갖는 반도체 반사경 또는 광학 필터를 구현할 수 있다.
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公开(公告)号：KR100484490B1
公开(公告)日：2005-04-20
申请号：KR1020020069588
申请日：2002-11-11
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01S5/183
Abstract: 본 발명은 1.3 ~ 1.55 ㎛ 대역의 장파장 수직 공진 표면방출 레이저 및 그 제작방법에 관한 것이다. 종래 수직 공진 표면방출 레이저의 전류 감금 구조를 형성하기 위해 취해진 여러 방법은 장파장 수직 공진 표면방출 레이저 제작방법으로 적용하기에는 문제가 있다. 본 발명에서는 전류 감금 구조와 그 형성방법을 개선하여 장파장 수직 공진 표면방출 레이저 및 그 제작방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 이 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에서는 가벼운 이온의 저에너지 주입과 터널 접합층의 복합적 사용을 통한 새로운 전류 감금 구조를 제시한다. 저에너지 이온주입은 표면 가까이에 저항이 큰 층을 형성할 수 있어서, 기존의 고에너지 이온주입과 달리 최소 전류 주입 직경을 아주 작게 만들 수 있고 소자의 저항을 크게 줄일 수 있어 열 발생을 감소시킨다. 터널 접합층의 사용으로, 전하 운반자에 의한 광손실 저항을 줄여주므로 효과적으로 소자의 전기적 특성을 향상시킨다.
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14.发明授权
公开(公告)号：KR101407062B1
公开(公告)日：2014-06-27
申请号：KR1020110023278
申请日：2011-03-16
Applicant: 한국전자통신연구원
Inventor： 송현우
Abstract: 향상된 축방향 콘트라스트를 가지는 광학 간섭 단층 영상 장치 및 이를 위한 다중면을 구비한 기준 반사경이 개시된다. 광학 간섭단층 영상 장치에 있어서, 기준 반사경은 적어도 2개 이상의 반사면을 가진 다층 구조의 반사경으로서, 각 반사면에서 반사된 광이 서로 반파장 혹은 그 홀수 배의 위상 차이를 가지도록, 제 1 반사면 및 제 1 반사면과 광원 파장의 1/4 길이 혹은 그의 홀수 배의 광 경로 차이를 가지는 적어도 하나 이상의 제 2 반사면을 구비하여 구성된다. 이러한 다중 반사면을 가진 기준 반사경을 이용할 경우에는 광원의 대역폭을 증가시키지 않으므로 광학 부품의 큰 광대역 성능을 요구하지도 않고, 각 간섭 팔에서의 경로에 대한 분산 보상도 요구하지 않는 장점이 있다. 따라서, 이러한 기준 반사경을 이용한 광학 간섭단층 영상 장치는 깊이 방향 콘트라스트가 현저히 향상된 단층 영상을 통해서 각종 정밀 후막 기술이 필요한 제약 산업, 반도체 산업, 플라스틱 소자 산업, 투명 소자 산업, 의료 기기 산업 등에 응용될 수 있다.
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公开(公告)号：KR101348655B1
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：KR1020100077699
申请日：2010-08-12
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본 발명은 미세 다단 채널을 포함하는 플라스틱 미세유체 제어 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명은 미세유체 제어 장치에 있어서, 하부 기판; 및 상기 하부 기판과 접하며, 상기 하부 기판과의 접합면에 적어도 두가지의 깊이를 갖는 다단의 미세 채널을 갖는 유로 기판을 포함한다. 본 발명에 따르면, 다양한 채널 깊이를 갖는 다단의 미세 채널을 이용하여 유체를 제어함으로써, 채널의 깊이 방향으로 모세관력을 조절하여 유체 이송을 정밀하게 제어하는 미세유체 제어 장치를 제공할 수 있다. 또한, 포토리소그래피 공정을 반복하여 다단의 미세 패턴을 형성하고 이를 전사함으로써, 표면이 평탄하고 채널 높이가 정밀하게 제어된 다단의 미세 채널을 용이하게 형성할 수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020130059997A
公开(公告)日：2013-06-07
申请号：KR1020110126264
申请日：2011-11-29
Applicant: 한국전자통신연구원
Inventor： 송현우
IPC: G01N21/17 , G01N33/483
CPC classification number: G01N21/55 , G01N21/21 , G01N21/4795
Abstract: PURPOSE: An optical constant measuring method and a device thereof are provided to accurately measure an optical constant by measuring an optical path. CONSTITUTION: An optical constant measuring method comprises: a step(S100) for irradiating lights to a specimen including a target substance; a step of measuring first optical signals of the lights reflected by the specimen; a step(S110) of grasping a structure of the specimen based on the measured first optical signals; a step of measuring second optical signals of the lights penetrated through the specimen; a step(S120) of grasping optical properties of the specimen based on the measured second optical signals; and a step(S130) of measuring an optical constant of the target substance based on the structure and the optical properties of the specimen obtained from the first and second optical signals. [Reference numerals] (AA) Start; (BB) End; (S100) Apply lights to a specimen; (S110) Analyze the structure of the specimen by measuring light signals reflected off the specimen; (S120) Analyze the optical properties of the specimen by measuring light signals passing through the specimen; (S130) Measure the optical constant of a target substance in the specimen by combining information
Abstract translation: 目的：提供光学常数测量方法及其装置，通过测量光路来精确测量光学常数。 构成：光学常数测量方法包括：用于向包含目标物质的样本照射光的步骤（S100）; 测量由样本反射的光的第一光信号的步骤; 基于所测量的第一光信号来抓取样本的结构的步骤（S110）; 测量穿过样本的光的第二光信号的步骤; 基于测量的第二光信号获取样本的光学特性的步骤（S120）; 以及基于从第一和第二光学信号获得的样本的结构和光学特性来测量目标物质的光学常数的步骤（S130）。 （附图标记）（AA）开始; （BB）结束; （S100）将样品照射到样品上; （S110）通过测量样品反射的光信号，分析样品的结构; （S120）通过测定通过试样的光信号，分析样品的光学特性; （S130）通过组合信息测量样品中的目标物质的光学常数
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公开(公告)号：KR101041870B1
公开(公告)日：2011-06-16
申请号：KR1020080117482
申请日：2008-11-25
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본 발명은 PDMS 미세입자의 제조 방법에 관한 것으로, 이 방법은 PDMS(polydimethylsiloxane)와 경화제의 혼합물과 물을 강제로 혼합하여 에멀젼(emulsion)을 형성하고, 상기 에멀젼을 정치하여 상기 PDMS를 경화시킴으로써, PDMS 미세입자를 제조할 수 있다. 이와 같이 제조된 상기 PDMS 미세입자는 라텍스 비드로 사용될 수 있다.
PDMS, 에멀젼, 미세입자-
公开(公告)号：KR1020100073061A
公开(公告)日：2010-07-01
申请号：KR1020080131644
申请日：2008-12-22
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G01N21/253 , G01N21/8483 , G01N2201/0256 , G01N2201/0826
Abstract: PURPOSE: A liquid sample analysis chip reading system, an analysis method using thereof, and a ubiquitous reading system are provided to effectively obtain the optical sensing result accurately, and to receive or transfer the optical sensing result to a remote site. CONSTITUTION: A ubiquitous liquid sample analysis chip reading system(100) comprises the following; an analysis chip(210) including three sensors applied with the same samples; a lighting-emitting area(132) including three light sources emitting each colors; three light guide paths; a photo diode(134) including three light receiving devices; a controller(118) for analyzing the electric signal transformed by the photo diode; a display unit(120) displaying the result from the controller; and a communication unit for transferring the result.
Abstract translation: 目的：提供液体样品分析芯片读取系统，其使用的分析方法和普遍存在的读取系统，以有效地获得光学感测结果，并将光学感测结果接收或传输到远程站点。 构成：普遍存在的液体样品分析芯片读取系统（100）包括： 分析芯片（210），其包括应用相同样本的三个传感器; 包括发射各种颜色的三个光源的发光区域（132） 三条导光路; 包括三个光接收装置的光电二极管（134） 用于分析由光电二极管变换的电信号的控制器（118）; 显示单元（120），显示来自控制器的结果; 以及用于传送结果的通信单元。
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公开(公告)号：KR1020100066272A
公开(公告)日：2010-06-17
申请号：KR1020090025206
申请日：2009-03-25
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a fine membrane filter having an opening having nanoscopic width by photo lithography process or electron-beam lithography process is provided. CONSTITUTION: A method for manufacturing a fine filter comprises: a step of forming a mold(30) having a first width protrusion(36); a step of forming filter membrane(42) at one side of a substrate; a step of coating a resist film on the filter membrane; a step of forming a resist pattern having a first opening to contact with the filter membrane; a step of forming a second opening by etching the filter membrane using a etching mask; a step of removing the resist film; and a step of exposing the opening of the filter membrane.
Abstract translation: 目的：提供一种通过光刻工艺或电子束光刻工艺制造具有纳米宽度的开口的细膜过滤器的方法。 制造精细过滤器的方法包括：形成具有第一宽度突起（36）的模具（30）的步骤; 在衬底的一侧形成过滤膜（42）的步骤; 在过滤膜上涂布抗蚀剂膜的步骤; 形成具有与过滤膜接触的第一开口的抗蚀剂图案的步骤; 通过使用蚀刻掩模蚀刻所述过滤膜来形成第二开口的步骤; 去除抗蚀剂膜的步骤; 以及暴露过滤膜的开口的步骤。
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公开(公告)号：KR100959134B1
公开(公告)日：2010-05-25
申请号：KR1020070132335
申请日：2007-12-17
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L29/84
Abstract: 본 발명은 반도체 가스 센서에 관한 것으로, 기저와, 상기 기저 상에 배치된 전극과, 상기 기저 상에 배치되어 상기 전극과 전기적으로 연결된 하부 감지막과, 그리고 상기 하부 감지막을 감싸며, 미세 기둥들 사이에 틈들을 포함하는 박막으로 구성된 상부 감지막을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 미세 기둥 구조를 갖는 상부 감지막을 하부 감지막 위에 형성하여 가스 군의 입자 크기에 따라 가스 감지 신호를 얻을 수 있어서 선택적인 가스 검출을 할 수 있게 된다.
반도체 가스 센서, 선택적 가스 감지, 금속산화물, 경사 증착
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