公开(公告)号：CN112970088A

公开(公告)日：2021-06-15

申请号：CN201980064185.3

申请日：2019-07-23

Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司

Inventor： D.蔡德勒 ,  H.弗里茨 ,  I.米勒 ,  G.梅塔利迪斯

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/28

Abstract: 公开了设定单独束电流的粒子束系统，所述粒子束系统包括以下：至少一个粒子源，其被配置为产生带电粒子的束；第一多透镜阵列，其包括实行聚焦的第一多个单独可调节粒子透镜并且被设置在粒子束路径中使得粒子中的至少一些以多个单独粒子束的形式穿过多透镜阵列中的开口；第二多孔板，其包括多个第二开口，并且被设置在第一多透镜阵列的下游的粒子束路径中且设置为使得通过第一多透镜阵列的粒子部分地照射第二多孔板且部分地穿过第二多孔板中的开口；以及控制器，其被配置为向第一多透镜阵列的粒子透镜供应单独可调节的电压，并且因此针对每个单独粒子束单独地设定相关联的粒子透镜的聚焦。

公开(公告)号：CN112740356A

公开(公告)日：2021-04-30

申请号：CN201980061835.9

申请日：2019-07-22

Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司

Inventor： D.蔡德勒 ,  M.贝恩克 ,  S.舒伯特 ,  C.里德塞尔

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  G06T3/40

Abstract: 本发明涉及一种在借助多射束粒子显微镜将物体成像期间调节检测器的方法。根据本发明的第一实施例，基于单独图像来进行调节，并且根据第二实施例，基于重叠区域来进行调节。对于检测器调节本身，使用对比度值和/或亮度值，并且可以采用迭代方法。