公开(公告)号：TWI427436B

公开(公告)日：2014-02-21

申请号：TW100106059

申请日：2011-02-23

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 范 茲維 愛爾恩 約翰 ,  VAN ZWET, ERWIN JOHN ,  德 賈格 皮耶特 威廉 荷曼 ,  DE JAGER, PIETER WILLEM HERMAN ,  昂夫里 喬漢斯 ,  ONVLEE, JOHANNES ,  費瑞茲 艾瑞克 克力斯坦 ,  FRITZ, ERIK CHRISTIAAN ,  戴柯爾 亞伯特 ,  DEKKER, ALBERT ,  史必迪克 喬漢那斯P F ,  SPIERDIJK, JOHANNUS P. F. ,  迪 曼 漢卓克 ,  DE MAN, HENDRIK

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/704 ,  G03F7/70258 ,  G03F7/70391

公开(公告)号：TWI427435B

公开(公告)日：2014-02-21

申请号：TW100104477

申请日：2011-02-10

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 帕迪 亞歷山卓 維多羅夫奇 ,  PADIY, ALEXANDER VIKTOROVYCH ,  曼徹奇可夫 伯瑞斯 ,  MENCHTCHIKOV, BORIS ,  米德克魯克斯 史考特 安德森 ,  MIDDLEBROOKS, SCOTT ANDERSON

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70633 ,  G03F7/70525 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70641

公开(公告)号：TWI427431B

公开(公告)日：2014-02-21

申请号：TW098131847

申请日：2009-09-21

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 戴 嘉格 派特 威廉 鶴鳴 ,  DE JAGER, PIETER WILLEM HERMAN ,  斑尼 維頂 維根維齊 ,  BANINE, VADIM YEVGENYEVICH ,  班斯洽普 喬茲夫 佩勒斯 韓瑞卡 ,  BENSCHOP, JOZEF PETRUS HENRICUS ,  桂 成群 ,  GUI, CHENG-QUN ,  昂夫里 喬漢斯 ,  ONVLEE, JOHANNES ,  范 茲維 愛爾恩 約翰 ,  VAN ZWET, ERWIN JOHN

IPC: G03F7/20 ,  G03B27/72

CPC classification number: G03F7/70183 ,  G03F7/70275 ,  G03F7/70291 ,  G03F7/70391 ,  G03F7/704

公开(公告)号：TWI427427B

公开(公告)日：2014-02-21

申请号：TW097145513

申请日：2005-04-04

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 阿卡斯 尤米希 可萊希燦可 ,  KOLESNYCHENKO, ALEKSEY YURIEVICH ,  喬納斯 喬可巴斯 麥修斯 巴賽曼 ,  BASELMANS, JOHANNES JACOBUS MATHEUS ,  史喬德 尼可拉斯 藍伯特斯 當德斯 ,  DONDERS, SJOERD NICOLAAS LAMBERTUS ,  克里斯汀 亞歷山大 胡根登 ,  HOOGENDAM, CHRISTIAAN ALEXANDER ,  漢斯 強森 ,  JANSEN, HANS ,  喬翁 喬納斯 蘇菲亞 馬莉亞 馬汀斯 ,  MERTENS, JEROEN JOHANNES SOPHIA MARIA ,  喬納斯 凱瑟尼斯 哈伯特斯 馬肯斯 ,  MULKENS, JOHANNES CATHARINUS HUBERTUS ,  費力克斯 卡德弗萊 彼得 彼得斯 ,  PEETERS, FELIX GODFRIED PETER ,  包伯 史崔弗科 ,  STREEFKERK, BOB ,  法蘭西斯克斯 喬納斯 赫曼 馬里亞 泰烏尼森 ,  TEUNISSEN, FRANCISCUS JOHANNES HERMAN MARIA ,  賀馬 凡 聖誕 ,  VAN SANTEN, HELMAR

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70341 ,  G03F7/70733 ,  G03F7/70866 ,  G03F7/70908

公开(公告)号：TWI424516B

公开(公告)日：2014-01-21

申请号：TW097139235

申请日：2008-10-13

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 喬賽夫 安格斯堤娜斯 瑪莉亞 艾伯堤 ,  ALBERTI, JOZEF AUGUSTINUS MARIA ,  捷瑞達 皮德拉 瑪堤斯 范 尼納 ,  VAN NUNEN, GERARDUS PETRUS MATTHIJS ,  法蘭斯 艾瑞克 葛洛恩斯敏特 ,  GROENSMIT, FRANS ERIK ,  芮妮 希多盧斯 佩卓斯 康培 ,  COMPEN, RENE THEODORUS PETRUS ,  雅伯罕 亞歷山卓 索薩德 ,  SOETHOUDT, ABRAHAM ALEXANDER

IPC: H01L21/67 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

公开(公告)号：TWI422992B

公开(公告)日：2014-01-11

申请号：TW100107601

申请日：2011-03-07

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 史東克 羅南德 派特 ,  STOLK, ROLAND PIETER ,  凡 德 維恩 保羅 ,  VAN DER VEEN, PAUL

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/7085

公开(公告)号：TW201400993A

公开(公告)日：2014-01-01

申请号：TW102117423

申请日：2013-05-16

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 賈克 馬丁 賈庫柏斯 喬漢 ,  JAK, MARTIN JACOBUS JOHAN ,  柯蘭 愛曼德 尤金尼 愛博特 ,  KOOLEN, ARMAND EUGENE ALBERT ,  史密德 韓卓克 真 海德 ,  SMILDE, HENDRIK JAN HIDDE

IPC: G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70625 ,  G03F7/70483 ,  G03F7/70633 ,  G03F7/70683

Abstract: 藉由一微影程序形成於一基板上之一度量目標包括複數個組件光柵。使用由該等組件光柵繞射之輻射之+1階及-1階而形成該目標之影像。識別對應於該等組件光柵的經偵測影像中之所關注區(ROI)。在若干影像之間處理及比較每一ROI內之強度值，以獲得不對稱性之一量測且因此獲得疊對誤差。將分離區帶形成於該等組件光柵之間且設計成在該影像中提供暗區。在一實施例中，將該等ROI選擇為其邊界屬於對應於該等分離區帶之該等影像區。藉由此措施，使該不對稱性量測更容許該ROI之位置變化。該等暗區亦輔助該等影像中之該目標之辨識。

Abstract in simplified Chinese: 借由一微影进程形成于一基板上之一度量目标包括复数个组件光栅。使用由该等组件光栅绕射之辐射之+1阶及-1阶而形成该目标之影像。识别对应于该等组件光栅的经侦测影像中之所关注区(ROI)。在若干影像之间处理及比较每一ROI内之强度值，以获得不对称性之一量测且因此获得叠对误差。将分离区带形成于该等组件光栅之间且设计成在该影像中提供暗区。在一实施例中，将该等ROI选择为其边界属于对应于该等分离区带之该等影像区。借由此措施，使该不对称性量测更容许该ROI之位置变化。该等暗区亦辅助该等影像中之该目标之辨识。

公开(公告)号：TWI420258B

公开(公告)日：2013-12-21

申请号：TW099135958

申请日：2006-06-20

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 奧登斯 宙斯特 傑倫 ,  OTTENS, JOOST JEROEN ,  微哈珍 馬提那斯 康納斯 瑪利亞 ,  VERHAGEN, MARTINUS CORNELIS MARIA ,  布恩 賀曼 ,  BOOM, HERMAN ,  簡森 法蘭西瑟斯 喬漢那斯 約瑟夫 ,  JANSSEN, FRANCISCUS JOHANNES JOSEPH ,  賈庫博 喬漢斯 亨利哈斯 威廉瑪斯 ,  JACOBS, JOHANNES HENRICUS WILHELMUS ,  凱特 尼可拉斯 譚 ,  TEN KATE, NICOLAAS ,  洛卜史塔 艾瑞克 羅勒夫 ,  LOOPSTRA, ERIK ROELOF ,  里恩德斯 馬汀斯 漢德利克斯 安東尼斯 ,  LEENDERS, MARTINUS HENDRIKUS ANTONIUS ,  柏卻斯 伊果 派特羅 瑪瑞 ,  BOUCHOMS, IGOR PETRUS MARIA ,  坎博 尼可拉斯 羅德夫 ,  KEMPER, NICOLAAS RUDOLF ,  寇可 猷西 ,  KOK, YUCEL ,  依絲 喬漢娜 凡 ,  VAN ES, JOHANNES

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70341 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/70875

公开(公告)号：TWI420257B

公开(公告)日：2013-12-21

申请号：TW099133135

申请日：2010-09-29

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 凡 史考特 珍 柏納得 柏勒契爾穆斯 ,  VAN SCHOOT, JAN BERNARD PLECHELMUS ,  凡 英真 史契納 科英 ,  VAN INGEN SCHENAU, KOEN ,  迪 菲瑞爾斯 固史 查爾斯 ,  DE VRIES, GOSSE CHARLES

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70425 ,  G02B26/0833 ,  G02B27/0068 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/70116 ,  G03F7/70191

公开(公告)号：TWI420253B

公开(公告)日：2013-12-21

申请号：TW098125974

申请日：2009-07-31

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 羅斯崔 愛立克 羅勞夫 ,  LOOPSTRA, ERIK ROELOF ,  丹 邦伊 威海明司 派特斯 ,  DE BOEIJ, WILHELMUS PETRUS ,  巴特勒 漢司 ,  BUTLER, HANS ,  迪 強夫 羅柏特斯 喬哈奈斯 馬利那斯 ,  DE JONGH, ROBERTUS JOHANNES MARINUS ,  凡 沙特 珍 伯納德 波萊奇莫斯 ,  VAN SCHOOT, JAN BERNARD PLECHELMUS ,  參格 提姆瑟 法蘭西斯 ,  SENGERS, TIMOTHEUS FRANCISCUS ,  威可曼 莫瑞斯 威廉 裘塞夫 艾汀 ,  簡森 法蘭西瑟斯 喬漢那斯 約瑟夫 ,  JANSSEN, FRANCISCUS JOHANNES JOSEPH

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70891 ,  G03F7/70258 ,  G03F7/70825