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    固体の空準位測定方法及び装置
    284.
    发明专利
    固体の空準位測定方法及び装置 有权
    检查固体水平测量方法和装置

    公开(公告)号：JPWO2013129390A1

    公开(公告)日：2015-07-30

    申请号：JP2014502245

    申请日：2013-02-26

    Applicant: 国立大学法人京都大学

    Inventor： 吉田　弘幸 ,  弘幸 吉田

    IPC: G01N21/62

    CPC classification number: G01J3/30 ,  G01J3/443 ,  G01N21/66 ,  G01N23/2251 ,  G01N2223/08 ,  H01J37/06

    Abstract: 電子線の運動エネルギー(加速エネルギー)を0−5 eVの範囲で順次変化させつつ、その間にそれを照射された有機半導体等の固体試料から放出される180−700 nmの近紫外光・可視光の強度を測定することによりスペクトルを得る。このスペクトルから山を検出し、そのエネルギーを該試料の空準位エネルギーとする。特に、最初の山の立ち上がり箇所のエネルギーがその試料の電子親和エネルギー(電子親和力)を表す。試料に照射する電子線のエネルギーが5 eV以下であるため、有機半導体試料であってもほとんど損傷がない。

    Abstract translation: 而电子束的动能（加速能量）在0-5电子伏特的范围内依次变化，近紫外光，从有机半导体的固体样品或其中被照射它其间等发射的可见光180-700纳米 获得由所述测量的强度的光谱。 山这个光谱检测，样品的能量的一个空的水平能量。 具体地，能量的电子亲和能量采样第一山（电子亲和力）的上升部分。 由于电子束的能量，以在样品上照射是5电子伏特或更小，很少有损伤是有机半导体样品。

    Spectrometer, and optical measurement device
    287.
    发明专利
    Spectrometer, and optical measurement device 有权
    光谱仪和光学测量装置

    公开(公告)号：JP2014059319A

    公开(公告)日：2014-04-03

    申请号：JP2013245438

    申请日：2013-11-27

    Applicant: Imagineering Inc ,  イマジニアリング株式会社

    Inventor： IKEDA YUJI

    IPC: G01J3/443 ,  G01J3/18 ,  G01J3/36

    CPC classification number: G01J3/18 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0216 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0229 ,  G01J3/0294 ,  G01J3/2803 ,  G01J3/36 ,  G01J3/443

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a spectrometer that can be easily manufactured, can be downsized, and can achieve a high wavelength resolution in a specific wavelength band.SOLUTION: The spectrometer includes: a diffraction grating 331 for deflecting and dividing incident light in different directions in accordance with wavelength; at least one optical element 332a that receives the light having passed through the diffraction grating 331 and diffuses the light; and a line sensor 333 for receiving the light having passed through the optical element 332a. Only the light in a specific wavelength band coming into the line sensor 333 is selectively expanded and received.

    Abstract translation: 要解决的问题：提供可以容易地制造的光谱仪，可以缩小尺寸，并且可以在特定的波长带中实现高波长分辨率。解决方案：光谱仪包括：衍射光栅331，用于将不同的入射光偏转和分割 方向按照波长; 至少一个光学元件332a，其接收已经通过衍射光栅331的光并且漫射光; 以及用于接收已经通过光学元件332a的光的线传感器333。 只有进入线传感器333的特定波长带中的光被选择性地扩展和接收。

    分析装置及び分析方法
    288.
    发明专利
    分析装置及び分析方法 有权

    公开(公告)号：JPWO2012036137A1

    公开(公告)日：2014-02-03

    申请号：JP2012534003

    申请日：2011-09-12

    Applicant: イマジニアリング株式会社

    Inventor： 池田　裕二 ,  裕二 池田

    IPC: G01N21/63 ,  G01N21/67 ,  G01N21/68

    CPC classification number: G01N21/73 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0294 ,  G01J3/443 ,  G01N21/68 ,  G01N21/718

    Abstract: 分析装置は、プラズマ生成装置と光分析装置とを備えている。プラズマ生成装置は、分析対象物質にエネルギーを瞬間的に与えて分析対象物質をプラズマ状態にした初期プラズマを生成し、初期プラズマに電磁波を所定の時間に亘って照射してプラズマ状態を維持する。そして、光分析装置が、初期プラズマの発光強度のピークから、電磁波により維持される電磁波プラズマにより発光強度が増加して概ね一定値に達するまでの発光強度に関する情報、又は電磁波の照射を停止した後の発光強度の情報を用いて分析対象物質を同定する。

    プラズマ電子温度の測定方法および装置
    289.
    发明专利
    プラズマ電子温度の測定方法および装置 有权

    公开(公告)号：JPWO2008123186A1

    公开(公告)日：2010-07-15

    申请号：JP2008551370

    申请日：2008-03-24

    Applicant: 三井造船株式会社

    Inventor： 一樹 滝澤 ,  一樹 滝澤

    IPC: H05H1/00 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065

    CPC classification number: H05H1/0043 ,  G01J3/443 ,  H01J37/32926 ,  H01J37/32954 ,  H01J37/32972

    Abstract: ヘリウムガスの準安定状態の原子を励起させる波長のレーザ光を、生成したプラズマに照射して、準安定状態の原子を励起させ、レーザ光の吸収量を表す吸収量情報を取得し、吸収量情報に基いて、プラズマ中におけるヘリウムガスの準安定状態の原子の密度を算出する。加えて、プラズマ中における、ヘリウムガスの異なる2つの励起状態からの下位準位遷移過程それぞれによる各発光を計測し、各発光の発光強度比を求める。その後、算出したヘリウムガスの準安定状態の原子の密度と、発光強度比とに基いて、生成したプラズマの電子温度を算出する。これにより、プラズマ雰囲気の条件によらず比較的高い精度で、プラズマの電子温度を算出することができる。

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