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公开(公告)号：CN113169017B
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN201980064424.5
申请日：2019-09-30
Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
IPC: H01J37/317
Abstract: 披露了一种用于操作多束式粒子束系统的方法，该方法包括：生成多个粒子束，使得它们各自穿过完好的或有缺陷的多极元件；将这些粒子束聚焦在预定平面中；确定用于这些多极元件的偏转元件的激励；使用所确定的激励来激励完好的这些多极元件的偏转元件；以及对于有缺陷的多极元件的偏转元件修改所确定的激励，并且使用经修改的激励来激励这些有缺陷的多极元件的偏转元件；其中，该修改包括向所确定的激励添加校正激励，其中，这些校正激励对于该有缺陷的多极元件的所有偏转元件是相同的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115053320A
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202180012557.5
申请日：2021-02-01
Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
Abstract: 一种多光束带电粒子显微镜和一种操作多光束带电粒子显微镜以进行晶片检验的方法，其具有高产量、高分辨率和高可靠性。该操作方法和该多光束带电粒子束显微镜包含用于根据一选定扫描程序，通过多个带电粒子小射束进行同步扫描操作和图像获取的装置，其中可根据来自不同扫描程序的检验任务，选择该选定扫描程序。
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公开(公告)号：CN112740356B
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN201980061835.9
申请日：2019-07-22
Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
IPC: H01J37/244 , H01J37/28 , G06T3/4038
Abstract: 本发明涉及一种在借助多射束粒子显微镜将物体成像期间调节检测器的方法。根据本发明的第一实施例，基于单独图像来进行调节，并且根据第二实施例，基于重叠区域来进行调节。对于检测器调节本身，使用对比度值和/或亮度值，并且可以采用迭代方法。
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公开(公告)号：CN113169017A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980064424.5
申请日：2019-09-30
Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
IPC: H01J37/317
Abstract: 披露了一种用于操作多束式粒子束系统的方法，该方法包括：生成多个粒子束，使得它们各自穿过完好的或有缺陷的多极元件；将这些粒子束聚焦在预定平面中；确定用于这些多极元件的偏转元件的激励；使用所确定的激励来激励完好的这些多极元件的偏转元件；以及对于有缺陷的多极元件的偏转元件修改所确定的激励，并且使用经修改的激励来激励这些有缺陷的多极元件的偏转元件；其中，该修改包括向所确定的激励添加校正激励，其中，这些校正激励对于该有缺陷的多极元件的所有偏转元件是相同的。
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公开(公告)号：CN112740356A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN201980061835.9
申请日：2019-07-22
Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
IPC: H01J37/244 , H01J37/28 , G06T3/40
Abstract: 本发明涉及一种在借助多射束粒子显微镜将物体成像期间调节检测器的方法。根据本发明的第一实施例，基于单独图像来进行调节，并且根据第二实施例，基于重叠区域来进行调节。对于检测器调节本身，使用对比度值和/或亮度值，并且可以采用迭代方法。
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公开(公告)号：CN115244645A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202180018794.2
申请日：2021-03-09
Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
IPC: H01J37/147
Abstract: 提供了多射束带电粒子显微镜的多射束光栅单元——诸如多射束生成单元、多射束偏转单元——的某些改进。改进包括多射束光栅单元的设计、制造和调整，包括特定形状和尺寸的孔。改进能够以更高的精度生成多射束生成和多射束偏转或消像散。这些改进与多射束带电粒子显微镜的常规应用相关，例如其中需要高可靠性和高再现性以及低机器对机器的偏差的半导体检验和审查中。
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