公开(公告)号：NL1036769A1

公开(公告)日：2009-10-26

申请号：NL1036769

申请日：2009-03-25

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： SCACCABAROZZI LUIGI ,  IVANOV VLADIMIR VITALEVICH ,  KOSHELEV KONSTANTIN NIKOLAEVICH ,  MOORS JOHANNES HUBERTUS JOSEPH ,  STEVENS LUCAS HENRICUS JOHANNE ,  ANTSIFEROV PAVEL STANISLAVOVICH ,  KRIVTSUN VLADIMIR MIHAILOVITCH ,  DOROKHIN LEONID ALEXANDROVICH ,  KAMPEN MAARTEN VAN

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL1035863A1

公开(公告)日：2009-02-24

申请号：NL1035863

申请日：2008-08-25

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： EMPEL TJARKO ADRIAAN RUDOLF VAN ,  BANINE VADIM YEVGENYEVICH ,  IVANOV VLADIMIR VITALEVICH ,  LOOPSTRA ERIK ROELOF ,  MOORS JOHANNES HUBERTUS JOSEPH ,  SCHOOT JAN BERNARD PLECHELMUS ,  VIJVER YURI JOHANNES GABRIEL VAN DE ,  SWINKELS GERARDUS HUBERTUS PETRUS MARIA ,  SCHIMMEL HENDRIKUS GIJSBERTUS ,  LABETSKI DZMITRY

IPC: H05G2/00 ,  G03F7/20