公开(公告)号：SG11201404756VA

公开(公告)日：2014-10-30

申请号：SG11201404756V

申请日：2013-02-07

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： KEMPEN ANTONIUS ,  DIJKSMAN JOHAN ,  MESTROM WILBERT

IPC: G03F7/20 ,  B01L3/02 ,  B41J2/045 ,  H05G2/00

公开(公告)号：NL2010217A

公开(公告)日：2013-03-19

申请号：NL2010217

申请日：2013-01-31

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： FRANKEN JOHANNES ,  KEMPEN ANTONIUS ,  KAMPEN MAARTEN ,  MESTROM WILBERT

IPC: G03F7/20 ,  H05G2/00

公开(公告)号：NL2008964A

公开(公告)日：2012-08-08

申请号：NL2008964

申请日：2012-06-08

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： MESTROM WILBERT ,  SWINKELS GERARDUS

IPC: G03F7/20 ,  H05G2/00