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公开(公告)号：CN119038487A
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202411142677.9
申请日：2024-08-20
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明提供一种高真空封装方法，所述封装方法由于没有镀制保护层，不需要吸气剂高温激活，同时吸气剂在加工完成后没有暴露过大气，未吸附大气中的水汽等杂质气体，提高了器件封装的真空度，减少了器件内部的杂质气体，提高了器件的封装真空度及保持时间，提高了器件的封装可靠性。
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公开(公告)号：CN117961366A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202311644662.8
申请日：2023-12-04
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: B23K37/00
Abstract: 本发明提供一种用于MEMS器件的快速封焊装置，该装置包括温控模块；石墨工装；压力控制系统，包括配重支撑板，与多个定位槽一一对应设置的多个配重柱，与多个配重柱一一对应设置的多个弹性件和弧形阵列盖板组件，多个配重柱均穿设在所述配重支撑板上，多个配重柱与多个MEMS器件一一对应设置，任意所述配重柱上开设有空腔，所述弹性件放置在对应空腔内，所述弧形阵列盖板组件由弧形阵列盖板和多个施力柱组成，所述弧形阵列盖板凸起的一面朝向所述配重柱设置，多个施力柱设置在所述弧形阵列盖板凸起的一面上，且由中心向外围，所述施力柱的长度呈增大趋势；多个施力柱与多个配重柱一一对应设置，所述施力柱置于对应配重柱空腔内，以对弹性件施加压力。
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公开(公告)号：CN116886047A
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202310706253.X
申请日：2023-06-14
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供一种基于高共模抑制比运放的石英谐振梁加速度计激振电路，其中，前置放大将石英振梁输出的电荷进行电荷‑电压转换和信号放大，同相放大环节进行二级放大和一级移相，带通滤波环节实现二级移相和高低频噪声的抑制，相位补偿环节对谐振梁内部静态电容导致的相移进行补偿，生成方波的陡直度通过波形整形环节进行增强，并通过驱动增强环节，提升驱动能力后输出给系统应用。上电后，这些环节与加速度计谐振梁结构形成闭环正反馈自激振荡，驱动石英振梁起振并实现稳幅振荡。本发明可以支撑石英谐振梁加速度计稳定性、分辨率等性能指标达到导航级水平。
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公开(公告)号：CN115541930A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202211136210.4
申请日：2022-09-19
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/097 , H03B5/04 , H03B5/32
Abstract: 本发明提供一种带相位补偿的低压驱动石英振梁加速度计激振电路，该激振电路包括：前置放大和移相限幅模块，用于实现输入信号的直流偏置和反相放大，并输出至移相限幅和低压驱动模块，移相限幅和低压驱动模块将信号经移相限幅处理后输出至波形整形模块，同时还将信号经移相限幅处理和低压驱动处理后分为两路，一路施加至石英振梁的驱动电极，另一路进入相位补偿，波形整形模块用于对输入信号的波形上升及下降沿的陡直度进行调整，并将输出信号至并联反相模块；并联反相模块对输入信号的波形再一次反相处理。该方案有效减小激振电路的相位误差，降低温度变化对振梁谐振特性的影响，有利于提高加速度计的长期稳定性。
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公开(公告)号：CN110989727A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911191925.8
申请日：2019-11-28
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明涉及惯性仪表制造技术领域，公开了一种加速度计测试温控装置。其中，该测试温控装置装配在分度装置上，该测试温控装置包括框架、安装工装、半导体制冷器件和保温层，所述框架通过所述分度装置的转轴与所述分度装置连接，所述安装工装设置在所述框架中且具有用于固定加速度计的安装孔，所述半导体制冷器件设置在所述安装工装底部与所述安装孔对应的位置用于对所述加速度计进行加热或制冷，所述保温层设置在所述框架内侧用于隔离外部环境，所述分度装置在翻滚的情况下通过所述转轴带动所述加速度计翻滚。由此，可以通过半导体制冷器件和相应结构实现加速度计静态测试或多点翻滚时的温度控制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119986043A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202411959667.4
申请日：2024-12-30
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供一种MEMS加速度计测控与补偿电路，所述电路包括ARM芯片、载波发生模块、电荷放大器、前置放大器、A/D转换模块、解调滤波模块以及综合补偿模块；其中，利用ARM芯片控制载波发生模块，生成满足要求的数字合成正弦波；载波发生模块作用于MEMS加速度计上，加速度计敏感到的加速度信息被调制在载波发生模块中产生的正弦载波上，信号经过电荷放大器转换为电压信号，再经过前置放大变成强信号，该强信号被ARM芯片控制的A/D转换模块转换为数字信号，数字信号经过解调滤波模块后，经过综合补偿模块，得到最终的加速度输出。该方案可以根据不同的加速度计表头补偿各类误差，使得加速度计能够在一定的量程范围内稳定输出。
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公开(公告)号：CN119827798A
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202411943489.6
申请日：2024-12-27
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明提供一种MEMS加速度计标度因数批量化测试装置及方法，装置包括离心机和多个测试工装，离心机具有离心机圆盘，多个测试工装沿离心机圆盘的周向均匀间隔设置在圆盘面上，其中，每两个对称测试工装为一组，测试工装包括：固定底板、测试电路转接工装、加速度计固定装置和测试电路板，固定底板固定设置在圆盘上，测试电路转接工装为两个，对称间隔固定在固定底板上，测试电路板固定设置在两个转接工装上，加速度计通过加速度计固定装置设置在测试电路板上并与测试电路板电气联结。本发明通过使用特定的批量测试工装和计算方法，同时完成多只加速度计的标度因数对称性测试。
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公开(公告)号：CN119044537A
公开(公告)日：2024-11-29
申请号：CN202411120062.6
申请日：2024-08-15
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/097 , H03G3/30 , H03L7/08 , H03K5/01 , G01P15/08
Abstract: 本发明提供一种双闭环石英谐振梁加速度计激振电路，电路采用幅值、相位双闭环控制及数字化配置方案，不仅能够维持石英振梁正常工作时的振幅、相位稳定，而且可以通过软件配置寄存器方式进行参数优化调整。比之前基于反相器或运放的开环方案，该闭环激振电路稳定性、温度鲁棒性有明显改善，可以支撑石英谐振梁加速度计的稳定性、分辨率、温度稳定性等指标进一步提升到导航级水平。
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公开(公告)号：CN117949012A
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202311828547.6
申请日：2023-12-27
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明提供一种基于ARM的MEMS器件标度因数补偿系统，该系统包括ARM芯片、A/D转换模块、标度因数补偿模块和标准信息输出模块，其中，所述ARM芯片控制所述A/D转换模块采集MEMS器件未补偿前输出的传感器信息，并将该传感器信息采集进入ARM芯片，所述A/D转换模块将传感器信息转换之后输出至所述标度因数补偿模块，所述标准信息输出模块输出加速度/角速率标准信息至所述标度因数补偿模块，所述标度因数补偿模块根据其输入进行标度因数补偿。该技术方案可以根据不同的MEMS器件类型修正其标度因数误差，使得在MEMS器件规定的工作温度范围内标度因数能够满足要求的误差范围。
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公开(公告)号：CN111707250B
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202010493576.1
申请日：2020-06-03
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C19/5607 , G01C19/5621 , F16F15/04 , F16F15/02
Abstract: 本发明涉及一种石英音叉陀螺减振装置，石英音叉(103)、组合梁(301)、膜状结构(302)以及管壳(303)。组合梁(301)包含四个呈空间S形分布弹性梁(311)，外侧与膜状结构(302)固定，内侧与石英音叉中心锚点(104)相连，膜状结构(303)。膜状结构(302)整体呈长方形，在与驱动叉指(105)和所述检测叉指(106)对应处开有豁口(320)。在不增大体积的条件下，能够有效隔离和衰减外界振动、冲击等力学输入，抑制应力。(302)的下部为用于提供稳定封闭环境的管壳
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