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公开(公告)号：KR101869613B1
公开(公告)日：2018-06-21
申请号：KR1020160161949
申请日：2016-11-30
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은진공방전관을이용한압력센서에관한것으로서, 본발명의일 실시예에따른압력센서는내부가중공된원기둥형상으로형성되고, 일면에형성된제 1 결합홈및 상기제 1 결합홈과대향하고, 타단에형성된제 2 결합홈을포함하는진공플랜지; 상기진공플랜지의중공된내부에배치되며, 상기제 1 결합홈에결합되는제 1 전극및 상기제 2 결합홈에결합되는제2 전극을포함하고, 상기제 1 전극및 제 2 전극에고전압이가해지면방전을일으키는진공방전관; 및상기진공방전관내부의압력을측정하는제어부를포함하되, 상기제어부는진공방전관내부의발생된방전의색, 모양, 및방전전류중 어느하나에기초하여상기진공방전관내부의압력을산출하는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR101087718B1
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：KR1020090029762
申请日：2009-04-07
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/205
Abstract: 본 발명은 유기금속화합물 전구체와 아민화합물을 이용하여 저온의 기판 위에 금속 박막을 형성하는 방법에 관한 것이다. 구체적으로는 하나 이상의 리간드와 배위 결합하는 금속을 포함하는 유기금속화합물 전구체를 아민화합물, 또는 아민화합물과 수소를 이용하여 저온의 기판 위에서 유기금속화합물 전구체의 리간드를 해리시켜 금속 박막을 형성하는 방법에 관한 것이다.
CVD, ALD, 화학기상증착, 원자층증착, 금속박막, β-디케토네이트-
公开(公告)号：KR101012767B1
公开(公告)日：2011-02-08
申请号：KR1020080041717
申请日：2008-05-06
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 자기변형 진동자를 이용한 용기부 내의 압력측정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 용기부의 외부에 코일을, 용기부의 내부에는 진동부를 구성하여, 초음파를 용기부 내부에서 바로 출력함으로써 용기의 변형(천공 등) 없이 초음파를 발생시켜 누설의 가능성을 최소화하고, 용기내의 매질에 전파하는 초음파의 전달 효율을 측정하여 압력을 측정하는 장치이다. 또한, 초음파를 효율적으로 발생시켜, 압력측정시 정확성이 향상되고, 고진공 상태에서도 측정가능한 압력측정장치에 관한 것이다. 본 발명의 구체적 수단으로서 압력측정장치는 용기부(10) 측벽의 외부에 설치되는 제1자화요크(110)에 권취된 가진코일부(120)와; 제1자화요크(110)에 권취된 수신코일부(140)와; 제1자화요크(110)가 설치된 용기부(10)의 측벽의 내부에 구비되는 진동부(150);로 구성된 자기변형 송수신 진동자(100); 가진코일부(120)에 소정의 전류를 인가하는 제어부(20); 및 수신코일부(140)에 의하여 수신된 초음파 신호와 진동부(150)에서 출력된 초음파 신호에 기초하여 용기부(10)의 내부압력을 측정하는 압력측정부(60);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명의 다른 구체적인 수단으로서, 압력측정장치는 용기부(10)의 일 측벽의 외부에 설치되는 제1자화요크(210)에 권취된 가진코일부(220)와; 제1자화요크(210)가 설치된 용기부(10)의 일 측벽 내부에 구비되는 가진진동부(250);로 구성된 자기변형 가진 진동자(200); 용기부(10)의 타 측벽의 외부에 설치되는 제2자화요크(210')에 권취된 수신코일부(240')와; 제2자화요크(210')가 설치된 용기부(10) 의 타 측벽의 내부에 구비되는 수신진동부(250');로 구성된 자기변형 수신 진동자(200'); 가진코일부(220)에 소정의 전류를 인가하는 제어부(20); 및 수신코일부(240')에 의하여 수신된 초음파 신호와 가진진동부(250')에서 출력된 초음파 신호에 기초하여 용기부(10)의 내부압력을 측정하는 압력측정부(60);를 포함한다.
자기변형, 압력, 진공, 초음파, 반사판, 줄 효과, 빌라리 효과-
公开(公告)号：KR100998987B1
公开(公告)日：2010-12-09
申请号：KR1020080110415
申请日：2008-11-07
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/3065 , H01L21/205 , H01L21/66
Abstract: 본 발명은 아킹을 이용한 내플라즈마 평가방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 반도체와 같은 정밀기기에 사용되는 부품의 코팅성능을 측정하기 위한 방법 중 내플라즈마 평가방법에서 챔버내에 아킹을 걸어 부품의 코팅에서 튀어나오는 입자를 정량화하여 부품의 내구성을 평가하는 플라즈마 평가방법에 관한 것이다.
본 발명의 평가방법은, 반도체를 포함한 정밀기기에 사용되는 부품의 코팅성능을 평가하는 내플라즈마 평가방법에 있어서, 코팅부품의 시편을 챔버에 장착하고, 챔버의 배기라인에는 OES(Optical emission spectroscopy) 장착하는 평가준비과정과; 상기 챔버에 플라즈마를 걸어 시편에 아킹이 발생되도록 하는 아킹발생실험과정과; 상기 아킹에 의해 시편으로부터 분리된 파티클을 OES 스펙트럼 분석하여 Al 또는 O 성분 피크크기를 정량화하는 OES분석과정과; 상기 OES분석과정에서 분석된 데이터를 이용하여 내플라즈마를 평가하는 내플라즈마 평가과정;을 포함하여 이루어진다.
플라즈마, 내구성, 코팅성능, 아킹, 부품-
公开(公告)号：KR100919122B1
公开(公告)日：2009-09-25
申请号：KR1020070121776
申请日：2007-11-28
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 압력 측정 장치 및 그 방법을 제공한다. 이 방법은 밀폐 시료를 챔버에 로딩하여 챔버 내부의 초기 압력을 측정하는 단계, 밀폐시료를 개방시키는 단계, 및 밀폐시료를 개방시킨 후에 챔버 내의 개방 압력을 측정하여 밀폐 시료 내부의 시료 압력을 추출하는 단계를 포함하되, 시료 압력은 보일-샤르의 법칙을 이용하여 추출한다.
밀폐 시료, 압력 측정, 진공 챔버-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020070037783A
公开(公告)日：2007-04-09
申请号：KR1020050092789
申请日：2005-10-04
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01L11/02
Abstract: 본 발명은 적외선 카메라를 이용한 진공용기의 압력 측정 시스템에 관한 것이다. 이를 위해, 내부에 소정의 진공이 형성된 진공용기(10); 진공용기(10) 내에 구비되는 금속 시편(62); 진공용기(10)의 외면에 밀착되어 진공용기(10) 내부의 시편(62)을 향해 적외선(60)을 조사하는 적외선 조사수단; 시편(62)으로부터 반사되는 적외선(60)을 영상으로 촬영하기 위한 적외선 카메라(40); 적외선 카메라(40)가 촬영한 영상에 기초하여 진공용기(10) 내의 압력변화에 따른 시편의 온도변화를 산출하는 온도 산출수단; 및 온도 산출수단에 의해 산출된 온도변화에 기초하여 진공용기(10) 내의 압력을 산출하는 압력 산출수단;으로 구성되는 것을 특징으로 하는 적외선 카메라를 이용한 진공용기의 압력 측정장치가 제공된다.
진공, 압력, 측정, 센서, 적외선, 카메라, 영상, 산출, 표시, 용기-
公开(公告)号：KR1020070034698A
公开(公告)日：2007-03-29
申请号：KR1020050089163
申请日：2005-09-26
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01L11/06
CPC classification number: G01L21/08
Abstract: 본 발명은 진공용기의 압력 측정 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 초음파를 이용한 진공용기의 압력 측정 시스템에 관한 것이다. 이를 위해, 내부에 소정의 진공이 형성된 진공용기(10); 진공용기(10)의 외면에 밀착되어 상기 진공용기(10)의 내부로 초음파(62)를 발사하는 초음파 발사수단; 초음파 발사수단으로부터 발사된 초음파(62)가 상기 진공용기(10)에 충돌하여 반사된 반사파(64)를 수신하기 위한 초음파 수신수단; 초음파 수신수단으로부터 반사파(64)를 검출하는 반사파 검출수단; 및 반사파 검출수단으로부터 검출된 반사파(64)로부터 진폭을 분석하는 진폭 분석수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 진공용기의 압력 측정장치가 제공된다.
진공, 압력, 측정, 센서, 초음파, 반사파, 검출, 분석-
公开(公告)号：KR1020180062555A
公开(公告)日：2018-06-11
申请号：KR1020160161949
申请日：2016-11-30
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은진공방전관을이용한압력센서에관한것으로서, 본발명의일 실시예에따른압력센서는내부가중공된원기둥형상으로형성되고, 일면에형성된제 1 결합홈및 상기제 1 결합홈과대향하고, 타단에형성된제 2 결합홈을포함하는진공플랜지; 상기진공플랜지의중공된내부에배치되며, 상기제 1 결합홈에결합되는제 1 전극및 상기제 2 결합홈에결합되는제2 전극을포함하고, 상기제 1 전극및 제 2 전극에고전압이가해지면방전을일으키는진공방전관; 및상기진공방전관내부의압력을측정하는제어부를포함하되, 상기제어부는진공방전관내부의발생된방전의색, 모양, 및방전전류중 어느하나에기초하여상기진공방전관내부의압력을산출하는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR1020110042573A
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：KR1020090099302
申请日：2009-10-19
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: PURPOSE: An evaluation method of anti-corrosion property for chemical gas is provided to obtain same measurement value even when the size or the shape of the chamber is different, by standardizing the environment of the chamber. CONSTITUTION: A specimen of the coated parts is manufactured(P1). The withstand voltage and the erosion degree of the manufactured specimen are measured(P2). The driving condition of the chemical gas generation chamber is set as the experiment environment(P3). The specimen is placed in the chamber which is set as the experiment environment, and exposed to the chemical gas for corrosion reaction(P4).
Abstract translation: 目的：通过标准化室内环境，提供化学气体的防腐蚀性评价方法，即使在室的尺寸或形状不同的情况下也能获得相同的测定值。 构成：制造涂层部件的试样（P1）。 测量制造的试样的耐受电压和侵蚀程度（P2）。 将化学气体发生室的驱动条件设定为实验环境（P3）。 将样品置于作为实验环境的室内，暴露于化学气体进行腐蚀反应（P4）。
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公开(公告)号：KR1020090116040A
公开(公告)日：2009-11-11
申请号：KR1020080041716
申请日：2008-05-06
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01N29/032 , G01N2291/02872 , G01N2291/048 , G01N2291/102
Abstract: PURPOSE: A pressure measuring device using an acoustic impedance variation is provided to increase the ultrasonic wave output and receiving efficiency. CONSTITUTION: A pressure measuring device using an acoustic impedance variation comprises an ultrasonic wave excitation part(20), a first acoustic impedance conformal layer(50a), an ultrasonic receiver(30), a second acoustic impedance conformal layer(50b), a controller(22) and a pressure measurement part(60). The first acoustic impedance conformal layer increases the transfer efficiency of the ultrasonic wave outputted from the ultrasonic wave excitation part. The second acoustic impedance conformal layer increases the receiving efficiency of the ultrasonic wave received by the ultrasonic receiver. The pressure measurement part measures the inner pressure of a trough based on the ultrasonic signal received in the ultrasonic receiver.
Abstract translation: 目的：提供使用声阻抗变化的压力测量装置，以增加超声波输出和接收效率。 构成：使用声阻抗变化的压力测量装置包括超声波激励部分（20），第一声阻抗共形层（50a），超声波接收器（30），第二声阻抗共形层（50b），控制器 （22）和压力测量部（60）。 第一声阻抗共形层提高从超声波激发部输出的超声波的传递效率。 第二声阻抗共形层增加超声波接收器接收的超声波的接收效率。 压力测量部件基于在超声波接收器中接收的超声波信号来测量槽的内部压力。
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