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公开(公告)号：WO2013189827A2
公开(公告)日：2013-12-27
申请号：PCT/EP2013062259
申请日：2013-06-13
Applicant: ASML NETHERLANDS BV
Inventor： RIEPEN MICHEL , LABETSKI DZMITRY , MESTROM WILBERT , KAMPINGA WIM RONALD , NIEUWENKAMP JAN OKKE , BRINKERT JACOB , CASTELIJNS HENRICUS , TEN KATE NICOLAAS , SCHIMMEL HENDRIKUS , JANSEN HANS , PAULUSSEN DENNIS , VIRGO BRIAN , JILISEN REINIER , BADIE RAMIN , RIJPMA ALBERT , FRANKEN JOHANNES , VAN PUTTEN PETER , VAN DER STRAATEN GERRIT
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70983 , F15D1/0065 , G03F7/70033 , G03F7/70916 , G21K1/06 , G21K5/08 , H05G2/005 , H05G2/008 , Y10T137/206
Abstract: A radiation source comprising a fuel source configured to deliver fuel to a location from which the fuel emits EUV radiation. The radiation source further comprises an immobile fuel debris receiving surface provided with a plurality of grooves. The grooves have orientations which are arranged to direct the flow of liquid fuel under the influence of gravity in one or more desired directions.
Abstract translation: 一种辐射源，包括燃料源，其构造成将燃料输送到燃料发射EUV辐射的位置。 辐射源还包括设置有多个凹槽的不动的燃料碎屑接收表面。 凹槽具有定向，其布置成在一个或多个所需方向上在重力的影响下引导液体燃料的流动。
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2.发明申请SOURCE COLLECTOR APPARATUS, LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD 审中-公开源收集器装置，光刻装置和器件制造方法
公开(公告)号：WO2013127587A3
公开(公告)日：2013-10-24
申请号：PCT/EP2013051657
申请日：2013-01-29
Applicant: ASML NETHERLANDS BV
Inventor： BANINE VADIM , FRANKEN JOHANNES , KEMPEN ANTONIUS , VAN KAMPEN MAARTEN , MESTROM WILBERT
CPC classification number: G03F7/70033 , G03F7/70916 , G03F7/7095 , H05G2/003
Abstract: A source collector apparatus includes a plasma generation apparatus arranged to excite a fuel to form a radiation emitting plasma, a collector arranged to collect the radiation, and a contamination receiving apparatus, wherein the contamination receiving apparatus is provided with a porous structure.
Abstract translation: 源极收集器装置包括等离子体产生装置，其被布置成激发燃料以形成辐射发射等离子体，收集辐射的收集器以及污染物接收装置，其中污染物接收装置具有多孔结构。
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公开(公告)号：NL2010269A
公开(公告)日：2013-09-10
申请号：NL2010269
申请日：2013-02-07
Applicant: ASML NETHERLANDS BV
Inventor： KEMPEN ANTONIUS , DIJKSMAN JOHAN , MESTROM WILBERT
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公开(公告)号：NL2004977A
公开(公告)日：2010-08-12
申请号：NL2004977
申请日：2010-06-28
Applicant: ASML NETHERLANDS BV
Inventor： MESTROM WILBERT , LOOPSTRA ERIK , SWINKELS GERARDUS , BUURMAN ERIK
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公开(公告)号：NL2004968A
公开(公告)日：2010-08-02
申请号：NL2004968
申请日：2010-06-25
Applicant: ASML NETHERLANDS BV
Inventor： KEMPEN ANTONIUS , BRULS RICHARD , LOOPSTRA ERIK , MOORS JOHANNES , SWINKELS GERARDUS , MESTROM WILBERT
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：NL2009387A
公开(公告)日：2013-03-26
申请号：NL2009387
申请日：2012-08-30
Applicant: ASML NETHERLANDS BV
Inventor： MESTROM WILBERT , SWINKELS GERARDUS
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公开(公告)号：NL2010965A
公开(公告)日：2013-12-24
申请号：NL2010965
申请日：2013-06-13
Applicant: ASML NETHERLANDS BV
Inventor： RIEPEN MICHEL , JANSEN HANS , KATE NICOLAAS , PAULUSSEN DENNIS , SCHIMMEL HENDRIKUS , LABETSKI DZMITRY , CASTELIJNS HENRICUS , MESTROM WILBERT , BADIE RAMIN , KAMPINGA WIM , NIEUWENKAMP JAN , BRINKERT JACOB , VIRGO BRAIN , JILISEN REINIER , RIJPMA ALBERT , FRANKEN JOHANNES , PUTTEN PETER , STRAATEN GERRIT
IPC: H01L21/02
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公开(公告)号：NL2011742A
公开(公告)日：2014-06-16
申请号：NL2011742
申请日：2013-11-06
Applicant: ASML NETHERLANDS BV
Inventor： MESTROM WILBERT , LABETSKI DZMITRY , SWINKELS GERARDUS
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公开(公告)号：NL2011327A
公开(公告)日：2014-04-14
申请号：NL2011327
申请日：2013-08-22
Applicant: ASML NETHERLANDS BV
Inventor： JACOBS JOHANNES HENRICUS WILHELMUS , DIRECKS DANIEL , LUIJTEN CARLO , MESTROM WILBERT
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公开(公告)号：NL2004978A
公开(公告)日：2010-08-12
申请号：NL2004978
申请日：2010-06-28
Applicant: ASML NETHERLANDS BV
Inventor： LOOPSTRA ERIK , SWINKELS GERARDUS , BUURMAN ERIK , MESTROM WILBERT
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