公开(公告)号：KR1020070087139A

公开(公告)日：2007-08-27

申请号：KR1020077016395

申请日：2004-12-17

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 정완섭 ,  임종연 ,  정광화 ,  이수갑

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/02 ,  G06F11/30

CPC classification number: H01L21/67242 ,  F04B51/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/67017

Abstract: A precision diagnostic method for a failure protection and a predictive maintenance of a vacuum pump and a system therefor are provided to improve stability and reliability of the predictive maintenance by using an in-situ evaluation method for obtaining a pump performance parameter of a new vacuum pump. State variables related to a pump operation of a new vacuum pump are collected with respect to an idle condition and various gas output conditions with a preset sampling speed. A maximum value and a minimum value are determined among time series values of the state variables from each set of continuously sampled signals, on a period longer than a dominant period of a state variable signal component that is changed at the idle condition and the various gas output condition. A pump operation characteristic value is estimated by using an adaptive diagnostic algorithm based on a parameter model of the idle condition and the various gas output condition. A pump performance parameter of the new vacuum pump is obtained by using an in-situ evaluation method. The estimated pump operation characteristic value and pump performance evaluation parameters are stored in a database. In order to determination whether or not the pump is required to be replaced, the estimated pump operation characteristic value and the pump performance evaluation parameters stored in the database are compared with an estimated pump operation characteristic value and a pump performance evaluation parameter under an abnormal operation condition.

Abstract translation: 提供了用于真空泵及其系统的故障保护和预测维护的精密诊断方法，以通过使用用于获得新真空泵的泵性能参数的原位评估方法来提高预测性维护的稳定性和可靠性 。 相对于空载状态和具有预设采样速度的各种气体输出条件收集与新真空泵的泵运行有关的状态变量。 在比在空闲状态下变化的状态可变信号分量的主要周期长的周期内，从每组连续采样信号的状态变量的时间序列值中确定最大值和最小值， 输出条件。 通过使用基于怠速条件和各种气体输出条件的参数模型的自适应诊断算法来估计泵操作特性值。 通过使用原位评估方法获得新型真空泵的泵性能参数。 估计的泵运行特性值和泵性能评估参数存储在数据库中。 为了确定是否需要更换泵，将存储在数据库中的估计的泵操作特性值和泵性能评估参数与异常操作下的估计的泵操作特性值和泵性能评估参数进行比较 条件。

公开(公告)号：KR100724091B1

公开(公告)日：2007-06-04

申请号：KR1020050111221

申请日：2005-11-21

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 윤주영 ,  신용현 ,  정광화

IPC: H01L21/02

Abstract: 본 발명은 화학증착 공정 중 용기 내 잔존하는 전구체의 변질 정도를 초음파의 송/수신을 통해 발생되는 신호를 분석하여 정확히 측정할 수 있는 화학 증착 공정시 용기 내의 전구체 분해도 진단장치 및 진단방법에 관한 것이다. 이를 위해, 웨이퍼(7)를 증착하는 반응기(10), 상기 반응기(10)와 연결된 전구체 용기(20)로 구성된 화학증착용 전구체 분해장치에 있어서, 상기 전구체 용기(20)의 일측에 부착되어 상기 전구체 용기(20) 내부로 초음파를 투사하고, 반사된 상기 초음파를 수신하는 초음파 센서(30); 초음파 센서(30)를 구동하고, 상기 초음파 센서(30)의 출력신호를 증폭하는 초음파 송수신기(40); 초음파 송수신기(40)의 출력신호를 변환하는 A/D 변환기(50); A/D 변환기(50)의 출력신호를 소정의 기준 데이터와 비교하는 비교수단; 및 비교수단의 비교결과에 기초하여 증착공정의 계속여부를 결정하는 결정수단으로 구성된다. 따라서, 전구체의 분해로 인한 피해를 사전에 방지하여 제품 불량율을 현저하게 감소시킬 수 있고, 상기의 측정결과를 토대로 전구체의 정확한 교체시기를 알 수 있으므로 전구체의 사용기간을 최대로 연장할 수 있다.
전구체, 화학, 증착, 운반가스, 초음파, 반사, 강도, 비교, 알람, 분해

公开(公告)号：KR1020070045413A

公开(公告)日：2007-05-02

申请号：KR1020050101657

申请日：2005-10-27

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 홍승수 ,  신용현 ,  정광화 ,  임인태

IPC: G01L21/02 ,  G01L21/00

CPC classification number: G01L27/005 ,  C21D11/00

Abstract: 본 발명은 부피가 서로 다른 진공체임버에 기체를 순차적으로 확장시켜 진공체임버의 압력을 계산하는 정적법 표준기에서 절대교정된 기준진공게이지를 이용하여 진공게이지의 이동이 없이 in-situ 상태에서 오리피스 기체흐름 제어 방법에 따라 진공게이지의 비교교정이 가능한 장치의 개발에 관한 사항이다. 관련 세부기술로는 정적법에 의한 기준진공게이지 절대교정과 오리피스 기체흐름 제어 방법에 의한 진공게이지 비교교정 결합기술, 저진공에서 고진공 영역까지의 기준압력 발생기술 및 교정기술, 오리피스 기체흐름 안정화 방법에 의한 진공게이지 비교교정에 관한 기법을 포함한다. 본 발명은 진공게이지의 절대 교정과 비교교정이 각각 다른 장치에서만 가능했던 것을 두 교정 장치를 결합한 새로운 장치의 개발로 교정시간 단축과 이동교정 등 교정효율 향상에 관한 것이다.
정적법, 기준진공게이지, 절대교정, 비교교정, 결합기술, 기준압력, 발생기술, 교정기술, 오리피스 기체흐름 안정화 방법, 진공게이지, 이동교정, 교정효율

公开(公告)号：KR100670950B1

公开(公告)日：2007-01-17

申请号：KR1020050093263

申请日：2005-10-05

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 홍승수 ,  정광화 ,  신용현

IPC: G01L11/02 ,  G01L21/00

Abstract: A system for measuring ultra-high vacuum pressure of a vacuum container by photoelectron coefficient is provided to block the leakage of the vacuum and easily measure the vacuum pressure by minimizing the attachment of the sensors installed by penetrating the vacuum chamber or the vacuum container. A system for measuring ultra-high vacuum pressure of a vacuum container(10) by photoelectron coefficient is composed of the vacuum container formed with the predetermined vacuum; a laser irradiation unit irradiating a laser(72) through a transparent window(49); a fine channel plate(70) installed in the vacuum container to detect the photoelectron; an ion amplifier(42) connected with the fine channel plate to amplify the number of the photoelectron; a spectrum analyzer(44) connected with the ion amplifier to analyze the number of the amplified photoelectron; and a current-pressure converter(46) converting the output current of the spectrum analyzer into the corresponding pressure.

Abstract translation: 提供了一种用于通过光电子系数测量真空容器的超高真空压力的系统，以阻止真空泄漏并且通过最小化穿透真空室或真空容器安装的传感器的附着来容易地测量真空压力。 用于通过光电子系数测量真空容器（10）的超高真空压力的系统由形成有预定真空的真空容器组成; 激光照射单元，其通过透明窗口照射激光器; 安装在真空容器中以检测光电子的细通道板（70）; 离子放大器（42），与所述精细通道板连接以放大所述光电子的数量; 与离子放大器连接的频谱分析器（44），以分析放大光电子的数量; 以及将频谱分析仪的输出电流转换成相应的压力的电流压力转换器（46）。

公开(公告)号：KR100609861B1

公开(公告)日：2006-08-08

申请号：KR1020040058333

申请日：2004-07-26

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 윤주영 ,  임종연 ,  신용현 ,  정광화

IPC: H01L21/02

Abstract: 본 발명은 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 막힘 진단장치 및 방법에 관한 것으로, 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 내벽을 향해 발사되어 이로부터 반사된 초음파 신호를 감지한 감지신호로부터 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 내벽 막힘 여부를 진단하되, 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 내벽으로부터 반사된 초음파 신호의 진폭을 비교함에 의해 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 내벽 막힘 여부를 진단하도록 구현하여 반도체 소자 제조용 진공장치의 파이프 내벽 막힘 여부 또는 오염 정도를 반도체 소자 제조용 진공장치로부터 파이프를 해체하지 않고도 정확하게 진단할 수 있도록 한 것이다.
반도체 소자, 진공장치, 파이프 막힘, 초음파

公开(公告)号：KR1020060009668A

公开(公告)日：2006-02-01

申请号：KR1020040058335

申请日：2004-07-26

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 윤주영 ,  임종연 ,  신용현 ,  정광화

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67253 ,  B01F15/028 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/6715 ,  H01L21/67276

Abstract: 본 발명은 반도체 제조공정 중 화학물질이 이용되는 반응공정에 있어서, 반응로에서 배출되는 부산물의 성분을 분석하여 공정의 진행상태를 모니터링할 수 있도록 한 반도체 제조용 반응공정 진단시스템에 관한 것이다.
이에 본 발명은, 반도체 제조공정 중 각종 화학물질이 포함된 반응가스가 내부로 주입되는 반응로와, 상기 반응로에서 발생된 부산물을 외부로 배출하는 배출관 및 펌프와, 상기 배출관에 설치되어 상기 부산물에 포함된 각종 화학물질의 성분을 분석하여 디스플레이하는 성분 분석부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 진단시스템을 제공함으로써, 반응의 진행상태를 파악하여 원활한 반응을 유도할 수 있을 뿐만 아니라, 반응성이 높은 화학물질의 배출로 인한 배출관 및 펌프의 부식등을 최소화할 수 있는 효과를 가진다.
반응로, 배출관, 펌프, 분석부, 밸브, 제어부

Abstract translation: 本发明涉及一种半导体生产反应过程诊断系统通过分析在半导体制造过程中的反应过程中使用的化学品，从反应器排出的副产物的组合物来监测该过程的进展。

公开(公告)号：KR100778384B1

公开(公告)日：2007-11-22

申请号：KR1020060041113

申请日：2006-05-08

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 윤주영 ,  신용현 ,  정광화

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/205

Abstract: 본 발명은 화학증착 공정 중 용기 내 잔존하는 전구체의 수위를 초음파의 송/수신을 통해 감지하되 일정시간 지연시켜 필터링 및 노이즈를 제거토록 함으로서 보다 정확한 잔존량을 체크할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 화학 증착 공정시 용기 내의 전구체 잔존량 진단장치 및 진단방법에 관한 것으로,
전구체(200a)의 수면을 향해 상기 초음파를 송신하고 상기 수면으로부터 반사된 초음파를 일정시간 지연시켜 수신하는 초음파 센서장치(410)와; 문턱 전압을 최대 진폭의 절반정도로 조절하여 문턱전압을 넘어서지 않은 값들은 필터링에 의해 제거토록 하며, 필터링된 데이터와 이미 설정되어 있는 기준수위를 비교하여 수위가 기준이하일 경우 알람출력신호를 인가하는 초음파 제어부(410)를 포함하여 구성함이 특징이며;
반도체 제조공정 중 웨이퍼의 화학 증착 공정에서 초음파를 지연시킨 상태에서 수신토록 하여 노이즈를 제거하고 아울러 문턱전압 이상의 전압만을 체크하여 보다 정확한 전구체의 수위를 실시간으로 측정함으로서 전구체의 고갈로 인한 피해를 사전에 방지함으로써 제품 불량율을 현저하게 감소시킬 수 있는 효과가 있다.
화학증착, 용기, 전구체, 잔존량, 진단

公开(公告)号：KR1020070087140A

公开(公告)日：2007-08-27

申请号：KR1020077016396

申请日：2004-12-17

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 정완섭 ,  임종연 ,  정광화 ,  이수갑

IPC: F04D15/00 ,  F04D27/00 ,  F04B49/00

Abstract: A trend monitoring and diagnosing/analyzing method for a vacuum pump, a trend monitoring and diagnosing/analyzing system, and a computer-readable storage media including a computer program for the method are provided to simplify the process and improve efficiency. A trend monitoring and diagnosing/analyzing method for vacuum pump includes the steps of sampling the time-series data of state variable signal with the predetermined velocity in the idle condition and the gas output operating condition, classifying the maximum and the minimum of the time-series data from each subset of the continuously standardized signals, estimating an optimized model parameter set of the asymptotic upper bound from the classified maximum value of each state variable, and estimating another optimized model parameter of the asymptotic lower bound from the classified minimum value of each state variable, computing the index of pumping speed based on absorbing pressure by using the in-situ evaluation method every time the transition from the gas output operating state to the idle state is observed, storing the upper model parameter and the lower model parameter of the asymptotic upper bound and the asymptotic lower parameter of all objective state variables, and storing the computed index of pumping speed every time the transition from the gas output operating state to the idle state is observed, estimating the model parameter of the upper and the lower bound, and repeating computing the pumping index, and observing the fluctuation trends from the upper and the lower parameters of all objective state variables collected under the continuous idle condition and the gas output operating condition, observing the fluctuation trend from the index of pumping speed continuously collected from the transition, and diagnosing whether the vacuum pump malfunctions.

Abstract translation: 提供了一种用于真空泵，趋势监测和诊断/分析系统的趋势监测和诊断/分析方法，以及包括用于该方法的计算机程序的计算机可读存储介质，以简化该过程并提高效率。 真空泵的趋势监测和诊断/分析方法包括以下步骤：以空闲状态和气体输出运行条件下的预定速度对状态变量信号的时间序列数据进行采样，对时间序列的最大和最小值进行分类， 从连续标准化信号的每个子集的系列数据，从每个状态变量的分类最大值估计渐近上界的优化模型参数集，并从每个状态变量的分类最小值估计渐近下界的另一优化模型参数 状态变量，每当从气体输出运行状态转换到空转状态时，通过使用原位评估方法，基于吸收压力计算抽速的指标，存储上模型参数和下模型参数 所有目标状态变量的渐近上界和渐近下限参数，以及存储 g，每当从气体输出运行状态转换到空闲状态时，计算出泵送速度的指标，估计上下限模型参数，重复计算泵送指数，并观察波动趋势 在连续怠速条件和气体输出运行条件下收集的所有目标状态变量的上下参数，观察从过渡连续收集的抽速指数的波动趋势，以及诊断真空泵是否发生故障。

公开(公告)号：KR1020070037783A

公开(公告)日：2007-04-09

申请号：KR1020050092789

申请日：2005-10-04

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 홍승수 ,  정광화 ,  신용현 ,  성대진

IPC: G01L11/02

Abstract: 본 발명은 적외선 카메라를 이용한 진공용기의 압력 측정 시스템에 관한 것이다. 이를 위해, 내부에 소정의 진공이 형성된 진공용기(10); 진공용기(10) 내에 구비되는 금속 시편(62); 진공용기(10)의 외면에 밀착되어 진공용기(10) 내부의 시편(62)을 향해 적외선(60)을 조사하는 적외선 조사수단; 시편(62)으로부터 반사되는 적외선(60)을 영상으로 촬영하기 위한 적외선 카메라(40); 적외선 카메라(40)가 촬영한 영상에 기초하여 진공용기(10) 내의 압력변화에 따른 시편의 온도변화를 산출하는 온도 산출수단; 및 온도 산출수단에 의해 산출된 온도변화에 기초하여 진공용기(10) 내의 압력을 산출하는 압력 산출수단;으로 구성되는 것을 특징으로 하는 적외선 카메라를 이용한 진공용기의 압력 측정장치가 제공된다.
진공, 압력, 측정, 센서, 적외선, 카메라, 영상, 산출, 표시, 용기

公开(公告)号：KR1020070034698A

公开(公告)日：2007-03-29

申请号：KR1020050089163

申请日：2005-09-26

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 홍승수 ,  신용현 ,  정광화

IPC: G01L11/06

CPC classification number: G01L21/08

Abstract: 본 발명은 진공용기의 압력 측정 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 초음파를 이용한 진공용기의 압력 측정 시스템에 관한 것이다. 이를 위해, 내부에 소정의 진공이 형성된 진공용기(10); 진공용기(10)의 외면에 밀착되어 상기 진공용기(10)의 내부로 초음파(62)를 발사하는 초음파 발사수단; 초음파 발사수단으로부터 발사된 초음파(62)가 상기 진공용기(10)에 충돌하여 반사된 반사파(64)를 수신하기 위한 초음파 수신수단; 초음파 수신수단으로부터 반사파(64)를 검출하는 반사파 검출수단; 및 반사파 검출수단으로부터 검출된 반사파(64)로부터 진폭을 분석하는 진폭 분석수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 진공용기의 압력 측정장치가 제공된다.
진공, 압력, 측정, 센서, 초음파, 반사파, 검출, 분석