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公开(公告)号：WO2015083973A1
公开(公告)日：2015-06-11
申请号：PCT/KR2014/011388
申请日：2014-11-26
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/147 , H01J37/21 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/147 , H01J37/21 , H01J37/317
Abstract: 본 발명은 하전입자 빔을 방출하는 하전입자 소스, 상기 하전입자 소스쪽에 구비되며, 전기장 또는 자기장에 의해 상기 하전입자 빔을 집속하여 주는 하나이상의 중간 집속렌즈, 및 최종 집속렌즈로서 시료쪽에 구비되며, 시료위에 집속되는 빔 스폿인 하전입자 빔 프로브를 형성시키는 대물렌즈를 포함하는 집속렌즈군, 상기 하전입자 소스 및 집속렌즈군을 내부에 구비하며, 상기 하전입자 소스로부터 방출된 하전입자 빔이 대물렌즈를 거쳐 시료에 조사되는 통로인 어퍼처를 구비하는 진공챔버, 상기 하전입자 빔의 조사 방향을 제어하여 바꾸어 주는 하나 이상의 편향기, 및 관찰 또는 가공하려는 시료를 지지하며, 상기 시료를 이동할 수 있는 시료 스테이지를 포함하는 하전입자 빔 프로브 형성 장치 및 이를 이용하여 시료를 관찰 또는 가공하는 방법에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及带电粒子束探针形成装置和使用其的样品的观察或处理方法，该装置包括：用于发射带电粒子束的带电粒子源; 聚焦透镜组包括至少一个中间聚焦透镜，其设置在与带电粒子源相邻的位置处以通过电场或磁场聚焦带电粒子束，以及与样品相邻设置的物镜作为最终 聚焦透镜形成带电粒子束探针，其是聚焦在样品上的束斑; 包含带电粒子源和聚焦透镜组的真空室，其具有用作通道的孔，通过该通道使从带电粒子源发射的带电粒子束经由物镜瞄准样品; 至少一个偏转器，用于控制和改变带电粒子束的瞄准方向; 以及支持待观察或处理的样品并能够移动样品的样品台。
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公开(公告)号：WO2016024704A1
公开(公告)日：2016-02-18
申请号：PCT/KR2015/005337
申请日：2015-05-28
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 하전입자 현미경의 입자빔 제어 장치 및 방법에 관한 것으로, 보 다 상세하게는 하전입자 현미경내 하전입자빔을 제어함으로써, 시료 표면의 정보를 획득하기 위해 정전 방식 또는 자기 방식의 편향기(스캐너)에 의해 왜곡되는 동적 특성을 바로 잡아 원하는 위치에 하전입자빔을 조사 시킴으로써 측정된 시료표면의 이미지가 왜곡되는 것을 방지하고, 고속으로 이미지를 획득 할 수 있도록 하며, 원하는 형태로 시료 표면을 가공할 수 있도록 하는 하전 입자빔 제어 장치 및 이를 이용한 하전입자빔의 제어 방법에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种带电粒子显微镜的粒子束控制装置和方法，更具体地，涉及一种带电粒子束控制装置和使用该粒子束控制装置的带电粒子束控制方法，该方法控制带电粒子内的带电粒子束 显微镜，以校正由静电方案或磁性方案的偏转器（扫描仪）变形的动态特性，并将带电粒子束照射到期望的位置，以获取样本表面上的信息，从而防止样本表面的测量图像 不会变形，能够快速获取图像，并且能够以期望的形式处理样品表面。
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公开(公告)号：WO2015190723A1
公开(公告)日：2015-12-17
申请号：PCT/KR2015/005287
申请日：2015-05-27
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/26
Abstract: 본 발명은 하전입자 빔 현미경의 주사신호 제어방법에 관한 것으로, 보다 구 체적으로는 하전입자 빔의 조사 방향을 제어하여 바꾸어 주는 하나이상의 편향기; 하전입자 빔의 조사 방향을 제어하는 스캔 프로파일을 생성하여 상기 편향기에 제 공하는 주사파형 발생기; 및 상기 편향기에서 실제로 출력되는 전류파형을 제어하 는 주사 파형 제어부;를 포함하는 하전입자 빔 현미경의 주사신호를 생성하는 방법으로서 상기 편향기로부터 기인하는 시료 표면의 왜곡된 영상을 개선할 수 있는 주사 신호의 제어 방법 및 이를 이용한 장치에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于控制带电粒子束显微镜的扫描信号的方法，更具体地，涉及一种用于控制能够改善由偏转器引起的样品表面上的失真图像的扫描信号的方法，以及 使用其的装置，产生带电粒子束显微镜的扫描信号的方法，其中带电粒子束显微镜包括：用于控制和改变带电粒子束的照射方向的至少一个偏转器; 扫描波形发生器，用于产生用于控制带电粒子束的照射方向并将其提供给偏转器的扫描轮廓; 以及扫描波形控制单元，用于控制实际从偏转器输出的当前波形。
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公开(公告)号：KR101857046B1
公开(公告)日：2018-05-14
申请号：KR1020160112458
申请日：2016-09-01
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G02B21/00
Abstract: 본발명은실리콘의결정특성을이용하여형성한사각뿔형상의관통공으로전자빔이통과하게하고광학빔은반사하도록한 광-전자융합현미경용광반사거울에관한것으로, 결정구조의이방성식각을이용하므로, 실리콘의 (111) 면과 (100) 면의각도인 54.7°로식각이되어관통공이한쪽에서다른쪽으로갈수록점점좁아져서(Tapering), 광반사거울을경사지게배열하였을때 좁은관통공부위를광의입사방향으로배치하여광손실을최소화할수 있고, 실리콘습식공정을이용하여경제적인광반사거울의다량획득이가능한효과가있다.
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公开(公告)号：KR1020140027687A
公开(公告)日：2014-03-07
申请号：KR1020120093556
申请日：2012-08-27
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/28 , H01J37/147
Abstract: The present invention relates to a scanning electron penetration film protection device of a scanning electron microscope and a scanning electron microscope having the same. The scanning electron penetration film protection device of a scanning electron microscope applies a negative electrode or a positive electrode to an electron beam scanning route between an electron beam output unit and an electron penetration film of the scanning electron microscope having the electron penetration film to locate a test sample in atmospheric pressure conditions to be observed so that a scanning direction of an electron heading toward the electron penetration film can be changed toward a negative electrode output unit or a positive electrode output unit. The scanning electron penetration film protection device of a scanning electron microscope allows the electron beam to head toward the electron penetration film or not to head toward the electron penetration film, thereby preventing the service life of the electron penetration film from being shortened by allowing the electron not to penetrate the electron penetration film if the test sample is not observed while outputting the electron beam.
Abstract translation: 本发明涉及扫描电子显微镜的扫描电子穿透膜保护装置及其扫描电子显微镜。 扫描电子显微镜的扫描电子穿透膜保护装置，在具有电子穿透膜的扫描电子显微镜的电子束输出单元和电子穿透膜之间的电子束扫描路径上施加负极或正极，以定位 测试样品在大气压力条件下进行观察，使得朝向电子穿透膜的电子的扫描方向可以朝向负极输出单元或正极输出单元改变。 扫描电子显微镜的扫描电子穿透膜保护装置允许电子束朝向电子穿透膜朝向电子穿透膜，从而通过允许电子束来减少电子穿透膜的使用寿命 如果在输出电子束时未观察到测试样品，则不会穿透电子穿透膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101307421B1
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：KR1020100054091
申请日：2010-06-08
Applicant: 한국표준과학연구원 , 경희대학교 산학협력단
IPC: H01L27/146
Abstract: 본 발명은 전자빔용 이미지 센서 및 그의 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 전자빔용 이미지 센서는 스위칭 전압을 공급하는 게이트 라인 및 박막트랜지스터에 저장된 전하를 외부로 출력하는 데이터 라인에 접속되는 박막트랜지스터와, 박막트랜지스터의 드레인에 접속되어, 가시광 입력에 따라 박막트랜지스터에 전달할 전하를 축적하는 포토다이오드와, 포토다이오드에 음 전위의 바이어스 전압을 공급하는 바이어스 라인과 접속되는 바이어스 전극을 포함하고, 바이어스 전극은, 박막트랜지스터 상부와 포토다이오드의 외곽을 덮도록 형성된다.-
公开(公告)号：KR101069000B1
公开(公告)日：2011-09-30
申请号：KR1020100050604
申请日：2010-05-28
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 진동자에서 발생하는 누설 자기장에 의하여 탐지 코일에 미치는 영향을 최소화하여 높은 공간 분해능을 제공하는 탐지 코일이 제공된다. 진동형 탐지 코일은, 주파수 f인 교류 자기장을 인가하면 주파수 2f로 자기 변형이 발생되는 진동자와, 진동자에 연결된 탐지 코일을 포함한다.
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公开(公告)号：KR1019990004219A
公开(公告)日：1999-01-15
申请号：KR1019970028269
申请日：1997-06-27
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 현재 세계적으로 상용화되고 있는 차량의 위치정보시스템은 스마트 카드(smart card) 라는 자기고유번호(identification number)를 갖는 전자 카드(electronic card)와 카드 안식장치(card reader)를 이용하는 기술, 인공위성으로부터 위치정보를 받아 처리하는 소위 GPS(Global Positioning System) 이용하는 기술, Loran-C 혹은 광통신 중계방식을 이용한 기술, 휴대폰 통신 프로토클을 이용하는 기술 등이 있다.
본 발명은 전술한 기존 시스템과 달리 무선전화기(일명, 시티폰) 및 공중 기지국을 활용하는 기수로써, 버스 같은 차량의 위치, 운행상태 등의 데이터를 무선전화기를 통하여 중앙관제시스템에 주고, 중앙관제시스템은 이 데이터와 보조 데이터(무선 전화기를 중계한 공중기지국의 회선번호로부터 알 수 있는 공중 기지국의 위치 및 통화연결시각)를 처리 하여, 차량위치를 알고자 하는 또 다른 위치에 유·무선으로 연결된 단말기를 통하여 당해 차량의 도착예정시간, 운행상태 등과 같은 정보를 알려주는 차량 위치 정보시스템에 관한 것이다.-
公开(公告)号：KR1020150143907A
公开(公告)日：2015-12-24
申请号：KR1020140071894
申请日：2014-06-13
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/26
Abstract: 본발명은하전입자빔 현미경의주사신호제어방법에관한것으로, 보다구체적으로는하전입자빔의조사방향을제어하여바꾸어주는하나이상의편향기; 하전입자빔의조사방향을제어하는스캔프로파일을생성하여상기편향기에제공하는주사파형발생기; 및상기편향기에서실제로출력되는전류파형을제어하는주사파형제어부;를포함하는하전입자빔 현미경의주사신호를생성하는방법으로서상기편향기로부터기인하는시료표면의왜곡된영상을개선할수 있는주사신호의제어방법및 이를이용한장치에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于控制带电粒子束显微镜的扫描信号的方法，更具体地，涉及一种用于控制能够改善由偏转器引起的样品表面上的失真图像的扫描信号的方法， 使用该方法，产生带电粒子束显微镜的扫描信号的方法，其中所述带电粒子束显微镜包括：用于控制和改变带电粒子束的照射方向的至少一个偏转器; 扫描波形发生器，用于产生用于控制带电粒子束的照射方向并将其提供给偏转器的扫描轮廓; 以及扫描波形控制单元，用于控制实际从偏转器输出的电流波形。
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公开(公告)号：KR101236489B1
公开(公告)日：2013-02-25
申请号：KR1020100054764
申请日：2010-06-10
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/285
Abstract: 전계 방출 주사 전자 현미경용 전자 빔 가속 장치에서 초고진공을 효율적으로 발생시키기 위한 장치가 제공된다. 진공 챔버를 포함하는 전계 방출 주사 전자 현미경용 전자빔 가속 장치의 초고진공 발생 장치는, 진공 챔버에 포함된 전자빔을 방출하고 가속시키는 전자 총과, 전자 총에 전자빔을 방출시키고 가속시키기 위한 고압 전원을 공급하는 빔 가속 전원 공급부와, 빔 가속 전원 공급부의 고압 전원을 기준 전위로 하여 게터 펌프의 가열기를 가열하기 위한 구동 전원을 공급하는 게터 펌프 전원 공급부와, 진공 챔버 내부에 설치되며, 게터 펌프 전원 공급부의 구동 전원을 이용하여 동작하는 게터 펌프를 포함한다.
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