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公开(公告)号：CN113169017B
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN201980064424.5
申请日：2019-09-30
Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
IPC: H01J37/317
Abstract: 披露了一种用于操作多束式粒子束系统的方法，该方法包括：生成多个粒子束，使得它们各自穿过完好的或有缺陷的多极元件；将这些粒子束聚焦在预定平面中；确定用于这些多极元件的偏转元件的激励；使用所确定的激励来激励完好的这些多极元件的偏转元件；以及对于有缺陷的多极元件的偏转元件修改所确定的激励，并且使用经修改的激励来激励这些有缺陷的多极元件的偏转元件；其中，该修改包括向所确定的激励添加校正激励，其中，这些校正激励对于该有缺陷的多极元件的所有偏转元件是相同的。
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公开(公告)号：CN112970088B
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN201980064185.3
申请日：2019-07-23
Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
Abstract: 公开了设定单独束电流的粒子束系统，所述粒子束系统包括以下：至少一个粒子源，其被配置为产生带电粒子的束；第一多透镜阵列，其包括实行聚焦的第一多个单独可调节粒子透镜并且被设置在粒子束路径中使得粒子中的至少一些以多个单独粒子束的形式穿过多透镜阵列中的开口；第二多孔板，其包括多个第二开口，并且被设置在第一多透镜阵列的下游的粒子束路径中且设置为使得通过第一多透镜阵列的粒子部分地照射第二多孔板且部分地穿过第二多孔板中的开口；以及控制器，其被配置为向第一多透镜阵列的粒子透镜供应单独可调节的电压，并且因此针对每个单独粒子束单独地设定相关联的粒子透镜的聚焦。
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公开(公告)号：CN114503237A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202080054165.0
申请日：2020-05-23
Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种粒子束系统，特别是一种多束粒子显微镜，其中可在不改变结构的情况下灵活并在较大数值范围内设定单独粒子束的电流强度。在此，根据本发明的粒子束系统包括聚光透镜系统、具有特定前反电极和前多孔径板的前多透镜阵列以及多透镜阵列。该系统包括控制器，其设置成向聚光透镜系统和前反电极提供可调节的激发，使得带电粒子能够以远心方式入射在前多孔径板上。
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公开(公告)号：CN113169017A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980064424.5
申请日：2019-09-30
Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
IPC: H01J37/317
Abstract: 披露了一种用于操作多束式粒子束系统的方法，该方法包括：生成多个粒子束，使得它们各自穿过完好的或有缺陷的多极元件；将这些粒子束聚焦在预定平面中；确定用于这些多极元件的偏转元件的激励；使用所确定的激励来激励完好的这些多极元件的偏转元件；以及对于有缺陷的多极元件的偏转元件修改所确定的激励，并且使用经修改的激励来激励这些有缺陷的多极元件的偏转元件；其中，该修改包括向所确定的激励添加校正激励，其中，这些校正激励对于该有缺陷的多极元件的所有偏转元件是相同的。
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公开(公告)号：CN112970088A
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN201980064185.3
申请日：2019-07-23
Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
Abstract: 公开了设定单独束电流的粒子束系统，所述粒子束系统包括以下：至少一个粒子源，其被配置为产生带电粒子的束；第一多透镜阵列，其包括实行聚焦的第一多个单独可调节粒子透镜并且被设置在粒子束路径中使得粒子中的至少一些以多个单独粒子束的形式穿过多透镜阵列中的开口；第二多孔板，其包括多个第二开口，并且被设置在第一多透镜阵列的下游的粒子束路径中且设置为使得通过第一多透镜阵列的粒子部分地照射第二多孔板且部分地穿过第二多孔板中的开口；以及控制器，其被配置为向第一多透镜阵列的粒子透镜供应单独可调节的电压，并且因此针对每个单独粒子束单独地设定相关联的粒子透镜的聚焦。
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