公开(公告)号：CN105492879A

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201480045789.0

申请日：2014-07-31

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 铃木智史 ,  藁科祯久 ,  笠森浩平 ,  杉本达哉 ,  伊藤穣

IPC: G01J3/45 ,  B81C1/00 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01B9/02051 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/4532 ,  G01J3/4535

Abstract: 制造光干涉仪的方法包括：在支承基板的主面和形成在主面上的第一绝缘层上形成用于分束器的第一半导体部和用于可动镜的第二半导体部的第一工序；在第一半导体部的第一侧面与第二半导体部的第二侧面之间配置第一壁部的第二工序；和使用荫罩掩模在第二侧面形成第一金属膜，由此在第二半导体部形成镜面的第三工序。在第三工序中，在利用掩模部和第一壁部掩蔽第一侧面并且使第二侧面从开口部露出的状态下形成第一金属膜。

公开(公告)号：CN103180699B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201180051362.8

申请日：2011-07-26

Applicant: 柯尼卡美能达株式会社

Inventor： 原吉宏

IPC: G01J3/45

CPC classification number: G01J3/45 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/4535 ,  G02B26/0858

Abstract: 在分光测定前的粗调工序中，使移动镜移动（＃11），将由4分割传感器接收到移动镜的反射光与固定镜的反射光的干涉光时的各分割元件的输出相加，来检测干涉光的对比度的变化（＃12），并且基于该对比度的变化，检测两反射光的相对倾斜量（＃13），对初始倾斜误差进行修正（＃14）。另一方面，在分光测定前的微调工序中，基于由4分割传感器接收到两反射光的干涉光时的各分割元件的输出的相位差，检测两反射光的相对倾斜量以及倾斜方向，对初始倾斜误差进行修正。

公开(公告)号：CN105103030A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201480013316.2

申请日：2014-01-28

Applicant: 斯维尔系统

Inventor： M·梅德哈特 ,  B·莫塔达 ,  A·O·埃尔沙特 ,  M·纳吉 ,  M·加德西夫 ,  B·A·萨达尼 ,  A·N·哈菲兹

IPC: G02B26/06 ,  G01J3/06 ,  G01J3/453 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01J3/06 ,  G01B9/02071 ,  G01J3/4535 ,  G01N2021/3595 ,  G02B26/06 ,  G02B26/0841

Abstract: 一种微机电系统(MEMS)干涉仪提供了可移动反射镜的反射镜定位的自校准。可移动反射镜被耦合至具有可变电容的MEMS致动器。MEMS干涉仪包括用于确定在可移动反射镜的两个或更多个已知位置处的MEMS致动器的电容的电容感测电路和用于使用在已知位置处的致动器电容来补偿电容感测电路中的任何漂移的校准模块。

公开(公告)号：CN103547528A

公开(公告)日：2014-01-29

申请号：CN201280023910.0

申请日：2012-04-04

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 藁科祯久 ,  铃木智史 ,  笠森浩平

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G02B5/08 ,  G02B26/06

CPC classification number: G02B26/001 ,  G01B9/02051 ,  G01B9/02056 ,  G01J3/4535 ,  G01J3/4537 ,  G02B5/08 ,  G02B26/0833

Abstract: 光模块具备具有通过蚀刻硅区域（11）而形成的光透过性光学部件（12）的第1板状构件（10）、以及具有用于反射透过了光透过性光学部件（12）的光的光反射性光学部件（镜（21～24））的第2板状构件（20），第1和第2板状构件（10,20）相互接合，透过光透过性光学部件（12）的光的光路沿着第1板状构件（10）的部件形成面和第2板状构件（20）的主面。由此，实现了能够将光反射性光学部件与光透过性光学部件接近地配置且即使在与基板的特性相关的要求根据光学部件而相反的情况下也可以满足这些要求的光模块及其制造方法。

公开(公告)号：CN102906535A

公开(公告)日：2013-01-30

申请号：CN201280001217.3

申请日：2012-04-26

Applicant: 福斯分析股份公司

Inventor： 雅各布·弗肯伯格 ,  汉斯·拉森

IPC: G01B9/02 ,  G01J3/453

CPC classification number: G01J3/45 ,  G01J3/4535

Abstract: 一种光谱仪（38），包括：一个扫描干涉仪（40，42，44），该扫描干涉仪具有一个光束分离器（40），该光束分离器用于将入射光辐射分成一个跟随反射光束路径的反射光束和一个跟随透射光束路径的透射光束；一个单色光辐射源（52），该单色光辐射源用于将一个基准光束沿着首先入射到该光束分离器（40）的一个第一表面（40’）上的一个第一传播路径（62）发射进入该干涉仪（40，42，44）；一个观察光辐射源（46），该观察光辐射源用于将一个观察光束（64）沿着首先入射到该光束分离器（40）的该第一表面（40’）上的一个第二传播路径（66）发射进入该干涉仪（4，6，8；），并且在该第一表面（40’）处与该基准光束重叠；其中当首先并且同时入射到该第一表面（40’）处时，该辐射源（52；46）合作以在该第一表面（40’）处对应的第一（62）与第二（66）传播路径之间生成一个第一夹角（θ），该第一夹角大于该观察光束（64）的发散半角（α）。

公开(公告)号：CN1444726A

公开(公告)日：2003-09-24

申请号：CN01813602.8

申请日：2001-05-17

Applicant: 生命扫描有限公司

Inventor： M·P·德布雷策尼 ,  M·P·奥内尔

IPC: G01N21/35 ,  G01J3/453 ,  A61B5/00

CPC classification number: A61B5/1455 ,  A61B5/14532 ,  G01J3/453 ,  G01J3/4535 ,  G01N21/35 ,  G01N2021/3595

Abstract: 提出了用于测定低透射率样品中至少一种分析物的存在和/或浓度的方法和设备。在这些方法中，由至少一个红外辐射源产生前向束和后向束或将其引入到干涉仪中。前向束通过样品、然后被收集、产生样品束，而后向束通过参照物、然后被收集、产生参照束。样品束和参照束或者光学重新组合成为零束、由单一检测器检测，或者通过两个单独的检测器检测后用电子方法归零。然后从检测到的零束推导出至少一种分析物的存在、更经常是推导出其浓度。还提出了实现上述方法的设备。本方法和设备适用于各种不同的应用，包括检测生理样品(如血液、组织及其衍生物)中一种或多种分析物的存在和数量。

公开(公告)号：CN107430033A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201580077537.0

申请日：2015-04-16

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 上挂惟史

IPC: G01J3/45

CPC classification number: G01J3/4535 ,  G01J3/108 ,  G01J3/45 ,  G01J2003/2866 ,  G01N2021/3595

Abstract: 本发明在具有控制干涉仪的傅里叶变换型分光光度计中，削减光学部件的部件数量，从而容易进行光轴调整，并且使装置小型化。通过第一反射镜(131)和激光源保持部使测定光与激光的光轴一致，该第一反射镜具有朝向分束器(140)反射从测定用光源(110)发出的测定光的反射面(131a)、以及沿着被反射面反射的所述测定光的光轴方向延伸的第一贯通孔(131b)，该激光源保持部将激光源(120)保持为使从激光源(120)发出的激光通过所述第一贯通孔并向分束器入射。由于无需以往的用于使测定光与激光的光轴一致的激光用反射镜，从而能够削减部件数量，能够容易地进行光轴调整，并实现装置的小型化。

公开(公告)号：CN107420098A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201610992541.6

申请日：2009-12-23

Applicant: 哈利伯顿能源服务公司

Inventor： M·L·莫里斯 ,  S·A·赞诺尼 ,  C·M·琼斯

IPC: E21B49/08 ,  G01N21/31 ,  G01N21/35

CPC classification number: G01N21/31 ,  E21B49/088 ,  G01J3/021 ,  G01J3/4532 ,  G01J3/4535 ,  G01J2003/4534 ,  G01N21/33 ,  G01N21/35 ,  G01N21/3577 ,  G01N2021/3595 ,  G01N21/64

Abstract: 本发明涉及用于通过干涉图(具有包含鉴别频率分量的时间变化的频率分量的光束)进行井下光学分析的各种系统和方法。通过在光路中引入干涉仪来产生干涉图，干涉仪的两臂具有以时间为函数变化的传播时间差。光在干涉仪之前或之后与待分析材料相遇，待分析材料例如为来自地层的流体样品、钻孔流体样品、矿样或钻孔壁的一部分。材料的光谱特性会留在光束上，并且可通过执行傅立叶变换以获得光谱或者能够与一个或多个模板相比较的电子处理装置容易地分析所述光谱特性。被设计成在不利的井下环境中良好运行的干涉仪有望实现实验室质量的测量。

公开(公告)号：CN104145177B

公开(公告)日：2016-07-06

申请号：CN201380011702.3

申请日：2013-02-27

Applicant: 国立大学法人香川大学

Inventor： 石丸伊知郎

IPC: G01J3/453 ,  G01N21/45 ,  G01N21/49 ,  A61B5/145 ,  A61B5/1455

CPC classification number: A61B5/1455 ,  A61B5/14532 ,  A61B5/6887 ,  A61B5/7257 ,  A61B2562/0233 ,  G01B9/02041 ,  G01B9/02049 ,  G01B9/0207 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0272 ,  G01J3/10 ,  G01J3/18 ,  G01J3/4532 ,  G01J3/4535 ,  G01J2003/102 ,  G01J2003/4538 ,  G01N21/255 ,  G01N21/359 ,  G01N21/45 ,  G01N21/49 ,  G01N21/9501 ,  G01N2201/0612

Abstract: 本发明使从测量对象发出的测量光入射到固定反射镜部和可动反射镜部，形成被上述固定反射镜部反射的测量光与被上述可动反射镜部反射的测量光的干渉光。此时，通过使上述可动反射镜部进行移动来获得测量光的干渉光强度变化，基于该变化求出测量光的干涉图。另外，同时使作为测量光的波长频带的一部分的窄频带的波长的参考光入射到上述固定反射镜部和上述可动反射镜部，形成被该固定反射镜部反射的参考光与被该可动反射镜部反射的参考光的干涉光。此时，使上述可动反射镜部进行移动，由此基于参考光的干渉光强度变化的振幅以及上述测量光中的同上述参考光相同波长的测量光与上述参考光的相位差来校正上述测量光的干涉图，基于校正后的干涉图来求出上述测量光的光谱。

公开(公告)号：CN102192784B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201110023590.6

申请日：2011-01-17

Applicant: 安捷伦科技有限公司

Inventor： 大卫·B·约翰逊 ,  安东尼·邦德

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/45

CPC classification number: G01J3/4535

Abstract: 本发明涉及干涉仪阶梯扫描系统和方法。在一些实施例中，阶梯扫描红外(IR)光谱仪干涉仪中的路径长度差(延迟)被在AC伺服机构(伺服)控制下保持阶梯变化之后的第一时间段，并且在DC伺服控制下保持第一时间段之后的第二时间段。在DC伺服控制时间段期间和/或之后获取数据。特别是在诸如高速时间分辨光谱仪(TSR)的快速时间缩放应用中，在数据获取之前停止AC伺服控制允许限制否则可能影响感兴趣的信号的抖动频率噪声。反射镜位置控制电路控制反射镜位置的步进以及将反射镜伺服控制从AC转换到DC。