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公开(公告)号:FR2918795A1
公开(公告)日:2009-01-16
申请号:FR0756447
申请日:2007-07-12
Applicant: ST MICROELECTRONICS SA , ST MICROELECTRONICS CROLLES 2
Inventor: COUDRAIN PERCEVAL , CORONEL PHILIPPE , BELREDON XAVIER
IPC: H01L27/146 , H01L31/02 , H01L31/18
Abstract: L'invention concerne un capteur d'images (1) comprenant des cellules photosensibles (B, G, R), chaque cellule photosensible comportant au moins un moyen de stockage de charges (11R, 11G, 11B) formé au moins en partie dans un substrat (9) d'un matériau semiconducteur. Le substrat comprend, pour au moins une première cellule photosensible (B), une portion (10B) d'un premier alliage de silicium et de germanium ayant une première concentration de germanium (XB), éventuellement nulle, et pour au moins une deuxième cellule photosensible (G, R), une portion (10G, 10R) d'un deuxième alliage de silicium et de germanium ayant une deuxième concentration de germanium (XG, XR), non nulle, strictement supérieure à la première concentration de germanium.
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公开(公告)号:FR2905519B1
公开(公告)日:2008-12-19
申请号:FR0653524
申请日:2006-08-31
Applicant: ST MICROELECTRONICS SA , ST MICROELECTRONICS CROLLES 2
Inventor: CORONEL PHILIPPE , MARTY MICHEL
IPC: H01L21/8236 , H01L27/088
Abstract: A method for manufacturing an integrated circuit containing fully and partially depleted MOS transistors, including the steps of forming similar MOS transistors on a thin silicon layer formed on a silicon-germanium layer resting on a silicon substrate; attaching the upper surface of the structure to a support wafer; eliminating the substrate; depositing a mask and opening this mask at the locations of the fully-depleted transistors; oxidizing the silicon-germanium at the locations of the fully-depleted transistors in conditions such that a condensation phenomenon occurs; and eliminating the oxidized portion and the silicon-germanium portion, whereby there remain transistors with a thinned silicon layer.
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公开(公告)号:JP2006344979A
公开(公告)日:2006-12-21
申请号:JP2006160600
申请日:2006-06-09
Applicant: ST MICROELECTRONICS CROLLES 2
Inventor: BUSTOS JESSY , THONY PHILIPPE , CORONEL PHILIPPE
IPC: H01L21/027 , G03F7/20 , H01L21/3205 , H01L21/336 , H01L29/786
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To easily form a circuit member at an upper position of a cavity buried in a substrate, on the substrate of an integrated electronic circuit. SOLUTION: The upper part of the cavity C formed in the substrate 100 of the integrated electronic circuit is closed, and a hollow E is formed. The hollow E is buried by a material 10 selected so that reflection of a lithography radiation F1 may be weakened. If the radiation is irradiated after a resist layer 3 is laminated on the circuit, a portion positioned at the upper part of the hollow E of the resist layer 3 is exposed to a dosage which is lower than a threshold of development of a resist only by primary flux F1. A portion outside the hollow of the resist layer 3 is exposed to the higher dosage than the threshold, by the primary flux F1 and secondary flux F2 reflected from a surface of the substrate 100. When the resist layer 3 is developed, a mask M2 is obtained only at the upper part of the cavity C. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
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公开(公告)号:FR2958077B1
公开(公告)日:2013-11-15
申请号:FR1001214
申请日:2010-03-26
Inventor: THOMAS OLIVIER , FENOUILLET BERANGER CLAIRE , CORONEL PHILIPPE , DENORME STEPHANE
IPC: H01L21/8244 , G11C11/412
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公开(公告)号:FR2977983B1
公开(公告)日:2013-08-16
申请号:FR1156280
申请日:2011-07-11
Inventor: SAVELLI GUILLAUME , CORONEL PHILIPPE , MONFRAY STEPHANE , SKOTNICKI THOMAS
IPC: H01L35/02
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公开(公告)号:FR2961015B1
公开(公告)日:2012-07-06
申请号:FR1002358
申请日:2010-06-03
Inventor: FENOUILLET BERANGER CLAIRE , THOMAS OLIVIER , CORONEL PHILIPPE , DENORME STEPHANE
IPC: H01L21/8232 , H01L21/8228 , H01L29/739
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公开(公告)号:FR2961950A1
公开(公告)日:2011-12-30
申请号:FR1002657
申请日:2010-06-24
Inventor: CORONEL PHILIPPE , FENOUILLET BERANGER CLAIRE , DENORME STEPHANE , THOMAS OLIVIER
IPC: H01L23/58 , H01L21/335 , H01L21/8232 , H01L27/085
Abstract: Un substrat de support (2) comporte des première et seconde contre-électrodes (5) disposées dans un même plan, au niveau d'une face du substrat de support (2). Une zone électriquement isolante (9) sépare les première et seconde contre-électrodes (5). Une zone semi-conductrice (7) avec des première et seconde portions est séparée du substrat de support (2) par un matériau électriquement isolant (3). Le matériau électriquement isolant (3) est différent du matériau formant le substrat de support (2). La première portion de la zone semi-conductrice (7) fait face à la première contre-électrode (5). La seconde portion de la zone semi-conductrice (7) fait face à la seconde contre-électrode (5).
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公开(公告)号:FR2921751B1
公开(公告)日:2009-12-18
申请号:FR0758018
申请日:2007-10-02
Inventor: MANAKLI SERDAR , BUSTOS JESSY , CORONEL PHILIPPE , PAIN LAURENT
IPC: H01L21/3105 , H01L21/28 , H01L21/336
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公开(公告)号:FR2911721B1
公开(公告)日:2009-05-01
申请号:FR0752776
申请日:2007-01-19
Applicant: ST MICROELECTRONICS CROLLES 2
Inventor: CORONEL PHILIPPE , FENOUILLET BERANGER CLAIRE
Abstract: The device (1) has an upper region (102) including a MOSFET type semiconductor device i.e. P-channel MOS transistor (106), with a metallic gate (108) and arranged on a semiconductor layer (118). A lower region (104) has a MOSFET type semiconductor device i.e. N-channel MOS transistor (134), arranged on a portion (132b) of another semiconductor layer, where the layers are made of strained silicon. The transistor (134) has a gate (128b) formed by a portion of a metallic layer. The latter semiconductor layer is arranged on an insulating layer (146) stacked on another metallic layer (148). An independent claim is also included for a method of manufacturing a silicon-on-insulator MOSFET device.
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公开(公告)号:FR2887075A1
公开(公告)日:2006-12-15
申请号:FR0505880
申请日:2005-06-09
Inventor: BUSTOS JESSY , THONY PHILIPPE , CORONEL PHILIPPE
IPC: H01L21/768 , H01L21/8244 , H01L27/11
Abstract: Un procédé de réalisation de deux éléments (1a, 4a) superposés au sein d'un circuit électronique intégré permet de réduire ou de supprimer des marges d'alignement autour de ces éléments. Des côtés (12, 13) de l'élément de circuit supérieur (4a) sont définis par des bords de l'élément de circuit inférieur (1a), lors d'une étape d'exposition du circuit à un rayonnement lithographique. D'autres côtés (11a, 11b) de l'élément de circuit supérieur (4a) sont définis par une couche qui atténue une réflexion du rayonnement sur l'élément de circuit inférieur (1a). Le procédé peut être appliqué à une réalisation de connexions électriques.
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