전기 및 전자 소자의 검사를 위한 초소형 전자칼럼용 텅스텐 CFE의 제조 방법
    18.
    发明授权
    전기 및 전자 소자의 검사를 위한 초소형 전자칼럼용 텅스텐 CFE의 제조 방법 有权
    在微电脑中用于电气和电子设备检查的钨酸钙的制备方法

    公开(公告)号:KR101027397B1

    公开(公告)日:2011-04-11

    申请号:KR1020100083573

    申请日:2010-08-27

    Applicant: 손호섭

    Inventor: 손호섭

    Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a micro electronic column tungsten CFE(Cold Field Emitter) is provided to improve the durability by stably emitting electrons. CONSTITUTION: A regular length of a tungsten wire is inserted into a KOH solution. An electrochemical etch is operated. An Nd:YAG laser(200) is projected to one end of the tungsten wire. A tungsten wire(310) is rotated about the central axis. The tungsten wire is moved in parallel with the central axis(C).

    Abstract translation: 目的:提供一种用于制造微电子柱钨CFE(冷场发射器)的方法,以通过稳定地发射电子来提高耐久性。 构成:将钨丝的常规长度插入KOH溶液中。 操作电化学蚀刻。 Nd:YAG激光器(200)投射到钨丝的一端。 钨丝(310)围绕中心轴线旋转。 钨线与中心轴线(C)平行移动。

    펄스 전자빔을 방출하는 RF 전자총과 선형가속기 시스템 및 이를 이용한 펄스 전자빔 생성 방법
    19.
    发明公开
    펄스 전자빔을 방출하는 RF 전자총과 선형가속기 시스템 및 이를 이용한 펄스 전자빔 생성 방법 审中-实审
    射频电子枪,线性加速器系统和发射脉冲电子束的方法

    公开(公告)号:KR1020160049425A

    公开(公告)日:2016-05-09

    申请号:KR1020140167653

    申请日:2014-11-27

    CPC classification number: H01J37/06 H01J3/02 H01J37/061 H01J43/14 H05H9/00

    Abstract: 본발명은펄스전자빔을방출하는 RF 전자총과선형가속기시스템및 이를이용한펄스전자빔생성방법으로서, 전자총에의한펄스전자빔생성방법에있어서, 소정시간에공진기의음극에서방출된전자가상기공진기의양극에도달하는데, 상기공진기의내부에인가되는 AC 전기장의주기의정수배의시간만큼걸리도록하는크기를갖는 DC 전기장을상기공진기의음극과양극사이에인가하는단계; 및상기소정시간에방출된전자보다늦게방출된전자의속도가상기소정시간에방출된전자의속도보다빠르도록하고, 상기소정시간에방출된전자보다일찍방출된전자의속도가상기소정시간에방출된전자의속도보다늦도록하는크기를갖는상기 AC 전기장을상기공진기내부로인가하는단계를포함하는것을특징으로하는펄스전자빔생성방법과이를구현시킬수 있는 RF 전자총및 상기 RF 전자총을이용하는선형가속기시스템이며, 이와같은본 발명에의하면음극과양극사이의거리, DC 전기장의세기, AC 전기장의세기와주파수를적절히조절하여높은주파수에서도펄스전자빔이만들어지면서또한음극과양극사이갭을통과하여자유공간을진행하는전자빔이스스로뭉치도록하는 RF 전자총을제공할수 있으며, 상기 RF 전자총을이용하여보다간단한구조의선형가속기시스템을구현할수 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种发射脉冲电子束的RF电子枪,一种线性加速器系统和使用该射束电子束的脉冲电子束产生方法,以及涉及一种脉冲电子束产生方法,包括:施加直流电场的步骤, 当从谐振器的负极发射的电子在谐振器的正极到达正弦时,在谐振器的负极和正极之间施加到谐振器内的AC电场的周期的整数倍的整数倍的大小在 预定时间 以及施加AC电场的步骤,其具有加速比预定时间期间发射的电子晚发射的电子的速度高于在预定时间期间发射的电子速度的尺寸,并延迟电子速度 比预定时间期间发射的电子速度比预定时间期间发射的电子更早地发射,能够实现其的RF电子枪,以及使用RF电子枪的线性加速器系统。 根据上述本发明,通过适当地控制负极和正极之间的距离,DC电场的强度以及AC电场和电子的强度和频率,以高频产生脉冲电子束 为了使通过负极和正极之间的间隙并通过自由空间的电子束结合。 此外,可以通过使用RF电子枪来形成更简单结构的线性加速器系统。

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