公开(公告)号：KR101743828B1

公开(公告)日：2017-06-08

申请号：KR1020150130744

申请日：2015-09-16

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 안재빈 ,  류헌열 ,  박진구 ,  김명준

IPC: H01L21/033 ,  H01L21/02 ,  H01L21/306 ,  H01L29/06 ,  C23C14/04

Abstract: 기판을준비하는단계, 상기기판의제1 면(first surface) 상에타겟패턴(target pattern)이형성된제1 필름(first film)을배치하는단계, 상기기판의제2 면(second surface) 상에, 상기기판의중앙부를덮고, 상기기판의가장자리부를노출하는제2 필름(second film)을배치하는단계, 및노출된상기기판의상기가장자리부를통해전류를공급하는방법으로, 상기기판을전기화학식각(electrochemical etching)하여, 상기기판내에상기타겟패턴에대응하는타겟홀(target hole)을형성하는단계를포함하는패턴마스크의제조방법이제공될수 있다.

Abstract translation: 一种制造半导体器件的方法，包括：制备衬底;在衬底的第一表面上设置可释放地图案化的第一膜;在衬底的第二表面上形成第二膜; ，布置覆盖基板的中心部分并暴露基板的边缘部分并且通过暴露的基板的边缘部分供应电流的第二膜， 通过对图案化的掩模进行电化学蚀刻，在基板上形成与目标图案对应的靶孔。

公开(公告)号：KR1020170033461A

公开(公告)日：2017-03-27

申请号：KR1020150130744

申请日：2015-09-16

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 안재빈 ,  류헌열 ,  박진구 ,  김명준

IPC: H01L21/033 ,  H01L21/02 ,  H01L21/306 ,  H01L29/06 ,  C23C14/04

Abstract: 기판을준비하는단계, 상기기판의제1 면(first surface) 상에타겟패턴(target pattern)이형성된제1 필름(first film)을배치하는단계, 상기기판의제2 면(second surface) 상에, 상기기판의중앙부를덮고, 상기기판의가장자리부를노출하는제2 필름(second film)을배치하는단계, 및노출된상기기판의상기가장자리부를통해전류를공급하는방법으로, 상기기판을전기화학식각(electrochemical etching)하여, 상기기판내에상기타겟패턴에대응하는타겟홀(target hole)을형성하는단계를포함하는패턴마스크의제조방법이제공될수 있다.

公开(公告)号：KR1020160127218A

公开(公告)日：2016-11-03

申请号：KR1020150057401

申请日：2015-04-23

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 이정환 ,  박진구 ,  김민수 ,  이준 ,  안재빈 ,  안진호 ,  오혜근 ,  김정환 ,  김인선

IPC: H01L21/027 ,  G03F1/62 ,  G03F1/00

Abstract: 펠리클이제공된다. 상기펠리클은, 제1 면및 상기제1 면에대향하는제2 면을갖는멤브레인(membrane), 상기멤브레인의상기제1 면상의펠리클프레임(pellicle frame), 및상기멤브레인으로부터열을흡수하여외부로방출하고, 상기멤브레인의상기제2 면으로부터위로(upwardly) 연장하는복수의핀(fin)들을포함하고, 상기멤브레인의상기제2 면의가장자리상에배치된, 열방출층(heat emission layer)을포함한다.

公开(公告)号：KR101651341B1

公开(公告)日：2016-08-26

申请号：KR1020140170294

申请日：2014-12-02

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 류헌열 ,  한동호 ,  안재빈 ,  박진구

IPC: C25F3/02 ,  C23C8/40

Abstract: 초발수성금속구조물의제조방법이제공된다. 상기초발수성금속구조물의제조방법은, 금속구조물을준비하는단계, 상기금속구조물의표면에제1 선폭을갖는제1 패턴을형성하는단계, 및상기제1 패턴을갖는상기금속구조물의상기표면에상기제1 선폭(line width)보다좁은제2 선폭을갖는제2 패턴, 및상기제2 패턴을덮는(cover) 코팅층을동일한공정에서형성하는단계를포함할수 있다.

公开(公告)号：KR1020160066590A

公开(公告)日：2016-06-13

申请号：KR1020140170294

申请日：2014-12-02

Applicant: 한양대학교 에리카산학협력단

Inventor： 류헌열 ,  한동호 ,  안재빈 ,  박진구

IPC: C25F3/02 ,  C23C8/40

CPC classification number: C25F3/02 ,  C23C8/40 ,  C23F1/02 ,  C25F1/14 ,  C25F3/14 ,  C25F3/20

Abstract: 초발수성금속구조물의제조방법이제공된다. 상기초발수성금속구조물의제조방법은, 금속구조물을준비하는단계, 상기금속구조물의표면에제1 선폭을갖는제1 패턴을형성하는단계, 및상기제1 패턴을갖는상기금속구조물의상기표면에상기제1 선폭(line width)보다좁은제2 선폭을갖는제2 패턴, 및상기제2 패턴을덮는(cover) 코팅층을동일한공정에서형성하는단계를포함할수 있다.

Abstract translation: 提供了一种超疏水金属结构体的制造方法。 超疏水金属结构的制造方法包括：制备金属结构的步骤; 在所述金属结构的表面上形成具有第一线宽度的第一图案的步骤; 以及在具有第一图案的金属结构体的表面上形成具有比第一线宽窄的第二线宽的第二图案的步骤，并且在相同的工艺中形成覆盖第二图案的涂层。 超疏水金属结构具有改善的防水性能，并且能够通过简化的制造工艺以降低的成本制造。