公开(公告)号：KR1020160127218A

公开(公告)日：2016-11-03

申请号：KR1020150057401

申请日：2015-04-23

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 이정환 ,  박진구 ,  김민수 ,  이준 ,  안재빈 ,  안진호 ,  오혜근 ,  김정환 ,  김인선

IPC: H01L21/027 ,  G03F1/62 ,  G03F1/00

Abstract: 펠리클이제공된다. 상기펠리클은, 제1 면및 상기제1 면에대향하는제2 면을갖는멤브레인(membrane), 상기멤브레인의상기제1 면상의펠리클프레임(pellicle frame), 및상기멤브레인으로부터열을흡수하여외부로방출하고, 상기멤브레인의상기제2 면으로부터위로(upwardly) 연장하는복수의핀(fin)들을포함하고, 상기멤브레인의상기제2 면의가장자리상에배치된, 열방출층(heat emission layer)을포함한다.

公开(公告)号：KR1020150099675A

公开(公告)日：2015-09-01

申请号：KR1020140040543

申请日：2014-04-04

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 김민수 ,  김향란 ,  김현태 ,  박진구

IPC: H01L21/302 ,  H01L21/027 ,  G03F1/62

CPC classification number: G03F1/82 ,  G03F1/64

Abstract: 펠리클 프레임의 세정 방법이 제공된다. 상기 펠리클 프레임의 세정 방법은, 알칼리 용액을 이용하여 펠리클 프레임(pellicle frame)을 세정하는 단계, 산화제를 포함하는 세정 용액을 이용하여, 상기 알칼리 용액으로 세정된 상기 펠리클 프레임을 세정하는 단계, 상기 펠리클 프레임을 린싱하는 단계, 및 상기 펠리클 프레임을 건조하는 단계를 포함한다.

Abstract translation: 本发明提供一种清洁防护薄膜组件框架的方法。 用于清洁防护薄膜框架的方法包括：使用碱溶液来清洁防护薄膜框架的步骤; 使用含有氧化剂的清洗液清洗用碱溶液清洗的防护薄膜组件框架的步骤; 漂洗防护薄膜框架的一个步骤; 以及干燥防护薄膜框架的步骤。