公开(公告)号：KR101418815B1

公开(公告)日：2014-07-17

申请号：KR1020130033525

申请日：2013-03-28

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 정학근 ,  김규덕 ,  유승원 ,  유승환

IPC: G01J1/02

CPC classification number: G01J1/0238 ,  G01J1/0252 ,  G01J11/00 ,  H01L21/027

Abstract: The present invention relates to an apparatus for fixing a light source lamp for a light distribution measurement device which fixes a socket type light source lamp in order for an illuminance sensor and the light source lamp to maintain a parallel state by preventing the heavy socket type light source lamp from hanging. The apparatus can fix the light source lamp in order for the illuminance sensor and the light source lamp to maintain a parallel state by preventing the heavy socket type light source lamp from hanging, and can fix the light source lamp tightly by enabling a hanging prevention hole of a lamp fixing hole to be screwed in the opposite direction to a lamp socket coupled to the light source lamp. The apparatus has the effect of being able to prevent the light source characteristics from being changed as the heat and electricity generated in the light source lamp are transmitted to the fixing device during light distribution measurement.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于固定用于配光测量装置的光源灯的装置，该装置用于通过防止重型插座式光线来固定插座型光源灯以使照度传感器和光源灯保持平行状态 源灯从挂起。 该装置可以固定光源灯，以便通过防止重型插座式光源灯悬挂而使照度传感器和光源灯保持平行状态，并且可以通过实现防挂孔来固定光源灯 一个灯固定孔沿着与连接到光源灯的灯插座相反的方向拧紧。 该装置具有能够防止光源特性随着在光分布测量期间在光源灯中产生的热量和电力被传送到定影装置而改变。

公开(公告)号：KR200382042Y1

公开(公告)日：2005-04-19

申请号：KR2020040029627

申请日：2004-10-20

Applicant: 오츠카 일렉트로닉스 가부시키가이샤

Inventor： 미즈구찌쯔또무 ,  오오시마고세이 ,  후나또마사요시

IPC: G01J9/00 ,  G01J11/00

CPC classification number: G01J9/04 ,  G01J1/44 ,  G01J11/00 ,  G01J2001/446

Abstract: 샘플 배치 트레이 유닛(31-3N)은 발광 패널 광학 특성 측정 블록(41-4M)에 각각 접속되지만, 발광 패널 광학 특성 측정 블록(41-4M)은 각각 그 내부에 하나의 발광 패널을 수용한다. 발광 패널 광학 특성 측정 블록(41-4M)은 발광 패널 동작 조건, 환경 조건, 및 측정 조건에 대해 개별적으로 설정되고 발광 패널 광학 특성 측정 블록(41-4M) 내의 각각의 발광 패널의 광학 특성을 측정한다. 시스템 제어기(2)는 시스템 서버(1)에 의해 총괄적으로 관리되는 개별 측정 자료 아이템을 수집한다.

公开(公告)号：KR100337646B1

公开(公告)日：2002-05-23

申请号：KR1019990034076

申请日：1999-08-18

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 이학규 ,  임동성 ,  전민용 ,  안준태 ,  김경헌

IPC: G01J1/00

CPC classification number: G01J11/00

Abstract: 본발명은본 발명은극초단단일광 펄스(single optical pulse)의시간적파형(temporal waveform)을측정하기위한광 펄스파형측정장치에관한것이다. 본발명은측정하고자하는광 펄스와동기화되어있는선형처핑된초연속광원과; 상기초연속광원으로부터입사된광을통해, 입사된광 펄스의시간파형을파장영역으로변환시키기위한비선형간섭계와; 상기비선형간섭계를통과한광의파장을측정하기위한광 파장분석기로이루어져단일광 펄스의시간적파형을측정할수 있는것으로서, 선형처핑된초연속광원과비선형간섭계및 파장분석기를이용하여입력광펄스의시간파형을파장영역으로변환하여측정하는원리를사용하며, 또한반복측정이아닌단일주사(single-shot)로도측정이가능한광 펄스파형측정장치를제안한다.

公开(公告)号：KR1020020008496A

公开(公告)日：2002-01-31

申请号：KR1020000041708

申请日：2000-07-20

Applicant: 주식회사 큐텍스

Inventor： 김현홍

IPC: G01J11/00

CPC classification number: G01J11/00 ,  E03C1/057 ,  G01J3/108

Abstract: PURPOSE: An infrared sensor is provided to detect an additional projector mounted between boundary areas formed by a transmitting unit and a receiving unit by checking emission of infrared rays from a closer position than the transmitting unit. CONSTITUTION: A light receiver(400) of an infrared sensor consists of a light receiving device(410), an amplifier(420), a light-shielding decision unit(430), a shielding time comparator(440), an alarming device(450), an auxiliary projector(460) and an auxiliary receiver(470). The light receiving device receives light emitted from a projector, and the amplifier amplifies the received light into specific level. The light-shielding decision unit calculates the amount of received light and decides that a gap between the projector and the receiver is isolated if the value is lower than specific value. The shielding time comparator counts the shielding time and compares the time with preset reference time. The comparator outputs an alarm generating signal to the alarming device if the shielding time is longer than the reference time. The auxiliary projector and the auxiliary receiver are used for near sensing. The alarming device generates alarms according to an alarm generating signal from the comparator or the auxiliary receiver. Therefore, wrong operation of the infrared sensor is prevented.

Abstract translation: 目的：提供一种红外传感器，用于通过检查比发送单元更靠近的位置发射红外线来检测安装在由发送单元和接收单元形成的边界区域之间的附加投影机。 构成：红外线传感器的光接收器（400）由光接收装置（410），放大器（420），遮光判定单元（430），屏蔽时间比较器（440），报警装置 450），辅助投影仪（460）和辅助接收器（470）。 光接收装置接收从投影仪发射的光，并且放大器将接收的光放大到特定的水平。 光屏蔽决定单元计算接收到的光量，并且如果该值低于特定值，则确定投影仪和接收器之间的间隙是隔离的。 屏蔽时间比较器对屏蔽时间进行计数，并将时间与预设的参考时间进行比较。 如果屏蔽时间长于参考时间，比较器将报警产生信号输出到报警装置。 辅助投影机和辅助接收机用于近距离感应。 报警装置根据来自比较器或辅助接收器的报警产生信号产生报警。 因此，防止红外线传感器的错误操作。

公开(公告)号：TWI591320B

公开(公告)日：2017-07-11

申请号：TW102112855

申请日：2013-04-11

Applicant: 希瑪有限責任公司 ,  CYMER, LLC

Inventor： 洛基司基 洛斯提斯拉夫 ,  ROKITSKI, ROSTISLAV ,  程 那恭 ,  SEONG, NAKGEUON ,  歐布萊恩 凱文M ,  O'BRIEN, KEVIN M.

IPC: G01J3/28 ,  G01J9/00 ,  G03F7/20

CPC classification number: G01J3/28 ,  G01J3/027 ,  G01J3/1809 ,  G01J11/00 ,  G01J2001/4238 ,  G01J2009/006 ,  G03F7/70091 ,  G03F7/70575 ,  G03F7/7085

公开(公告)号：TW201626861A

公开(公告)日：2016-07-16

申请号：TW104139984

申请日：2015-11-30

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 張 衛民 ,  ZHANG, KEVIN WEIMIN ,  普維斯 麥可 安東尼 ,  PURVIS, MICHAEL ANTHONY ,  拉法斯 羅伯特 傑 ,  RAFAC, ROBERT JAY ,  夏夫甘納斯 亞歷山德 安東尼 ,  SHAFGANS, ALEXANDER ANTHONY

IPC: H05G2/00

CPC classification number: H05G2/003 ,  G01J11/00 ,  G02B26/0825 ,  G02B27/141 ,  H05G2/005 ,  H05G2/008

Abstract: 一經雷射產生之電漿極紫外線雷射源包含至少一個可變半徑鏡面。該至少一個可變半徑鏡面調整距一預脈衝焦平面達一指定距離處之一主脈衝的一光束直徑，其中該預脈衝將液滴輻射至靶向物液滴中，且該主脈衝將該等靶向物液滴輻射至一電漿狀態中以產生該極紫外線輻射。

Abstract in simplified Chinese: 一经激光产生之等离子极紫外线激光源包含至少一个可变半径镜面。该至少一个可变半径镜面调整距一预脉冲焦平面达一指定距离处之一主脉冲的一光束直径，其中该预脉冲将液滴辐射至靶向物液滴中，且该主脉冲将该等靶向物液滴辐射至一等离子状态中以产生该极紫外线辐射。

公开(公告)号：TW201610399A

公开(公告)日：2016-03-16

申请号：TW104115769

申请日：2015-05-18

Applicant: 希瑪有限責任公司 ,  CYMER, LLC ,  ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 杜菲 湯瑪斯P ,  DUFFEY, THOMAS PATRICK ,  構德菲爾德 赫曼P ,  GODFRIED, HERMAN PHILIP

IPC: G01J3/28 ,  G03F7/20 ,  G01J9/00

CPC classification number: G01J3/28 ,  G01J3/027 ,  G01J3/14 ,  G01J3/26 ,  G01J9/00 ,  G01J11/00 ,  G01J2003/2853 ,  G03F7/70041 ,  G03F7/70058 ,  G03F7/70575

Abstract: 描述一種用以評估脈衝光束之光譜特徵的方法，該脈衝光束由光源產生且朝向微影設備之晶圓。該方法包含：接收由該光束之N個脈衝光譜組成的一集合；保存所接收之該等N個光譜至一保存集合；轉換在該保存集合中的該等光譜以形成一轉換光譜集合；平均該等轉換光譜以形成一平均光譜；以及基於該平均光譜來評估該脈衝光束的一光譜特徵。

Abstract in simplified Chinese: 描述一种用以评估脉冲光束之光谱特征的方法，该脉冲光束由光源产生且朝向微影设备之晶圆。该方法包含：接收由该光束之N个脉冲光谱组成的一集合；保存所接收之该等N个光谱至一保存集合；转换在该保存集合中的该等光谱以形成一转换光谱集合；平均该等转换光谱以形成一平均光谱；以及基于该平均光谱来评估该脉冲光束的一光谱特征。

公开(公告)号：KR1020170099959A

公开(公告)日：2017-09-01

申请号：KR1020177020020

申请日：2015-12-21

Applicant: 유니버시다드 데 라 라구나

Inventor： 로드리게즈라모스,호세마누엘 ,  필립루케,호나스 ,  트루질로세빌라,후안마누엘 ,  페르난데즈발디비아,후안호세

IPC: G01J11/00 ,  G02B27/22

CPC classification number: H04N13/207 ,  G01J11/00 ,  G02B27/22 ,  H04N13/296

Abstract: 장면과관련된전자기장의복소진폭을결정하는방법은, a) 사진카메라에의하여상기장면의복수의이미지들을캡쳐하는단계, 상기이미지들은상이한거리들에배치된초점의평면들에포커싱되고, 상기카메라는초점길이 F의렌즈및 그것의이미지공간에서상기렌즈로부터일정한거리에서배치된센서를포함하고, 상기복수의이미지들로부터적어도하나의이미지쌍을테이크하는단계및 상기쌍의두 이미지들의초점의평면들에관한상기중간평면에대응하는오브젝트공간에서의상기켤레평면에누적된파면을결정하는단계를포함한다.

Abstract translation: 一种用于确定与所述场景相关的电磁场的复振幅的方法，a）还包括：由所述图像摄像头捕获的多个场景的图像，该图像在布置在不同距离处的平面，摄像机的焦点集中在 包括布置在从所述透镜的透镜和它的图像空间的焦距f的距离的传感器，和收从所述多个图像中的至少一个图像对的步骤，和焦点的平面中的对的两个图像 对应于eseoui对象空间，所述中间平面，并确定累积波前向的步骤，所述一对上平面。

公开(公告)号：KR101480925B1

公开(公告)日：2015-01-13

申请号：KR1020130158740

申请日：2013-12-18

Applicant: 한국생산기술연구원

Inventor： 정훈 ,  김종석

IPC: G01J11/00

CPC classification number: G01J11/00 ,  G01J1/0411 ,  G01J2011/005 ,  G02B3/08

Abstract: 본 발명의 일 실시예는 FROG 기법을 이용한 펄스 측정 시스템 및 그를 이용한 측정 방법에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 수정된 FROG 기법을 이용하여 입사되는 광 펄스를 특징화하고 최적화할 수 있게 하는데 있다.
이를 위해 본 발명의 일 실시예는 입사되는 피코초(picosecond) 이하의 레이저 광 펄스를 두 개의 펄스로 분산시키는 빔 스플리터; 상기 두 개의 펄스가 표면에 입사되어, 상기 표면에 대하여 수직 방향으로 회절되는 그레이팅; 및 상기 회절된 두 개의 펄스가 시간적 및 공간적으로 오버랩되는 크리스탈을 포함하는 FROG 기법을 이용한 펄스 측정 시스템을 개시한다.

Abstract translation: 本发明的一个实施例涉及一种使用FROG技术测量脉冲的系统和使用该脉冲测量脉冲的方法。 本发明的目的是使用修正的FROG技术来表征和优化进入的光脉冲。 为了实现该目的，根据本发明的实施例的系统包括：分束器，将进入的激光光脉冲等于或小于皮秒分成两个脉冲; 具有两个脉冲进入其表面垂直衍射的表面的光栅; 以及在时间和空间上与衍射的两个脉冲重叠的晶体。

公开(公告)号：KR1020150004398A

公开(公告)日：2015-01-12

申请号：KR1020147032898

申请日：2013-04-04

Applicant: 사이머 엘엘씨

Inventor： 로키츠키로스티슬라프 ,  성낙건 ,  오브라이언케빈엠

IPC: G01J3/28

CPC classification number: G01J3/28 ,  G01J3/027 ,  G01J3/1809 ,  G01J11/00 ,  G01J2001/4238 ,  G01J2009/006 ,  G03F7/70091 ,  G03F7/70575 ,  G03F7/7085

Abstract: 광원에 의해 산출된 펄스형 광 빔의 스펙트럼 특성은 복수의 스텝을 포함하는 패턴 주기를 가지는 사전 결정된 반복 패턴을 기초로 펄스형 광 빔의 파장을 변경하는 단계로서, 패턴 주기 내의 각각의 스텝에 대한 기준선 파장으로부터의 파장 오프셋 만큼 펄스형 광 빔의 파장을 시프트하는 것을 포함하는 상기 변경하는 단계; 패턴에 걸쳐 파장이 변경될 때 패턴 주기 내의 각각의 스텝에 대한 광 빔의 파장을 측정하는 단계; 및 패턴 주기 내의 각각의 스텝에 대한 광 빔의 측정된 파장을 적어도 일부 기초로 하여 패턴 주기 내의 모든 스텝을 포함하는 평가 윈도우에 걸쳐 펄스형 광 빔의 스펙트럼 특성을 추정하는 단계에 의해 추정된다.