公开(公告)号：TWI294961B

公开(公告)日：2008-03-21

申请号：TW093117938

申请日：2004-06-21

Applicant: 希瑪股份有限公司 CYMER, INC.

Inventor： 瑞飛克 羅伯特J. RAFAC, ROBERT J.

IPC: G01J

CPC classification number: G01J1/4257 ,  G01J1/0228 ,  G01J3/02 ,  G01J3/027 ,  G01J3/28 ,  G01J3/45

Abstract: 揭露一種用以測量從一雷射所發出之光線的帶寬之方法與裝置，其能夠包含：一第一與第二波長敏感光學帶寬偵測器，其分別提供一代表一第一參數之輸出(其係為該發出光線分別藉由該第一與第二帶寬偵測器所偵測的帶寬)、以及一實際帶寬計算裝置，其適合使用這兩個輸出，作為一利用特別用於該第一或第二帶寬偵測器之預定校正變數的多重變數線性方程式，以便計算出一第一實際帶寬參數或是一第二實際帶寬參數。該第一實際帶寬參數可為最大值之某百分比的全寬(FWXM)，且該第二實際帶寬參數可為包含能量之某百分比的一部分(EX)。該第一與第二帶寬偵測器可為一標準具，且該等輸出可為個別標準具在FWXM之一光學輸出的波紋之一波紋寬度的代表。該等預先計算的校正變數能夠從個別的三維標繪圖所導出，該等標繪圖分別表示偵測器對於一具有已知數值之第一與第二實際帶寬參數(其可為FWXM與EX)的校正輸入光線之輸出。該第一/第二三維標繪圖能夠提供一解式：(第一/第二輸出)=(a/d*(校正輸入光線已知數值的FWXM))+(b/e*(校正輸入光線已知數值的 EX))+c/f；且該實際帶寬計算裝置能夠使用導出的方程式：(第一實際帶寬參數)=((b*(第二輸出))-(e*(第一輸出))+ce-bf)/(bd-ae)，或是方程式：(第二實際帶寬參數)=((a*(第二輸出))-(d*(第一輸出))+cd-af)/(ae-bd)。FWXM可為FWHM，且EX可為E95。該第一光學帶寬偵測器之轉換函數能夠選擇成對於FWXM比對於EX更為敏感，且該第二光學帶寬偵測器之轉換函數能夠選擇成對於EX比對於 FWXM更為敏感。

Abstract in simplified Chinese: 揭露一种用以测量从一激光所发出之光线的带宽之方法与设备，其能够包含：一第一与第二波长敏感光学带宽侦测器，其分别提供一代表一第一参数之输出(其系为该发出光线分别借由该第一与第二带宽侦测器所侦测的带宽)、以及一实际带宽计算设备，其适合使用这两个输出，作为一利用特别用于该第一或第二带宽侦测器之预定校正变量的多重变量线性方进程，以便计算出一第一实际带宽参数或是一第二实际带宽参数。该第一实际带宽参数可为最大值之某百分比的全宽(FWXM)，且该第二实际带宽参数可为包含能量之某百分比的一部分(EX)。该第一与第二带宽侦测器可为一标准具，且该等输出可为个别标准具在FWXM之一光学输出的波纹之一波纹宽度的代表。该等预先计算的校正变量能够从个别的三维标绘图所导出，该等标绘图分别表示侦测器对于一具有已知数值之第一与第二实际带宽参数(其可为FWXM与EX)的校正输入光线之输出。该第一/第二三维标绘图能够提供一解式：(第一/第二输出)=(a/d*(校正输入光线已知数值的FWXM))+(b/e*(校正输入光线已知数值的 EX))+c/f；且该实际带宽计算设备能够使用导出的方进程：(第一实际带宽参数)=((b*(第二输出))-(e*(第一输出))+ce-bf)/(bd-ae)，或是方进程：(第二实际带宽参数)=((a*(第二输出))-(d*(第一输出))+cd-af)/(ae-bd)。FWXM可为FWHM，且EX可为E95。该第一光学带宽侦测器之转换函数能够选择成对于FWXM比对于EX更为敏感，且该第二光学带宽侦测器之转换函数能够选择成对于EX比对于 FWXM更为敏感。

公开(公告)号：TW200501625A

公开(公告)日：2005-01-01

申请号：TW093116896

申请日：2004-06-11

Applicant: 希瑪股份有限公司 CYMER, INC.

Inventor： 瑞飛克 羅伯特J. RAFAC, ROBERT J.

IPC: H04B

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/027 ,  G01J3/28 ,  G01J3/45

Abstract: 所揭示係一種可測量一雷射所發出而輸入至其帶寬計之光波的光譜之帶寬的帶寬計量方法和裝置，其可包括：一光學帶寬監視器，其可提供一可表示一指示其雷射所發出之光波的帶寬之第一參數的第一輸出，和一可表示一指示其雷射所發出之光波的帶寬之第二參數的第二輸出；和一實際帶寬計算裝置，其可利用其第一輸出和第二輸出，作為一採用一些專屬其光學帶寬監視器之預定校正變數的多變數方程式的一部份，來計算一實際之帶寬參數。此實際之帶寬參數，可為其雷射所發出之光波的光譜之全寬度內的某一百分比最大值下的光譜全寬度(“FWXM”)，或為一在其光譜上面之兩點間的寬度(“EX”)，其係包圍上述雷射所發出之光波的光譜之全頻譜的某一百分比之能量。其帶寬監視器，可由一標準具所構成，以及其第一輸出係表示此標準具之光學輸出的條紋在FWXM下之寬度或其光譜上面包圍上述雷射所發出之光波的全頻譜之某一百分比能量的兩點間之寬度(“EX”)中的至少一個，以及其第二輸出係表示一第二FWX”M或EX”’中的至少一個，其中X≠X”及X’≠X”’。其預先計算之校正變數，可導自其實際帶寬參數值利用一與一校正光譜有關之第一和第二輸出的發生相關聯之可靠標準的測量。其實際帶寬參數之值，係計算自方程式：估測之實際BW參數＝K^﹡w1＋L^﹡w2＋M，其中，w1＝FWXM或EX’之第一測得輸出表示值，以及w2為FWX”M或EX”’之第二測得輸出表示值。此種裝置和方法，可在一雷射平版印刷光源中，及／或在一積體電路平版印刷工具中，加以具現。

Abstract in simplified Chinese: 所揭示系一种可测量一激光所发出而输入至其带宽计之光波的光谱之带宽的带宽计量方法和设备，其可包括：一光学带宽监视器，其可提供一可表示一指示其激光所发出之光波的带宽之第一参数的第一输出，和一可表示一指示其激光所发出之光波的带宽之第二参数的第二输出；和一实际带宽计算设备，其可利用其第一输出和第二输出，作为一采用一些专属其光学带宽监视器之预定校正变量的多变量方进程的一部份，来计算一实际之带宽参数。此实际之带宽参数，可为其激光所发出之光波的光谱之全宽度内的某一百分比最大值下的光谱全宽度(“FWXM”)，或为一在其光谱上面之两点间的宽度(“EX”)，其系包围上述激光所发出之光波的光谱之全频谱的某一百分比之能量。其带宽监视器，可由一标准具所构成，以及其第一输出系表示此标准具之光学输出的条纹在FWXM下之宽度或其光谱上面包围上述激光所发出之光波的全频谱之某一百分比能量的两点间之宽度(“EX”)中的至少一个，以及其第二输出系表示一第二FWX”M或EX”’中的至少一个，其中X≠X”及X’≠X”’。其预先计算之校正变量，可导自其实际带宽参数值利用一与一校正光谱有关之第一和第二输出的发生相关联之可靠标准的测量。其实际带宽参数之值，系计算自方进程：估测之实际BW参数＝K^﹡w1＋L^﹡w2＋M，其中，w1＝FWXM或EX’之第一测得输出表示值，以及w2为FWX”M或EX”’之第二测得输出表示值。此种设备和方法，可在一激光平版印刷光源中，及／或在一集成电路平版印刷工具中，加以具现。

公开(公告)号：TW285713B

公开(公告)日：1996-09-11

申请号：TW085101658

申请日：1996-02-10

Applicant: 迪斯可維馨關係企業公司

Inventor： 伊凡.普林克羅 ,  哈里斯.歐尼爾.賀爾二世

IPC: G01B

CPC classification number: G01J3/45 ,  G01J3/4535 ,  G01J9/02

Abstract: 一種干涉計包括將源光束分成測試光束及參考光束之分光器、用於偵測參考圖樣之映像裝置、置於該測試光束路徑中且可將測試光束朝映像裝置反射的鏡面、置於該參考光束路徑中且可將參考光束朝映像裝置反射的微鏡面、置於分光器及微鏡面之間的參考光束路徑中且可將參考光束聚焦在微鏡面上之聚焦機構。該微鏡面之橫方向尺寸不超過由該聚焦機構聚焦在該微鏡面之參考光束中心瓣的約略橫向尺寸。一減低光束中的像差效應之空間過濾器包括位於透明基座的反射鏡，其中該反射鏡面橫方向的大小不超過聚焦在該反射鏡面上之該光束的空間強度分佈的中心瓣之約略橫向大小。本發明亦提供在波前量測係統中過濾一光束的方法。此方法包含聚焦光束、反射該聚焦光束中特別的第一部份、及傳輸該光束的第二部份。

Abstract in simplified Chinese: 一种干涉计包括将源光束分成测试光束及参考光束之分光器、用于侦测参考图样之图像设备、置于该测试光束路径中且可将测试光束朝图像设备反射的镜面、置于该参考光束路径中且可将参考光束朝图像设备反射的微镜面、置于分光器及微镜面之间的参考光束路径中且可将参考光束聚焦在微镜面上之聚焦机构。该微镜面之横方向尺寸不超过由该聚焦机构聚焦在该微镜面之参考光束中心瓣的约略横向尺寸。一减低光束中的像差效应之空间过滤器包括位于透明基座的反射镜，其中该反射镜面横方向的大小不超过聚焦在该反射镜面上之该光束的空间强度分布的中心瓣之约略横向大小。本发明亦提供在波前量测系统中过滤一光束的方法。此方法包含聚焦光束、反射该聚焦光束中特别的第一部份、及传输该光束的第二部份。

公开(公告)号：TW201918448A

公开(公告)日：2019-05-16

申请号：TW107123426

申请日：2018-07-06

Applicant: 日商濱松赫德尼古斯股份有限公司 ,  HAMAMATSU PHOTONICS K.K.

Inventor： 杉本達哉 ,  SUGIMOTO, TATSUYA ,  鈴木智史 ,  SUZUKI, TOMOFUMI ,  港谷恭輔 ,  KOTANI, KYOSUKE

IPC: B81B3/00 ,  G02B26/00 ,  G01J3/45

CPC classification number: B81B3/00 ,  G01J3/45 ,  G02B26/00

Abstract: 本發明之光學裝置具備：彈性支持部，其以可動部能夠沿著第1方向移動之方式支持可動部；第1梳齒電極，其具有複數個第1梳齒；及第2梳齒電極，其具有複數個第2梳齒。彈性支持部具有：扭力棒，其沿著與第1方向垂直之第2方向延伸；及非線性緩和彈簧，其連接於扭力棒與可動部之間。非線性緩和彈簧構成為，於可動部於第1方向移動之狀態下，非線性緩和彈簧繞第2方向之變形量小於扭力棒繞第2方向之變形量，且與第1方向及第2方向垂直之第3方向上之非線性緩和彈簧之變形量大於第3方向上之扭力棒之變形量。相鄰之第1梳齒與第2梳齒係於第2方向上彼此相對。

Abstract in simplified Chinese: 本发明之光学设备具备：弹性支持部，其以可动部能够沿着第1方向移动之方式支持可动部；第1梳齿电极，其具有复数个第1梳齿；及第2梳齿电极，其具有复数个第2梳齿。弹性支持部具有：扭力棒，其沿着与第1方向垂直之第2方向延伸；及非线性缓和弹簧，其连接于扭力棒与可动部之间。非线性缓和弹簧构成为，于可动部于第1方向移动之状态下，非线性缓和弹簧绕第2方向之变形量小于扭力棒绕第2方向之变形量，且与第1方向及第2方向垂直之第3方向上之非线性缓和弹簧之变形量大于第3方向上之扭力棒之变形量。相邻之第1梳齿与第2梳齿系于第2方向上彼此相对。

公开(公告)号：TWI247464B

公开(公告)日：2006-01-11

申请号：TW093116878

申请日：2004-06-11

Applicant: 希瑪股份有限公司 CYMER, INC.

Inventor： 瑞飛克 羅伯特J. RAFAC, ROBERT J.

IPC: H01S ,  G01J

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J1/4257 ,  G01J3/027 ,  G01J3/28 ,  G01J3/45 ,  G01J9/00 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/225

Abstract: 揭示一種控制雷射系統之裝置及方法，包含一分光計，其適用於量測雷射發射光之頻譜之未知帶寬，該分光計可包含一光學帶寬量測單元，其適合提供量測得之參數作為輸入，指示接受量測之未知頻譜帶寬之參數；一參數報告值計算單元，其適合根據下式計算接受量測之頻譜未知帶寬之參數報告值：參數報告值(「RP」)=A*(參數測量值(「MP」))+C，其中RP及MP為不同型參數值，以及A值及C值係基於光學帶寬測量裝置校準時，參數測量值對已知光之參數報告值之回應而測定。光學帶寬量測單元包含干涉計量光學儀器或分散光學儀器，例如標準具。RP可為例如於FWXM，MP可為例如FWX'M，其中X≠X'。 RP可為例如於EX%，以及MP可為例如於FWXM。

Abstract in simplified Chinese: 揭示一种控制激光系统之设备及方法，包含一分光计，其适用于量测激光发射光之频谱之未知带宽，该分光计可包含一光学带宽量测单元，其适合提供量测得之参数作为输入，指示接受量测之未知频谱带宽之参数；一参数报告值计算单元，其适合根据下式计算接受量测之频谱未知带宽之参数报告值：参数报告值(“RP”)=A*(参数测量值(“MP”))+C，其中RP及MP为不同型参数值，以及A值及C值系基于光学带宽测量设备校准时，参数测量值对已知光之参数报告值之回应而测定。光学带宽量测单元包含干涉计量光学仪器或分散光学仪器，例如标准具。RP可为例如于FWXM，MP可为例如FWX'M，其中X≠X'。 RP可为例如于EX%，以及MP可为例如于FWXM。

公开(公告)号：TW200507391A

公开(公告)日：2005-02-16

申请号：TW093116878

申请日：2004-06-11

Applicant: 希瑪股份有限公司 CYMER, INC.

Inventor： 瑞飛克 羅伯特J. RAFAC, ROBERT J.

IPC: H01S ,  G01J

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J1/4257 ,  G01J3/027 ,  G01J3/28 ,  G01J3/45 ,  G01J9/00 ,  H01S3/1305 ,  H01S3/225

Abstract: 揭示一種控制雷射系統之裝置及方法，包含一分光計，其適用於量測雷射發射光之頻譜之未知帶寬，該分光計可包含一光學帶寬量測單元，其適合提供量測得之參數作為輸入，指示接受量測之未知頻譜帶寬之參數；一參數報告值計算單元，其適合根據下式計算接受量測之頻譜未知帶寬之參數報告值：參數報告值(「RP」)＝A*(參數測量值(「MP」))＋C，其中RP及MP為不同型參數值，以及A值及C值係基於光學帶寬測量裝置校準時，參數測量值對已知光之參數報告值之回應而測定。光學帶寬量測單元包含干涉計量光學儀器或分散光學儀器，例如標準具。RP可為例如於FWXM，MP可為例如FWX’M，其中X≠X’。RP可為例如於EX％，以及MP可為例如於FWXM。

Abstract in simplified Chinese: 揭示一种控制激光系统之设备及方法，包含一分光计，其适用于量测激光发射光之频谱之未知带宽，该分光计可包含一光学带宽量测单元，其适合提供量测得之参数作为输入，指示接受量测之未知频谱带宽之参数；一参数报告值计算单元，其适合根据下式计算接受量测之频谱未知带宽之参数报告值：参数报告值(“RP”)＝A*(参数测量值(“MP”))＋C，其中RP及MP为不同型参数值，以及A值及C值系基于光学带宽测量设备校准时，参数测量值对已知光之参数报告值之回应而测定。光学带宽量测单元包含干涉计量光学仪器或分散光学仪器，例如标准具。RP可为例如于FWXM，MP可为例如FWX’M，其中X≠X’。RP可为例如于EX％，以及MP可为例如于FWXM。

公开(公告)号：TW200504340A

公开(公告)日：2005-02-01

申请号：TW093117938

申请日：2004-06-21

Applicant: 希瑪股份有限公司 CYMER, INC.

Inventor： 瑞飛克 羅伯特J. RAFAC, ROBERT J.

IPC: G01J

CPC classification number: G01J1/4257 ,  G01J1/0228 ,  G01J3/02 ,  G01J3/027 ,  G01J3/28 ,  G01J3/45

Abstract: 揭露一種用以測量從一雷射所發出之光線的帶寬之方法與裝置，其能夠包含：一第一與第二波長敏感光學帶寬偵測器，其分別提供一代表一第一參數之輸出(其係為該發出光線分別藉由該第一與第二帶寬偵測器所偵測的帶寬)、以及一實際帶寬計算裝置，其適合使用這兩個輸出，作為一利用特別用於該第一或第二帶寬偵測器之預定校正變數的多重變數線性方程式，以便計算出一第一實際帶寬參數或是一第二實際帶寬參數。該第一實際帶寬參數可為最大值之某百分比的全寬(FWXM)，且該第二實際帶寬參數可為包含能量之某百分比的一部分(EX)。該第一與第二帶寬偵測器可為一標準具，且該等輸出可為個別標準具在FWXM之一光學輸出的波紋之一波紋寬度的代表。該等預先計算的校正變數能夠從個別的三維標繪圖所導出，該等標繪圖分別表示偵測器對於一具有已知數值之第一與第二實際帶寬參數(其可為FWXM與EX)的校正輸入光線之輸出。該第一／第二三維標繪圖能夠提供一解式：(第一／第二輸出)＝(a／d^﹡(校正輸入光線已知數值的FWXM))＋(b／e^﹡(校正輸入光線已知數值的EX))＋c／f；且該實際帶寬計算裝置能夠使用導出的方程式：(第一實際帶寬參數)＝((b^﹡(第二輸出))–(e^﹡(第一輸出))＋ce–bf)／(bd–ae)，或是方程式：(第二實際帶寬參數)＝((a^﹡(第二輸出))–(d^﹡(第一輸出))＋cd–af)／(ae–bd)。FWXM可為FWHM，且EX可為E95。該第一光學帶寬偵測器之轉換函數能夠選擇成對於FWXM比對於EX更為敏感，且該第二光學帶寬偵測器之轉換函數能夠選擇成對於EX比對於FWXM更為敏感。

Abstract in simplified Chinese: 揭露一种用以测量从一激光所发出之光线的带宽之方法与设备，其能够包含：一第一与第二波长敏感光学带宽侦测器，其分别提供一代表一第一参数之输出(其系为该发出光线分别借由该第一与第二带宽侦测器所侦测的带宽)、以及一实际带宽计算设备，其适合使用这两个输出，作为一利用特别用于该第一或第二带宽侦测器之预定校正变量的多重变量线性方进程，以便计算出一第一实际带宽参数或是一第二实际带宽参数。该第一实际带宽参数可为最大值之某百分比的全宽(FWXM)，且该第二实际带宽参数可为包含能量之某百分比的一部分(EX)。该第一与第二带宽侦测器可为一标准具，且该等输出可为个别标准具在FWXM之一光学输出的波纹之一波纹宽度的代表。该等预先计算的校正变量能够从个别的三维标绘图所导出，该等标绘图分别表示侦测器对于一具有已知数值之第一与第二实际带宽参数(其可为FWXM与EX)的校正输入光线之输出。该第一／第二三维标绘图能够提供一解式：(第一／第二输出)＝(a／d^﹡(校正输入光线已知数值的FWXM))＋(b／e^﹡(校正输入光线已知数值的EX))＋c／f；且该实际带宽计算设备能够使用导出的方进程：(第一实际带宽参数)＝((b^﹡(第二输出))–(e^﹡(第一输出))＋ce–bf)／(bd–ae)，或是方进程：(第二实际带宽参数)＝((a^﹡(第二输出))–(d^﹡(第一输出))＋cd–af)／(ae–bd)。FWXM可为FWHM，且EX可为E95。该第一光学带宽侦测器之转换函数能够选择成对于FWXM比对于EX更为敏感，且该第二光学带宽侦测器之转换函数能够选择成对于EX比对于FWXM更为敏感。

公开(公告)号：EP4399498A1

公开(公告)日：2024-07-17

申请号：EP22778160.6

申请日：2022-09-07

Applicant: SI-Ware Systems

Inventor： SHENOUDA, Botros George Iskander ,  ZEINAH, Tarek Mohamed ,  MORTADA, Bassem ,  SABRY, Yasser M. ,  SAADANY, Bassam ,  ABUELNAGA, Hussien ,  GAD SEIF, Mina ,  SADEK RADWAN, Mohamed ,  AL-HARON, Mohamed H. ,  MEDHAT, Mostafa ,  EL-ARABAWY, Mohamed

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/45 ,  G01N21/47 ,  G01N21/35

CPC classification number: G01J3/0202 ,  G01J3/0272 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/0297 ,  G01J3/45 ,  G01N2021/359520130101 ,  G01N21/4738 ,  G01N2201/022120130101 ,  G01N21/274 ,  G01N21/276 ,  G01N21/278 ,  G01N21/3563

公开(公告)号：EP3637069B1

公开(公告)日：2024-07-03

申请号：EP18813792.1

申请日：2018-06-06

IPC: G01J3/45 ,  G01J3/433 ,  G01N21/31 ,  G02F1/365 ,  G01J3/453 ,  G01J3/443 ,  G01J3/28

CPC classification number: G01J3/433 ,  G01J3/45 ,  G01N21/31 ,  G02F1/365 ,  G01J3/4531 ,  G01J2003/287920130101 ,  G01J3/443 ,  G01J2003/453420130101

公开(公告)号：EP2943780B1

公开(公告)日：2024-06-05

申请号：EP14700112.7

申请日：2014-01-09

IPC: G01N21/85

CPC classification number: G01N21/85 ,  G01N21/8507 ,  G01J3/45 ,  G01N21/45