Abstract in simplified Chinese:所揭示系一种可测量一激光所发出而输入至其带宽计之光波的光谱之带宽的带宽计量方法和设备,其可包括:一光学带宽监视器,其可提供一可表示一指示其激光所发出之光波的带宽之第一参数的第一输出,和一可表示一指示其激光所发出之光波的带宽之第二参数的第二输出;和一实际带宽计算设备,其可利用其第一输出和第二输出,作为一采用一些专属其光学带宽监视器之预定校正变量的多变量方进程的一部份,来计算一实际之带宽参数。此实际之带宽参数,可为其激光所发出之光波的光谱之全宽度内的某一百分比最大值下的光谱全宽度(“FWXM”),或为一在其光谱上面之两点间的宽度(“EX”),其系包围上述激光所发出之光波的光谱之全频谱的某一百分比之能量。其带宽监视器,可由一标准具所构成,以及其第一输出系表示此标准具之光学输出的条纹在FWXM下之宽度或其光谱上面包围上述激光所发出之光波的全频谱之某一百分比能量的两点间之宽度(“EX”)中的至少一个,以及其第二输出系表示一第二FWX”M或EX”’中的至少一个,其中X≠X”及X’≠X”’。其预先计算之校正变量,可导自其实际带宽参数值利用一与一校正光谱有关之第一和第二输出的发生相关联之可靠标准的测量。其实际带宽参数之值,系计算自方进程:估测之实际BW参数=K^﹡w1+L^﹡w2+M,其中,w1=FWXM或EX’之第一测得输出表示值,以及w2为FWX”M或EX”’之第二测得输出表示值。此种设备和方法,可在一激光平版印刷光源中,及/或在一集成电路平版印刷工具中,加以具现。
Abstract in simplified Chinese:一种干涉计包括将源光束分成测试光束及参考光束之分光器、用于侦测参考图样之图像设备、置于该测试光束路径中且可将测试光束朝图像设备反射的镜面、置于该参考光束路径中且可将参考光束朝图像设备反射的微镜面、置于分光器及微镜面之间的参考光束路径中且可将参考光束聚焦在微镜面上之聚焦机构。该微镜面之横方向尺寸不超过由该聚焦机构聚焦在该微镜面之参考光束中心瓣的约略横向尺寸。一减低光束中的像差效应之空间过滤器包括位于透明基座的反射镜,其中该反射镜面横方向的大小不超过聚焦在该反射镜面上之该光束的空间强度分布的中心瓣之约略横向大小。本发明亦提供在波前量测系统中过滤一光束的方法。此方法包含聚焦光束、反射该聚焦光束中特别的第一部份、及传输该光束的第二部份。
Abstract in simplified Chinese:本发明之光学设备具备:弹性支持部,其以可动部能够沿着第1方向移动之方式支持可动部;第1梳齿电极,其具有复数个第1梳齿;及第2梳齿电极,其具有复数个第2梳齿。弹性支持部具有:扭力棒,其沿着与第1方向垂直之第2方向延伸;及非线性缓和弹簧,其连接于扭力棒与可动部之间。非线性缓和弹簧构成为,于可动部于第1方向移动之状态下,非线性缓和弹簧绕第2方向之变形量小于扭力棒绕第2方向之变形量,且与第1方向及第2方向垂直之第3方向上之非线性缓和弹簧之变形量大于第3方向上之扭力棒之变形量。相邻之第1梳齿与第2梳齿系于第2方向上彼此相对。
Simplified title:用以测量极小波长极窄带宽高功率激光之光学频谱输出之带宽的方法及设备 METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING BANDWIDTH OF AN OPTICAL SPECTRUM OUTPUT OF A VERY SMALL WAVELENGTH VERY NARROW BANDWIDTH HIGH POWER LASER
Abstract in simplified Chinese:揭示一种控制激光系统之设备及方法,包含一分光计,其适用于量测激光发射光之频谱之未知带宽,该分光计可包含一光学带宽量测单元,其适合提供量测得之参数作为输入,指示接受量测之未知频谱带宽之参数;一参数报告值计算单元,其适合根据下式计算接受量测之频谱未知带宽之参数报告值:参数报告值(“RP”)=A*(参数测量值(“MP”))+C,其中RP及MP为不同型参数值,以及A值及C值系基于光学带宽测量设备校准时,参数测量值对已知光之参数报告值之回应而测定。光学带宽量测单元包含干涉计量光学仪器或分散光学仪器,例如标准具。RP可为例如于FWXM,MP可为例如FWX'M,其中X≠X'。 RP可为例如于EX%,以及MP可为例如于FWXM。
Simplified title:用以测量极小波长极窄带宽高功率激光之光学频谱输出之带宽的方法及设备 METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING BANDWIDTH OF AN OPTICAL SPECTRUM OUTPUT OF A VERY SMALL WAVELENGTH VERY NARROW BANDWIDTH HIGH POWER LASER
Abstract in simplified Chinese:揭示一种控制激光系统之设备及方法,包含一分光计,其适用于量测激光发射光之频谱之未知带宽,该分光计可包含一光学带宽量测单元,其适合提供量测得之参数作为输入,指示接受量测之未知频谱带宽之参数;一参数报告值计算单元,其适合根据下式计算接受量测之频谱未知带宽之参数报告值:参数报告值(“RP”)=A*(参数测量值(“MP”))+C,其中RP及MP为不同型参数值,以及A值及C值系基于光学带宽测量设备校准时,参数测量值对已知光之参数报告值之回应而测定。光学带宽量测单元包含干涉计量光学仪器或分散光学仪器,例如标准具。RP可为例如于FWXM,MP可为例如FWX’M,其中X≠X’。RP可为例如于EX%,以及MP可为例如于FWXM。
Abstract in simplified Chinese:揭露一种用以测量从一激光所发出之光线的带宽之方法与设备,其能够包含:一第一与第二波长敏感光学带宽侦测器,其分别提供一代表一第一参数之输出(其系为该发出光线分别借由该第一与第二带宽侦测器所侦测的带宽)、以及一实际带宽计算设备,其适合使用这两个输出,作为一利用特别用于该第一或第二带宽侦测器之预定校正变量的多重变量线性方进程,以便计算出一第一实际带宽参数或是一第二实际带宽参数。该第一实际带宽参数可为最大值之某百分比的全宽(FWXM),且该第二实际带宽参数可为包含能量之某百分比的一部分(EX)。该第一与第二带宽侦测器可为一标准具,且该等输出可为个别标准具在FWXM之一光学输出的波纹之一波纹宽度的代表。该等预先计算的校正变量能够从个别的三维标绘图所导出,该等标绘图分别表示侦测器对于一具有已知数值之第一与第二实际带宽参数(其可为FWXM与EX)的校正输入光线之输出。该第一/第二三维标绘图能够提供一解式:(第一/第二输出)=(a/d^﹡(校正输入光线已知数值的FWXM))+(b/e^﹡(校正输入光线已知数值的EX))+c/f;且该实际带宽计算设备能够使用导出的方进程:(第一实际带宽参数)=((b^﹡(第二输出))–(e^﹡(第一输出))+ce–bf)/(bd–ae),或是方进程:(第二实际带宽参数)=((a^﹡(第二输出))–(d^﹡(第一输出))+cd–af)/(ae–bd)。FWXM可为FWHM,且EX可为E95。该第一光学带宽侦测器之转换函数能够选择成对于FWXM比对于EX更为敏感,且该第二光学带宽侦测器之转换函数能够选择成对于EX比对于FWXM更为敏感。