公开(公告)号：TWI628979B

公开(公告)日：2018-07-01

申请号：TW103109059

申请日：2014-03-13

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 維斯晨庫 喬治O ,  VASCHENKO, GEORGIY O. ,  包姆加特 彼得M ,  BAUMGART, PETER M. ,  加庫坦 傑佛瑞 ,  GACUTAN, JEFFREY ,  亞哥特斯 J 馬丁 ,  ALGOTS, J. MARTIN ,  塞比斯 索德斯 ,  SYRPIS, THEODOSIOS ,  雷吉言古魯 奇拉格 ,  RAJYAGURU, CHIRAG ,  賽沙吉里 珊吉夫 ,  SESHAGIRI, SANJEEV

IPC: H05G2/00 ,  G03F7/20

公开(公告)号：TWI626512B

公开(公告)日：2018-06-11

申请号：TW101139544

申请日：2012-10-25

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 瑞真 瑪尼許 ,  RANJAN, MANISH ,  魯吉坦 卡羅 ,  LUIJTEN, CARLO ,  簡森 法蘭西瑟斯 喬漢那斯 約瑟夫 ,  JANSSEN, FRANCISCUS JOHANNES JOSEPH ,  卓尼索夫 馬克西姆 ,  CHERNYSHOV, MAKSYM

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：TWI625610B

公开(公告)日：2018-06-01

申请号：TW105129094

申请日：2016-09-08

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 奎恩斯 瑞尼 馬利奈斯 吉拉杜斯 喬翰 ,  QUEENS, RENE MARINUS GERARDUS JOHAN ,  東克波爾克 艾倫德 喬漢思 ,  DONKERBROEK, AREND JOHANNES ,  安德利希歐拉 彼多 ,  ANDRICCIOLA, PIETRO ,  凡 威斯特 艾伍德 法蘭克 ,  VAN WEST, EWOUD FRANK

IPC: G03F9/00

公开(公告)号：TWI623820B

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：TW105138182

申请日：2016-11-22

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 巴特勒 漢司 ,  BUTLER, HANS ,  費爾莫默朗 約翰內斯 佩特魯斯 馬丁努斯 伯納德斯 ,  VERMEULEN, JOHANNES PETRUS MARTINUS BERNARDUS ,  凡 德 派希 英格伯特斯 安東尼斯 法蘭西斯寇斯 ,  VAN DER PASCH, ENGELBERTUS ANTONIUS FRANSISCUS

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：TWI621925B

公开(公告)日：2018-04-21

申请号：TW104123583

申请日：2015-07-21

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 波列特 喜爾多爾斯 威爾赫瑪斯 ,  POLET, THEODORUS WILHELMUS ,  巴賽曼 喬納斯 喬可巴斯 麥修斯 ,  BASELMANS, JOHANNES JACOBUS MATHEUS ,  包曼 維廉 振 ,  BOUMAN, WILLEM JAN ,  廉碧司 韓 亨利克斯 亞德恭達 ,  LEMPENS, HAN HENRICUS ALDEGONDA ,  瑪德曼 賽多斯 瑪里納斯 ,  MODDERMAN, THEODORUS MARINUS ,  羅伯茲 康納利 馬利亞 ,  ROPS, CORNELIUS MARIA ,  史密特斯 巴特 ,  SMEETS, BART ,  史帝芬 柯恩 ,  STEFFENS, KOEN ,  凡 德 翰 羅納德 ,  VAN DER HAM, RONALD

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70866 ,  G03F7/70341 ,  G03F7/7095

公开(公告)号：TWI620993B

公开(公告)日：2018-04-11

申请号：TW103135087

申请日：2014-10-08

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 范 賀蒙 馬卓恩 配特思 克力司提安斯 ,  VAN HEUMEN, MARTIJN PETRUS CHRISTIANUS

IPC: G03F7/20 ,  H05G2/00

CPC classification number: H05H1/24 ,  G01B2210/56 ,  G01N21/71 ,  G01N21/956 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/068 ,  G03F7/70016 ,  G03F7/70575 ,  G03F7/70616 ,  G03F7/70916 ,  H01J61/34 ,  H01J61/40 ,  H01J65/04

公开(公告)号：TWI620033B

公开(公告)日：2018-04-01

申请号：TW105107234

申请日：2016-03-09

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 劉 鵬 ,  LIU, PENG

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70608 ,  G03F7/705

公开(公告)号：TWI620007B

公开(公告)日：2018-04-01

申请号：TW105144086

申请日：2016-12-30

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 泰爾 溫 提波 ,  TEL, WIM TJIBBO ,  瓦倫 湯瑪士 I ,  WALLOW, THOMAS I.

IPC: G03F1/70 ,  H01L21/027 ,  G06F17/50

CPC classification number: G03F1/36 ,  G03F1/80 ,  G06F17/5068 ,  G06F2217/12 ,  H01L21/0334

公开(公告)号：TWI618989B

公开(公告)日：2018-03-21

申请号：TW103135088

申请日：2014-10-08

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 巴特勒 漢斯 ,  BUTLER, HANS ,  卡米迪 雷米丁 伊薩爾 ,  KAMIDI, RAMIDIN IZAIR ,  卡紗彌蘇 雅妮 ,  KASEMSINSUP, YANIN

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: G03F7/70775 ,  G01B9/02 ,  G01B11/002 ,  G03F7/70725

公开(公告)号：TWI618986B

公开(公告)日：2018-03-21

申请号：TW101110205

申请日：2008-06-24

Applicant: ASML荷蘭公司 ,  ASML NETHERLANDS B. V.

Inventor： 耐田諾 史多元 ,  NIHTIANOV, STOYAN ,  凡 德 席斯 亞銳 喬翰 ,  VAN DER SIJS, ARIE JOHAN ,  莫斯特 畢瑞其 ,  MOEST, BEARRACH ,  凱普 派特羅 威爾默思 喬瑟芬 瑪莉亞 ,  KEMPER, PETRUS WILHELMUS JOSEPHUS MARIA ,  哈斯特 馬克 安東尼斯 瑪利雅 ,  HAAST, MARC ANTONIUS MARIA ,  巴斯 婕拉德斯 威廉瑪斯 珮特拉斯 ,  BAAS, GERARDUS WILHELMUS PETRUS ,  妮佛 麗絲 卡倫 ,  NANVER, LIS KAREN ,  薩魯比 法蘭西斯克 ,  SARUBBI, FRANCESCO ,  史喬爾 安東尼斯 安卓雅 尤漢尼斯 ,  SCHUWER, ANTONIUS ANDREAS JOHANNES ,  果摩侖 葛雷克利 米恰 ,  GOMMEREN, GREGORY MICHA ,  帕特 馬特捷 ,  POT, MARTIJN ,  史考特斯 湯瑪士 路德維西斯 馬里亞 ,  SCHOLTES, THOMAS LUDOVICUS MARIA

IPC: G03F7/20 ,  H01L31/103

CPC classification number: H01L31/103 ,  G03F7/7085 ,  G03F7/70958 ,  H01L31/02161 ,  H01L31/022408 ,  H01L31/022416 ,  H01L31/1185 ,  H01L31/1804 ,  Y02E10/547