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公开(公告)号：CN112703573B
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN201980041458.2
申请日：2019-06-18
Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
IPC: H01J37/06 , H01J37/147 , H01J37/28
Abstract: 一种粒子束系统，包括：多束式粒子源，该多束式粒子源被配置为产生多个粒子束；成像光学单元，该成像光学单元被配置为将物平面以粒子光学方式成像到像平面中并将该多个粒子束引导到该像平面上；以及场发生布置，该场发生布置被配置为在该物平面附近的区域中产生电和/或磁偏转场，其中，这些粒子束在操作期间被这些偏转场偏转，偏转角度取决于这些偏转场的强度。
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公开(公告)号：CN114600221A
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202080054443.2
申请日：2020-07-29
Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
IPC: H01J37/26 , H01J37/09 , H01J37/10 , H01J37/12 , H01J37/147 , H01J37/28 , H01J37/302 , H01J37/317
Abstract: 公开了一种在不同操作点处操作多粒子束系统的方法。对于每个工作点，可以设定数值孔径，以使多粒子束系统的分辨率最佳。在此过程中，待扫描样品上相邻个体粒子束之间的束间距的边界条件保持恒定。出于改变数值孔径的目的，不会对系统做出机械变换。
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公开(公告)号：CN115244645A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202180018794.2
申请日：2021-03-09
Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
IPC: H01J37/147
Abstract: 提供了多射束带电粒子显微镜的多射束光栅单元——诸如多射束生成单元、多射束偏转单元——的某些改进。改进包括多射束光栅单元的设计、制造和调整，包括特定形状和尺寸的孔。改进能够以更高的精度生成多射束生成和多射束偏转或消像散。这些改进与多射束带电粒子显微镜的常规应用相关，例如其中需要高可靠性和高再现性以及低机器对机器的偏差的半导体检验和审查中。
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公开(公告)号：CN112970088B
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN201980064185.3
申请日：2019-07-23
Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
Abstract: 公开了设定单独束电流的粒子束系统，所述粒子束系统包括以下：至少一个粒子源，其被配置为产生带电粒子的束；第一多透镜阵列，其包括实行聚焦的第一多个单独可调节粒子透镜并且被设置在粒子束路径中使得粒子中的至少一些以多个单独粒子束的形式穿过多透镜阵列中的开口；第二多孔板，其包括多个第二开口，并且被设置在第一多透镜阵列的下游的粒子束路径中且设置为使得通过第一多透镜阵列的粒子部分地照射第二多孔板且部分地穿过第二多孔板中的开口；以及控制器，其被配置为向第一多透镜阵列的粒子透镜供应单独可调节的电压，并且因此针对每个单独粒子束单独地设定相关联的粒子透镜的聚焦。
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公开(公告)号：CN113939892A
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：CN202080042737.3
申请日：2020-05-20
Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
IPC: H01J37/147
Abstract: 本发明说明揭露具有多束粒子源的粒子束系统，其配置成产生多个带电单独粒子束，并且具有用于在方位角方向上偏转单独粒子束的磁多偏转器阵列。磁多偏转器阵列在此包括具有多个开口的磁导多孔径板，其排列在粒子束的光束路径中，使得单独粒子束实质地穿过多孔径板的开口。该磁多偏转器阵列额外包括具有单独开口的磁导孔径板，其排列在粒子束的光路中，使得单独粒子束实质地穿过第一孔径板。此外，多孔径板和第一孔径板彼此连接，使得两个板之间形成一空腔。用于产生磁场的第一线圈排列在第一孔径板和多孔径板之间的空腔中，使得多个单独粒子束实质地穿过线圈。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112703573A
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN201980041458.2
申请日：2019-06-18
Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
IPC: H01J37/06 , H01J37/147 , H01J37/28
Abstract: 一种粒子束系统1，包括：多束式粒子源，该多束式粒子源被配置为产生多个粒子束5；成像光学单元35，该成像光学单元被配置为将物平面29以粒子光学方式成像到像平面7中并将该多个粒子束引导到该像平面上；以及场发生布置41，该场发生布置被配置为在该物平面29附近的区域中产生电和/或磁偏转场，其中，这些粒子束在操作期间被这些偏转场偏转，偏转角度取决于这些偏转场的强度。
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公开(公告)号：CN113939892B
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202080042737.3
申请日：2020-05-20
Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
IPC: H01J37/147
Abstract: 本发明说明揭露具有多束粒子源的粒子束系统，其配置成产生多个带电单独粒子束，并且具有用于在方位角方向上偏转单独粒子束的磁多偏转器阵列。磁多偏转器阵列在此包括具有多个开口的磁导多孔径板，其排列在粒子束的光束路径中，使得单独粒子束实质地穿过多孔径板的开口。该磁多偏转器阵列额外包括具有单独开口的磁导孔径板，其排列在粒子束的光路中，使得单独粒子束实质地穿过第一孔径板。此外，多孔径板和第一孔径板彼此连接，使得两个板之间形成一空腔。用于产生磁场的第一线圈排列在第一孔径板和多孔径板之间的空腔中，使得多个单独粒子束实质地穿过线圈。
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公开(公告)号：CN115917699A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202180041139.9
申请日：2021-05-17
Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
IPC: H01J37/073 , H01J37/28 , H01J37/04
Abstract: 本发明揭露一种具多源系统的粒子束系统。该多源系统包含电子发射器阵列，其作为一粒子多源。在此多源系统中，各种发射器的非均质发射特性借助于粒子光学部件(其可藉助MEMS技术生产)，为了后续粒子光学成像而校正或预校正。个别粒子束的射束电流可在该多源系统中调整。
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公开(公告)号：CN115298791A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202180022773.8
申请日：2021-03-11
Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
IPC: H01J37/153 , H01J37/28 , H01J37/12
Abstract: 本发明揭示一种粒子束系统，其包括下列：多束粒子源，其设置成产生多重带电个别粒子束(3)；多极透镜序列(600)，其具有至少一个第一多极透镜阵列(601)和具有至少一个第二多极透镜阵列(602)，其中该第一多极透镜阵列(601)包括用于产生第一四极场(Q1)的多重个别可调第一多极透镜，并布置在粒子的光束路径中，使得所述个别粒子束(3)基本上穿过该第一多极透镜阵列(601)，且其中该第二多极透镜阵列(602)包括用于产生第二四极场(Q2)的多重个别可调第二多极透镜，并布置在所述粒子的光束路径中，如此穿过该第一多极透镜阵列(601)的所述个别粒子束(3)基本上也穿过该第二多极透镜阵列(602)；以及控制器(10)，其设置成控制该多极透镜序列的所述多极透镜，使得同一个别粒子束(3)在各种情况下通过的该多极透镜序列的相关多极透镜群组，对穿过其中的各别个别粒子束(3)共同整体施加个别可调与聚焦效果。
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公开(公告)号：CN114503237A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202080054165.0
申请日：2020-05-23
Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种粒子束系统，特别是一种多束粒子显微镜，其中可在不改变结构的情况下灵活并在较大数值范围内设定单独粒子束的电流强度。在此，根据本发明的粒子束系统包括聚光透镜系统、具有特定前反电极和前多孔径板的前多透镜阵列以及多透镜阵列。该系统包括控制器，其设置成向聚光透镜系统和前反电极提供可调节的激发，使得带电粒子能够以远心方式入射在前多孔径板上。
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