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    Method for production of a diffusion membrane arrangement
    11.
    发明授权
    Method for production of a diffusion membrane arrangement 失效
    生产扩散膜装置的方法

    公开(公告)号：US3717525A

    公开(公告)日：1973-02-20

    申请号：US3717525D

    申请日：1968-05-23

    Applicant: VARIAN MAT GMBH

    Inventor： BUELTEMANN H

    IPC: G01M3/20 ,  H01J41/00 ,  B32B5/18 ,  B32B31/12

    CPC classification number: G01M3/20 ,  H01J41/00

    Abstract: THE INVENTION IS CONCERNED WITH A METHOD OF MAKING GAS DIFFUUSION MEMBRANES. THE PORES ADJACENT THE SURFACE OF A POROUS PERMEABLE CARRIER MEMBER ARE FILLED WITH A MATERIAL, LATER TO BE REMOVED, A DIFFUSION MEMBER IS APPLIED TO THAT SURFACE, AND THE FILLER MATERIAL IS THEN REMOVED. IN ANOTHER EMBODIMENT A DIFFUSION MEMBER IS APPLIED TIO A GLASS CARRIER MEMBER WHICH IS PORE-FREE, AND THE GLASS IS THEN MADE POROUS BY HEAT TREATMENT AND SELECTIVE DISSOLUTION.

    Ion-pumped mass spectrometer leak detector apparatus and method and ion pump therefor
    12.
    发明授权
    Ion-pumped mass spectrometer leak detector apparatus and method and ion pump therefor 失效
    离子泵质谱仪泄漏探测器装置及方法及其离子泵

    公开(公告)号：US3591827A

    公开(公告)日：1971-07-06

    申请号：US3591827D

    申请日：1967-11-29

    Applicant: ANDAR ITI INC

    Inventor： HALL LEWIS D

    IPC: G01M3/20 ,  H01J7/18 ,  H01J41/00 ,  H01J41/20 ,  H01J17/22

    CPC classification number: H01J7/18 ,  G01M3/202 ,  H01J41/00 ,  H01J41/20

    Abstract: A mass spectrometer is connected to a vacuum system which includes a vacuum-pumping system and which is communicated with the vessel under test exposed to a suitable probe gas. The vacuum-pumping system consists of a first stage in the form of a mechanical roughing pump for reducing the system pressure to roughing pressure, and a second stage in the form of a highvacuum pump which comprises an electronic getter-ion (sublimation) pump for pumping the chemically active nonnoble gases in combination with a Penning discharge chamber which houses discharge cathodes exposed to the deposit of the getter material from the getter-ion pump for pumping the noble gas.

    VERFAHREN ZUR ERMITTLUNG WENIGSTENS EINES PHYSIKALISCHEN PARAMETERS MITTELS EINER SENSOREINHEIT
    13.
    发明申请
    VERFAHREN ZUR ERMITTLUNG WENIGSTENS EINES PHYSIKALISCHEN PARAMETERS MITTELS EINER SENSOREINHEIT 审中-公开
    方法确定至少一个物理参数由传感器单元

    公开(公告)号：WO2015177337A1

    公开(公告)日：2015-11-26

    申请号：PCT/EP2015/061373

    申请日：2015-05-22

    Applicant: REIME, Gerd

    Inventor： REIME, Gerd

    IPC: G01N27/02 ,  G01V3/10 ,  H03K17/95 ,  G01B7/00

    CPC classification number: G01V3/10 ,  G01N27/028 ,  G01N27/62 ,  G01N27/64 ,  G01R27/00 ,  G01R27/26 ,  G01R27/2611 ,  G01R27/267 ,  H01J41/00 ,  H01J41/02

    Abstract: In einem Verfahren zur Ermittlung wenigstens eines physikalischen Parameters ist eine Sensoreinheit vorgesehen, die durch mindestens eine periodische Anregung (1.4) erregt wird, wobei die Sensoreinheit wenigstens einen Detektionsbereich aufweist, in dem Änderungen des Parameters im Umfeld der Sensoreinheit zu einem Ausgangssignal (1.7) der Sensoreinheit führen. Die Sensoreinheit ist so beschaltet ist, dass am Ausgang der Sensoreinheit ohne Änderungen des Parameters im Detektionsbereich das Ausgangssignal (1.7) ein Nullsignal oder ein nahezu Nullsignal ist, während bei Änderungen des Parameters im Detektionsbereich das Ausgangssignal (1.7) ein Signal ungleich Null ist, das eine bestimmte Amplitude und Phase aufweist. In einem geschlossenen Regelkreis wird mit einem Regelsignal das Signal ungleich Null im Empfangspfad auch bei Vorhandensein von Änderungen des Parameters im Detektionsbereich zur Erzielung eines ausgeregelten Zustands zu Null ausgeregelt. Das Regelsignal wird ausgewertet, um den physikalischen Parameter zu ermitteln. Das Ausgangssignal (1.7) der Sensoreinheit wird im Wesentlichen auf die Grundwelle der Anregung (1.4) reduziert und mittels wenigstens einer Pulsweitenmodulation wird das Ausgangssignal (1.7) im gesamten Phasenraum zu Null geregelt. Dadurch, dass die wenigstens eine Pulsweitenmodulation selbst je ein Korrektursignal mit variabler Pulsbreite und ggf. variabler Phase erzeugt, das dann zum Ausgangssignal (1.7) der Sensoreinheit addiert wird und dadurch das Ausgangssignal im gesamten Phasenraum zu Null regelt, wobei die Pulsbreite des Korrektursignals und/oder die Phase des Korrektursignals durch die Abweichungen des Ausgangssignals (1.7) von Null bestimmt wird, wird ein temperaturstabiles, volldigitales Messsystem geschaffen.

    Abstract translation: 在用于确定传感器单元的至少一个物理参数的方法是通过在至少一个周期性激励（1.4）被激励时，其特征在于，所述传感器单元包括在其中的传感器单元的环境参数的变化到的输出信号（1.7）至少一个检测区域提供 铅传感器单元。 传感器单元进行布线，使所述传感器单元的不包含该参数的修改的输出，在检测区域（1.7）的输出信号是零信号或近零信号，而在检测区域中的参数变化，输出信号（1.7）等于零时，一个信号 具有特定振幅和相位。 在闭环控制回路，该信号是非零即使在检测区域中的参数的变化的存在，得到的控制信号控制的状态在接收路径中校正为0。 该控制信号被评估以确定的物理参数。 所述传感器单元的输出（1.7）基本上减小到激励（1.4）的基波，并通过至少一个脉冲宽度调制，输出信号（1.7）在整个相位空间被控制到零。 其特征在于，所述至少一个脉冲宽度调制本身产生具有可变脉冲宽度和可能可变相位各自的校正信号，然后输出信号（1.7）加入到传感器单元，从而控制在整个相位空间到零输出信号，所述校正信号的脉冲宽度和/ 或由所述输出信号（1.7）的偏差校正信号的相位从零确定，提供了一种温度稳定的，全数字测量系统。

    METHOD FOR DETERMINING AT LEAST ONE PHYSICAL PARAMETER USING A SENSOR UNIT
    15.
    发明申请
    METHOD FOR DETERMINING AT LEAST ONE PHYSICAL PARAMETER USING A SENSOR UNIT 审中-公开

    公开(公告)号：US20170097438A1

    公开(公告)日：2017-04-06

    申请号：US15311937

    申请日：2015-05-22

    Applicant: Gerd REIME

    Inventor： Gerd REIME

    IPC: G01V3/10 ,  G01N27/02

    CPC classification number: G01V3/10 ,  G01N27/028 ,  G01N27/62 ,  G01N27/64 ,  G01R27/00 ,  G01R27/26 ,  G01R27/2611 ,  G01R27/267 ,  H01J41/00 ,  H01J41/02

    Abstract: In a method for determining at least one physical parameter, a sensor unit which is activated by at least one periodic excitation (1.4) is provided, wherein the sensor unit has at least one detection region in which changes of the parameter in the surroundings of the sensor unit lead to output signal (1.7) from the sensor unit. The sensor unit is wired such that if there are no changes of the parameter in the detection region the output signal (1.7) is a zero signal or virtually a zero signal at the output of the sensor unit, whereas if there are changes of the parameter in the detection region the output signal (1.7) is a signal that is not zero and has a specific amplitude and phase. In a closed control loop, the non-zero signal in the receive path is adjusted to zero using a control signal to achieve an adjusted state even in the presence of changes of the parameter in the detection region. The control signal is evaluated in order to determine the physical parameter. The output signal (1.7) from the sensor unit is reduced substantially to the fundamental wave of the excitation (1.4) and the output signal (1.7) is controlled to zero in the entire phase space by means of at least one pulse width modulation. A temperature-stable, fully digital measuring system is provided as a result of the fact that the at least one pulse width modulation itself generates a correction signal with a variable pulse width and possibly a variable phase which is then added to the output signal (1.7) from the sensor unit and the output signal is thereby controlled to zero in the entire phase space, wherein the pulse width of the correction signal and/or the phase of the correction signal is/are determined by the deviations of the output signal (1.7) from zero.

    COMBINED PUMPING SYSTEM COMPRISING A GETTER PUMP AND AN ION PUMP
    20.
    发明申请
    COMBINED PUMPING SYSTEM COMPRISING A GETTER PUMP AND AN ION PUMP 审中-公开
    组合泵系统，包括一个泵和一个泵

    公开(公告)号：WO2009118398A1

    公开(公告)日：2009-10-01

    申请号：PCT/EP2009/053634

    申请日：2009-03-26

    Applicant: SAES GETTERS S.p.A. ,  FERRIS, Michael Laurence ,  CONTE, Andrea

    Inventor： FERRIS, Michael Laurence ,  CONTE, Andrea

    IPC: H01J41/00

    CPC classification number: H01J41/00

    Abstract: A combined pumping system (10) comprises a getter pump (12) and an ion pump (13). The getter and ion pumps (12, 13) are mounted on a same flange (11) and are arranged on the same side of said flange (11) at two different points thereof.

    Abstract translation: 组合泵送系统（10）包括吸气泵（12）和离子泵（13）。 吸气剂和离子泵（12,13）安装在相同的凸缘（11）上，并且在其两个不同的位置处布置在所述凸缘（11）的同一侧上。

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