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公开(公告)号：CN113791241B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202110913158.8
申请日：2021-08-10
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/097
Abstract: 本发明提供了一种敏感组件应力消除结构及具有其的振梁加速度计，该结构包括应力消除主体单元、第一和第二应力释放外环，应力消除主体单元具有振梁阻尼腔和摆挠性支撑阻尼腔，振梁阻尼腔与摆挠性支撑阻尼腔呈夹角设置，振梁阻尼腔用于容纳设置振梁叉指组件，摆挠性支撑阻尼腔用于容纳设置摆挠性支撑组件，第一和第二应力释放外环均设置在应力消除主体单元的周缘，第一和第二应力释放外环之间形成应力释放腔。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中振梁加速度计的力学环境适应性差、热学环境适应性差以及输出对称性差的技术问题。
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公开(公告)号：CN119986043A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202411959667.4
申请日：2024-12-30
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供一种MEMS加速度计测控与补偿电路，所述电路包括ARM芯片、载波发生模块、电荷放大器、前置放大器、A/D转换模块、解调滤波模块以及综合补偿模块；其中，利用ARM芯片控制载波发生模块，生成满足要求的数字合成正弦波；载波发生模块作用于MEMS加速度计上，加速度计敏感到的加速度信息被调制在载波发生模块中产生的正弦载波上，信号经过电荷放大器转换为电压信号，再经过前置放大变成强信号，该强信号被ARM芯片控制的A/D转换模块转换为数字信号，数字信号经过解调滤波模块后，经过综合补偿模块，得到最终的加速度输出。该方案可以根据不同的加速度计表头补偿各类误差，使得加速度计能够在一定的量程范围内稳定输出。
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公开(公告)号：CN119827798A
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202411943489.6
申请日：2024-12-27
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明提供一种MEMS加速度计标度因数批量化测试装置及方法，装置包括离心机和多个测试工装，离心机具有离心机圆盘，多个测试工装沿离心机圆盘的周向均匀间隔设置在圆盘面上，其中，每两个对称测试工装为一组，测试工装包括：固定底板、测试电路转接工装、加速度计固定装置和测试电路板，固定底板固定设置在圆盘上，测试电路转接工装为两个，对称间隔固定在固定底板上，测试电路板固定设置在两个转接工装上，加速度计通过加速度计固定装置设置在测试电路板上并与测试电路板电气联结。本发明通过使用特定的批量测试工装和计算方法，同时完成多只加速度计的标度因数对称性测试。
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公开(公告)号：CN117949012A
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202311828547.6
申请日：2023-12-27
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供一种基于ARM的MEMS器件标度因数补偿系统，该系统包括ARM芯片、A/D转换模块、标度因数补偿模块和标准信息输出模块，其中，所述ARM芯片控制所述A/D转换模块采集MEMS器件未补偿前输出的传感器信息，并将该传感器信息采集进入ARM芯片，所述A/D转换模块将传感器信息转换之后输出至所述标度因数补偿模块，所述标准信息输出模块输出加速度/角速率标准信息至所述标度因数补偿模块，所述标度因数补偿模块根据其输入进行标度因数补偿。该技术方案可以根据不同的MEMS器件类型修正其标度因数误差，使得在MEMS器件规定的工作温度范围内标度因数能够满足要求的误差范围。
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公开(公告)号：CN116448141A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202211163273.9
申请日：2022-09-23
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明提供一种惯性仪表震荡元件多模态及Q值测试方法及系统，包括：输出白噪声至测试电路以激励震荡元件，并采集对应的输出信号；对输出信号进行FFT处理；当提取到谐振频率信息时，则输出频率为谐振频率的正弦信号至测试电路以激励使震荡元件使其发生谐振；在谐振状态达到稳定后撤掉正弦信号；采集撤掉正弦信号后输出的自由衰减信号；根据自由衰减信号获取Q值；切换测试通道，重复步骤，测试另一模态的Q值。该技术方案通过非扫频方法及自动化测试，先测谐振频率再测Q值，可有效减少测试时间，快速对表头性能进行初步评价和筛选。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114994362B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202210620692.4
申请日：2022-06-02
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/08 , G01P15/125 , G01P21/00
Abstract: 本发明提供了一种Z轴加速度计敏感结构及Z轴加速度计，包括衬底和至少一个加速度计敏感结构组，加速度计敏感结构组包括两个加速度计敏感子结构，任一子结构均包括敏感质量块组、第一、第二偏置质量块、第一、第二弹簧支撑梁、第一、第二锚点单元、第一和第二极板，第一弹簧支撑梁分别与敏感质量块组的一侧以及第一锚点单元连接，第二弹簧支撑梁分别与敏感质量块组的另一侧以及第二锚点单元连接，第一偏置质量块与第二敏感质量块的一侧连接，第二偏置质量块与第二敏感质量块的另一侧连接，第一、第二极板与第一、第二敏感质量块一一相对设置。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中Z轴加速度计零偏的稳定性和重复性差、滞回大的技术问题。
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公开(公告)号：CN115865096A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202211356551.2
申请日：2022-11-01
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: H03M3/00
Abstract: 本发明提供了一种分立式Sigma‑delta电路，该电路包括FPGA芯片、高速开关、载波发生模块以及依次连接的电荷转移模块、前置放大电路、A/D转换单元和解调滤波单元，FPGA芯片分别与高速开关、A/D转换单元和解调滤波单元连接，高速开关分别与载波发生模块、前置放大电路和电荷转移模块连接，载波发生模块与MEMS加速度计的输入端连接，电荷转移模块与MEMS加速度计的输出端连接。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中流片开发周期长、改造难度大并受模拟器件适配影响导致误差较大的技术问题。
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公开(公告)号：CN115728517A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202211423060.5
申请日：2022-11-14
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明提供一种加速度计免标定非线性测量工装及装置。该测量工装包括：转接底座；平面轴向测试安装板和Z轴测试安装板，均拆卸地设置在所述转接底座上并且不同时与转接底座连接，并且在需要进行平面轴向测试时，所述平面轴向测试安装板与转接底座连接；在需要进行Z轴测试时，所述Z轴测试安装板与转接底座连接；测试电路安装板；所述测试电路安装板固定安装在所述转接底座上，所述测试电路安装板具有镂空通孔c，沿所述镂空通孔c周向具有多个测试电路板安装孔，测试电路板通过所述测试电路板安装孔固定在所述测试电路板上。该工装具有可替换性、免重复标定特性，使得测试流程得以简化，极大的提高了测试效率，且精度得以提高。
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公开(公告)号：CN115728517B
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202211423060.5
申请日：2022-11-14
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明提供一种加速度计免标定非线性测量工装及装置。该测量工装包括：转接底座；平面轴向测试安装板和Z轴测试安装板，均拆卸地设置在所述转接底座上并且不同时与转接底座连接，并且在需要进行平面轴向测试时，所述平面轴向测试安装板与转接底座连接；在需要进行Z轴测试时，所述Z轴测试安装板与转接底座连接；测试电路安装板；所述测试电路安装板固定安装在所述转接底座上，所述测试电路安装板具有镂空通孔c，沿所述镂空通孔c周向具有多个测试电路板安装孔，测试电路板通过所述测试电路板安装孔固定在所述测试电路板上。该工装具有可替换性、免重复标定特性，使得测试流程得以简化，极大的提高了测试效率，且精度得以提高。
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公开(公告)号：CN117589140A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311219341.3
申请日：2023-09-20
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C19/5621
Abstract: 本发明提供一种陀螺敏感结构模态配置方法，包括一、获取敏感结构的模态分布，将驱动和检测模态固有频率均提高至大于设定倍数的环境干扰振动的频率；二、设计同步耦合杠杆以提高同向运动模态，以使同向运动模态频率均高于驱动和检测模态固有频率的设定大小；三、调整驱动模态与检测模态分别是第一阶模态与第二阶模态；四、调整驱动和检测关键弹簧梁参数，在模态匹配状态下，使驱动模态的固有频率等于检测模态的固有频率；在非模态匹配状态下，使检测模态的固有频率要高于驱动模态固有频率的设定大小。本发明能够快速、全面且有效的完成陀螺敏感结构模态配置，使得陀螺工作能够在理想的频率上，提高微机械陀螺结构的环境适应性。
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