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公开(公告)号：CN221124778U
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202322563891.9
申请日：2023-09-20
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01R31/28
Abstract: 本实用新型提供一种用于芯片中测的四自由度装置，该装置包括机架、十字运动平台、升降平台、微动转台、芯片固定模块、探针固定模块以及摄像模块，所述十字运动平台设置在所述机架上，用于实现待测芯片在XY方向平移运动；所述升降平台设置在所述十字运动平台上，用于实现待测芯片在Z向的平移升降运动；所述微动转台设置在所述升降平台上，用于实现待测芯片绕Z方向旋转运动；所述芯片固定模块设置在所述微动转台上，用于存放整个待测芯片；所述探针固定模块固定在所述机架上，用于固定探针测试电路；所述摄像模块固定在所述机架上，用于待测芯片的图像识别。该技术方案实现了敏感芯片的快速对准，大大提升了敏感结构缺陷的识别效率。
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