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公开(公告)号：CN1630926A
公开(公告)日：2005-06-22
申请号：CN02828993.5
申请日：2002-03-21
Applicant: 汉民微测科技股份有限公司
Inventor： Z·-W·陈
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/141 , H01J2237/04756 , H01J2237/1035
Abstract: 一种回转减速浸没式物简系统及方法，它提供具有大束电流的低电压电子束，相当高的空间分辨率，相当大的扫描范围，和高的信号收集效率。该物镜包括用于在样品附近产生磁场的磁透镜，以把粒子束的粒子聚焦到样品上；具有用于在靠近样品处提供减速场到粒子束的电位的电极，当该束与样品碰撞时来减少粒子束的能量；包括沿该束轴设置的多个偏转单元的偏转系统，用于偏转该粒子束以使在具有大区域的样品上扫描成为可能，偏转单元中的至少一个放在该束的减速场中，其余的偏转单元放在磁透镜的中央腔内；以及具有相当小的孔径的环形探测单元，放在限定主束的孔径下面，以俘获二次电子(SE)和背散衬电子(BSE)。
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公开(公告)号：CN1473108A
公开(公告)日：2004-02-04
申请号：CN01818608.4
申请日：2001-10-26
Applicant: 莱克斯马克国际公司
IPC: B41J2/385 , B41J2/435 , B41J2/45 , B41J15/14 , B41J27/00 , G03G13/04 , H01J3/14 , H01J5/16 , H01J40/14 , G03B27/00
CPC classification number: G03G15/326 , G03G15/04072 , G03G2215/0119 , G03G2215/0404
Abstract: 一种成像装置(10)，它包括一个机架(66)，一个容纳产生激光束(38)的打印头(12)的打印头外壳(68)，以及一个位置传感装置(70)。该位置传感装置包括一个位置传感装置构架(72)和一个用于检测激光束位置的位置传感器(56)。该激光传感装置构架被插入该机架和打印头外壳之间。机架、打印头外壳和位置传感装置构架中的每一个都包括至少一个定位部件，其组合起来相对于机架精确定位打印头外壳的位置。
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公开(公告)号：CN1184554A
公开(公告)日：1998-06-10
申请号：CN96194029.8
申请日：1996-05-16
Applicant: 詹金·A·理查德
Inventor： 詹金·A·理查德
CPC classification number: G11B7/127 , G01N9/24 , G11B7/003 , G11B7/0037 , G11B7/005 , G11B2007/0013 , H04R23/008
Abstract: 提出一种利用一个或多个激光腔(40,41)确定反射目标表面(60)位置的设备和方法。发射激光腔(40)产生稳定谐振腔输出光束(42),一个含频率为f1第一波和频率为f2第二波的复合光束图形调制该输出光束。反射的复合调制光束进入接收激光腔,f1和f2的基波和谐波在此接收激光腔内产生。光电二极管(70)测量接收激光腔的复合调制输出光束功率,连接在光电二极管的去卷积系统用于滤出f1的基频和f2的二次谐波。根据测得的复合调制输出光束功率随时间的变化关系获得反射目标位置的信息。
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公开(公告)号：CN118610053A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410815605.X
申请日：2024-06-24
Applicant: 温州大学
Abstract: 本发明公开了一种面向太赫兹微波放大器的冷阴极电子枪及其使用方法，包括枪壳、阳极、冷阴极和栅极，枪壳包括由下向上依次连接的阴极支撑、低压瓷环、栅极支撑、高压瓷环以及管芯封接环，冷阴极设置在阴极支撑上，栅极设置在栅极支撑上，栅极上开设有与冷阴极对应的贯通的栅极孔，冷阴极与所述栅极正对且不接触；本发明依据冷阴极发射原理与电子束流聚焦光学的设计，使得电子枪阴极能够发射较强的发射电流，同时在聚焦结构电场分布下实现对电子注较好的高倍压缩，其具有瞬时启动、低功耗、易集成的特点，同时，该电子枪具有极细、强流的电子注输出能力，仿真计算结果表明其输出的束流直径最小约为40μm，同时具有较大的电流输出能力，输出电流达到2mA以上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114599426A
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202080061006.3
申请日：2020-08-28
Applicant: TAE技术公司
Abstract: 系统、设备和方法的实施例涉及用于检测光束线中的光束未对准的快速光束位置监测。在示例中，快速光束位置监测器包括延伸到光束线的组件的内部的多个电极。快速光束位置监测器被配置为基于束晕电流检测穿过光束线的组件的光束的位置。系统、设备和方法的实施例还涉及非侵入性地监测沿着光束线前进的光束的监测参数。在示例中，气体沿着光束线被喷吹入泵送室。根据由前进通过光束线的光束的高能光束粒子的碰撞引起的荧光来测量一个或多个光束参数。
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公开(公告)号：CN103578886B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201310559937.8
申请日：2013-11-12
Applicant: 陆振民
Abstract: 本发明公开了一种电磁波发生装置，包括发生电子的电子发生部；供电子发生部入射电子的入射部；在入射部内设置有拦截入射电子并改变入射电子行进方向的变向部，和改变所述入射电子速度与行进方向的导向部，导向部远离电子发生部的一端为阳极端。本发明提供了一种电磁波发生装置，通过电子在入射部内的多次变向，使电子在入射部内行进的过程中，能够更加的集聚，从而使电子在离开入射部后能够相对集中的集聚到一个区域内，从而增加该区域单位面积内所接收的电子数量。
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公开(公告)号：CN101438368B
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN200680047932.5
申请日：2006-12-06
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Inventor： 拉塞尔·J·罗 , 乔纳森·G·英格兰 , 史蒂夫·E·克劳斯 , 艾立克·D·赫尔曼森
IPC: H01J3/14
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/09 , H01J37/15 , H01J37/18 , H01J37/302 , H01J37/3023 , H01J2237/0455 , H01J2237/0458 , H01J2237/1503 , H01J2237/182 , H01J2237/188 , H01J2237/30488 , H01J2237/31705 , H01L21/266
Abstract: 本发明揭示用于防止寄生的子波束影响离子植入的技术。在一个特定的示范性实施例中，所述技术可实现为一种用于防止寄生的子波束影响离子植入的设备。所述设备可包括经配置以来回地扫描点波束进而形成横跨预定宽度的离子波束的控制器。所述设备还可包括小孔机构，其在保持固定时允许点波束穿过。所述设备可进一步包括同步机构，其耦合到控制器和小孔机构，且经配置以致使小孔机构与经扫描的点波束同步地移动，从而允许经扫描的点波束穿过，但阻挡与点波束相关联的一个或一个以上寄生的子波束。
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公开(公告)号：CN100590767C
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：CN200480041207.8
申请日：2004-11-29
Applicant: 德塞拉股份有限公司
Inventor： I·A·科里奇塔弗维奇 , J·欧哈拉 , J·汤普森
CPC classification number: H01T19/00
Abstract: 一种电晕放电装置的操作方法包括下列步骤：在至少一个电晕电极最为接近的位置产生高强度电场；以及对该电晕电极以连续性或周期性的方式，加热至一足以使该电晕电极上的杂质(诸如氧化层)其不良作用减轻的温度。
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公开(公告)号：CN101383486A
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：CN200710009515.8
申请日：2007-09-08
Applicant: 福建新大陆环保科技有限公司
Abstract: 本发明提供一种用于电晕放电的高压电极和采用此高压电极的放电单元，其特征在于：高压电极由金属放电棒、套在金属放电棒外周的一端封闭的放电棒绝缘管和在放电棒和放电棒绝缘管之间加入的导电层构成，导电层与金属放电棒以及放电棒绝缘管之间无间隙，放电棒绝缘管管口与金属放电棒之间封闭；所提供的放电单元，包含高压电极、放电单元绝缘管和地电极，所述放电单元绝缘管表层具有导电金属层。
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