公开(公告)号：CN102735280B

公开(公告)日：2017-07-11

申请号：CN201210090907.2

申请日：2012-03-30

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： M·霍尔蒂希 ,  T·施林普夫

IPC: G01D11/30 ,  B81B7/00

CPC classification number: G01D11/245 ,  B81B7/0074 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  Y10T29/49117

Abstract: 本发明涉及一种传感器模块，其具有能导电的导体件、第一传感器元件和第二传感器元件，其中，所述第一传感器元件设置在所述导体件的第一接收区域中并且所述第二传感器元件设置在所述导体件的第二接收区域中，所述导体件还具有一这样地设置在所述第一和第二接收区域之间的弯曲区域，使得所述第二接收区域相对于所述第一接收区域成角度地定向。

公开(公告)号：CN102538773B

公开(公告)日：2017-07-04

申请号：CN201110426205.2

申请日：2011-12-19

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： M.哈塔斯 ,  D.C.梅塞尔 ,  M.凯克

IPC: G01C19/5656 ,  G01R33/02 ,  B81C1/00

CPC classification number: G01R33/038 ,  B81B7/02 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81B2201/0292 ,  G01C19/574 ,  G01P15/08 ,  G01P15/0802 ,  G01R33/0286

Abstract: 本发明涉及一种微机电的元件，该微机电的元件包括一个基片和至少两个微机电的传感器，其中所述基片和所述至少两个微机电的传感器以彼此上下堆放的方式来布置并且其中至少两个微机电的传感器布置在所述基片的同一面上。本发明同样涉及一种用于制造微机电的元件的方法以及微机电的元件的使用。

公开(公告)号：CN106904569A

公开(公告)日：2017-06-30

申请号：CN201611108181.5

申请日：2016-12-06

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： M·阿梅特沃布拉 ,  P·卡佩

IPC: B81C1/00 ,  G01P15/08 ,  G01C19/5769 ,  B81B7/02 ,  B23K26/18

CPC classification number: B81C1/00325 ,  B81B7/02 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81C2203/0109 ,  B81C2203/0145 ,  B81C2203/0181 ,  B81C1/00015 ,  B23K26/18 ,  G01C19/5769 ,  G01P15/08

Abstract: 本发明提出一种用于制造微机械构件的方法，该微机械构件具有衬底和与衬底连接并且与衬底包围第一空穴的罩，其中，在第一空穴中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，‑在第一方法步骤中，在衬底或在罩中构造连接第一空穴与微机械构件周围环境的进入开口，其中，‑在第二方法步骤中，调节在第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分，其中，‑在第三方法步骤中，通过借助于激光将能量或热量引入到衬底或罩的吸收部分中来封闭进入开口，其特征在于，通过调节吸收部分的延伸尺度并且通过调节在吸收部分中的吸收强度以使在衬底或罩中出现的应力最小化，来进行能量或热量的引入。

公开(公告)号：CN105934651A

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201580005959.7

申请日：2015-01-28

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 亚科·罗希奥 ,  安斯·布卢姆奎斯特

IPC: G01C19/574

CPC classification number: G01C19/5712 ,  B81B3/0043 ,  B81B2201/0242 ,  B81B2207/012 ,  G01C19/574

Abstract: 一种具有驱动结构和感测结构以及耦合弹簧结构的特定布置的陀螺仪结构，该特定布置允许较大尺度的驱动结构和感测结构在非常有限的表面区域中的正交定向的运动。

公开(公告)号：CN105762088A

公开(公告)日：2016-07-13

申请号：CN201610228764.5

申请日：2016-04-13

Applicant: 中国科学院微电子研究所

Inventor： 云世昌 ,  焦斌斌 ,  张乐民 ,  孔延梅 ,  刘瑞文 ,  陈大鹏

IPC: H01L21/60 ,  B81C1/00 ,  B81B7/02

CPC classification number: H01L24/83 ,  B81B7/02 ,  B81B2201/02 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81B2201/0264 ,  B81C1/00261 ,  B81C2203/0118 ,  H01L2224/83051 ,  H01L2924/013

Abstract: 本发明公开了一种阻止金属共晶键合合金外溢的方法，先在第一器件结构的器件衬底上制作第一键合金属图形，然后基于第一键合金属图形制作器件保护结构；器件保护结构包括第一槽型腔体，第一槽型腔体的底面为第一键合金属图形；然后在第二器件结构上制作出第二键合金属图形之后，在第一槽型腔体中对第一器件结构和第二器件结构进行金属共晶键合。由于器件保护结构包括第一槽型结构，因此在进行金属共晶键合时，可将金属共晶键合时外溢的液相合金流入第一槽型腔体内，会对外溢的液相合金起到阻隔作用，使之无法自由滚动，从而有效避免外溢的液相合金扩散到器件结构区域。此方式不但提高金属键合的气密等级，而且提高了MEMS器件生产制造的良率。

公开(公告)号：CN105699693A

公开(公告)日：2016-06-22

申请号：CN201510591424.4

申请日：2015-09-16

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： A·托齐奥

IPC: G01P15/08 ,  G01P1/00 ,  G01D5/12

CPC classification number: G01P15/02 ,  B81B7/0048 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  G01C19/5712 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0831 ,  G01P2015/0837

Abstract: 本发明涉及一种微机电检测结构(10)，设有具有在平面(xy)上延伸的上表面(2a)的基板(2)；检测电极布置(5a，5b)；悬置在基板和检测电极布置的之上的惯性质量体(3)；和弹性元件(8a，8b)，使惯性质量体耦合到相对基板固定的中央锚定元件(7)，使惯性质量体根据沿垂直轴线(z)的待检测的量而围绕旋转轴线(A)自由旋转，中央锚定元件(7)布置在旋转轴线上。悬置结构(12)耦合到检测电极布置(5a，5b)以支承悬置在基板(2)之上和惯性质量体(3)之下的检测电极布置(5a，5b)，并经由至少一个第一锚定区(14a，14b)锚定到基板(2)；固定电极布置(5a，5b)经至少一个第二锚定区(16)锚定到悬置结构(12)。

公开(公告)号：CN102556939B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201110462085.1

申请日：2011-11-23

Applicant: 霍尼韦尔国际公司

Inventor： R·D·霍尔宁 ,  R·苏皮诺

IPC: B81B7/00 ,  B81C3/00

CPC classification number: H01L29/84 ,  B81B7/0032 ,  B81B7/0038 ,  B81B7/0074 ,  B81B7/0077 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81B2201/025 ,  B81C2201/019 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2924/00014

Abstract: 本发明涉及用于三层芯片级MEMS器件的系统和方法。提供了一种用于微机电系统(MEMS)器件的系统和方法。在一实施例中，系统包括第一外部层和包括第一组MEMS器件的第一器件层，其中第一器件层接合到第一外部层。系统还包括第二外部层和包括第二组MEMS器件的第二器件层，其中第二器件层接合到第二外部层。此外，系统包括具有第一侧和与第一侧相对的第二侧的中央层，其中第一侧接合到第一器件层且第二侧接合到第二器件层。

公开(公告)号：CN104925735A

公开(公告)日：2015-09-23

申请号：CN201510116966.6

申请日：2015-03-17

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 古畑诚

IPC: B81B7/00 ,  G01C23/00

CPC classification number: B81B7/0041 ,  B81B7/007 ,  B81B7/02 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81B2201/025 ,  B81B2207/092 ,  B81B2207/097 ,  G01P15/125 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00014

Abstract: 本发明提供一种电子装置、电子模块、电子设备以及移动体。电子装置具备对第一基材和第二基材之间进行密封而形成的收纳空间和被收纳于收纳空间内的第一功能元件和第二功能元件，收纳空间在俯视观察时被配置在第一基材和所述第二基材被接合的框状的接合部的内部区域内，接合部包含设置于一方的第一接合区域和设置于另一方的第二接合区域，所述电子装置还具备第一布线部和第二布线部，第一布线部与第一功能元件连接，并具有从内部区域经由第一接合区域而朝向收纳空间的外部的第一方向，第二布线部与第二功能元件电连接，并具有从内部区域经由第二接合区域而朝向收纳空间的外部的第二方向。

公开(公告)号：CN104909328A

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201410190811.2

申请日：2014-05-07

Applicant: 财团法人工业技术研究院

Inventor： 苏中源 ,  蔡俊胤 ,  黄肇达

IPC: B81B5/00

CPC classification number: G01C19/5762 ,  B81B3/0045 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81B2203/0163 ,  Y10T74/12

Abstract: 本发明公开一种具有用于旋转元件的折叠弹簧的微机电装置，利用折叠弹簧即能进行旋转运动，该微机电装置包含一旋转元件、至少一限制元件以及至少二折叠弹簧。二折叠弹簧以轴线为中心线而对称配置，每一折叠弹簧具有一移动端及一固定端。移动端连接旋转元件，固定端连接限制元件。由于移动端与固定端不位于轴线上，当旋转元件依一轴线进行旋转时，折叠弹簧的移动端会跟着旋转且弹簧长度也会因而改变。此种具有用于旋转元件的折叠弹簧的微机电装置可应用于各种具有旋转元件的微机电装置，例如加速度计、陀螺仪、微镜面及磁力计等。

公开(公告)号：CN104418285A

公开(公告)日：2015-03-18

申请号：CN201410424332.2

申请日：2014-08-26

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： J·赖因穆特

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: B81B3/0078 ,  B81B7/0016 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81C1/00825

Abstract: 本发明涉及一种具有衬底、可移动的元件和弹簧机构装置的微机械构件，所述衬底具有主延伸平面，其中所述可移动的元件借助所述弹簧机构装置与所述衬底连接，其中所述可移动的元件可从静止位置偏转至偏转位置，其中所述可移动的元件包括第一部分元件和与所述第一部分元件连接的第二部分元件，其中所述第一部分元件主要沿着所述衬底的主延伸平面延伸，其中所述第二部分元件主要沿着一个功能平面延伸，其中所述功能平面基本平行于所述衬底的主延伸平面地设置，其中所述功能平面与所述主延伸平面间隔开。