公开(公告)号：KR100890001B1

公开(公告)日：2009-03-25

申请号：KR1020070074136

申请日：2007-07-24

Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 ,  국민대학교산학협력단

Inventor： 장동영 ,  양희남 ,  김동환 ,  임홍재

IPC: H01J37/26

Abstract: 본 발명은, 시료챔버를 개폐하는 챔버도어와, 상기 챔버도어의 후방에 마련되어 시료챔버 내부로 출입하는 지지베이스와, 상기 지지베이스 상에 XY축 방향으로 이동 가능하게 마련되는 XY이동스테이지와, 상기 챔버도어 전방에 마련되어 상기 XY이동스테이지의 이동을 조작하는 X축조작부 및 Y축조작부를 갖는 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛에 관한 것으로서, 상기 XY이동스테이지에 회전가능하게 결합되는 회전체와, 상기 회전체에 대해 상하 승강 가능하게 결합되는 승강체를 갖는 시편홀더와; 상기 회전체를 회전시키는 회전구동부와; 상기 승강체를 Z축방향으로 승강시키는 Z축구동부와; 상기 챔버도어 전방에 마련되어 상기 회전구동부의 구동을 조작하는 회전조작부와; 상기 챔버도어 전방에 마련되어 상기 Z축구동부의 구동을 조작하는 Z축조작부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 의하여, 장치의 구성이 간단하고 최소한의 크기로 시료적재용 스테이지를 X축 및 Y축과 Z축 및 회전 방향으로 구동시킬 수 있는 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛이 제공된다.
소형, 전자주사현미경, 시료챔버, 스테이지

公开(公告)号：KR100856559B1

公开(公告)日：2008-09-04

申请号：KR1020070095832

申请日：2007-09-20

Applicant: 국민대학교산학협력단

Inventor： 신동훈 ,  박경서 ,  임홍재

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  B82Y40/00

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/70858 ,  H01L21/67248 ,  Y10S977/887

Abstract: A temperature controller of a nano imprint apparatus and a nano imprint apparatus including the same are provided to reduce a manufacturing cost of the nano imprint apparatus by controlling arbitrarily and freely an installation position. A heat exchange pin(100) is composed of a heat-conducting material and includes a plurality of air flow paths. A first thermoelectric module(200) is coupled with the one side of the heat exchange pin in order to connect a heat-absorbing reaction part. A second thermoelectric module(300) is coupled with the heat exchange pin in order to connect a heat-radiating reaction part with the other side of the heat exchange pin. An air suction tube(400) is used for forming an air suction path from the inside of the chamber to the air flow path of the heat exchange pin. An air discharge tube(500) is used for forming an air returning path to the inside of the chamber through the heat exchange pin. A temperature sensor(600) senses the temperature of the air through the air suction tube or the air discharge tube. A temperature control unit(700) compares the temperature received from the temperature sensor with the reference temperature and supplies selectively the power to the first and second thermoelectric modules.

Abstract translation: 提供纳米压印装置的温度控制器和包括该温度控制器的纳米压印装置，以通过任意且自由地控制安装位置来降低纳米压印装置的制造成本。 热交换销（100）由导热材料构成，并且包括多个空气流路。 第一热电模块（200）与热交换销的一侧耦合以连接吸热反应部分。 第二热电模块（300）与热交换销耦合以便将热辐射反应部分与热交换销的另一侧连接。 空气吸引管400用于形成从室内到热交换销的空气流路的空气吸入路径。 空气排出管（500）用于通过热交换销形成到室内的空气返回路径。 温度传感器（600）通过吸气管或排气管感测空气的温度。 温度控制单元（700）将从温度传感器接收的温度与参考温度进行比较，并且选择性地向第一和第二热电模块供电。

公开(公告)号：KR101084653B1

公开(公告)日：2011-11-22

申请号：KR1020090011638

申请日：2009-02-12

Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 ,  국민대학교산학협력단

Inventor： 김동환 ,  양희남 ,  장동영 ,  임홍재

IPC: G01N1/36 ,  H01J37/26 ,  G01N35/10

Abstract: 본 발명은 전자주사현미경의 시료챔버에 관한 것으로서, 시료가 장착되는 시편홀더를 X,Y,Z축 방향으로 이동 및 회전시키면서 상부의 전자주사유닛에서 조사된 전자빔의 초점에 시료를 맞추는 스테이지유닛이 그 내부에 구성되어 있는 전자주사현미경의 시료챔버에 있어서, 상기 시료챔버의 일측면에는 출입구가 천공됨과 아울러 상기 출입구를 자동으로 개폐시키는 챔버도어가 구성되되, 상기 챔버도어는, 시료챔버에 고정되게 설치된 실린더; 및 상기 실린더에 그 일단의 헤드가 내장되어 실린더로 공급되는 압력에 의해 이동되는 피스톤;을 포함하고, 상기 피스톤의 일단이 챔버도어에 연결되어, 상기 챔버도어를 이동시켜 시료챔버의 출입구를 개폐시키도록 구성된 것을 특징으로 하여, 시료의 교환을 간편하고 신속하게 할 수 있게 된다.
전자주사현미경, 시료챔버, 스테이지유닛, 시편홀더, 챔버도어

公开(公告)号：KR101046828B1

公开(公告)日：2011-07-06

申请号：KR1020080101252

申请日：2008-10-15

Applicant: 국민대학교산학협력단

Inventor： 임홍재 ,  신동훈 ,  김우송 ,  박경서

IPC: H01L21/027 ,  B82Y40/00

Abstract: 온도제어 기능을 가진 UV 나노 임프린트 리소그래피를 수행하는 장치 및 온도제어방법을 제공한다. 상기 UV 나노 임프린트 리소그래피를 수행하는 장치는 로딩 플레이트의 온도를 측정을 위한 써머커플 및 온도증감을 위한 히팅라인이 설치된 항온 플레이트; 유리기판에 도포된 레진 상부에 놓여지는 몰드에 압력을 가하는 방향으로 이동되며, 로딩 플레이트에 놓여진 유리기판에 자외선을 조사하는 UV 램프를 내장하는 가압부와, 자외선 투과가능한 투명한 재질로서 가압부 하부에 설치되며 패턴 형성을 위한 몰드의 온도감지를 위해 써머커플을 장착한 탄성패드로 이루어진 가압유닛; 도어를 통해 개방이 가능한 수용공간을 가져, 상기 로딩 플레이트, 항온 플레이트, 가압유닛을 수용하는 챔버; 챔버의 내부온도를 측정하기 위해 챔버 내에 설치되는 온도센서; 챔버 외부에 설치되며, 상기 챔버 내부의 공기를 순환시켜 챔버의 내부온도가 일정하게 유지되도록 하는 외부공조기; 및 상기 항온 플레이트와 가압유닛에 각각 설치된 써머커플 및 상기 온도센서를 통해 측정된 온도데이타를 근거로 상기 항온 플레이트의 온도조절 및 외부공조기의 작동을 제어하는 제어반;을 포함하여 구성됨을 요지로 한다.
UV 나노 임프린트, 몰드, 유리기판, 온도제어

Abstract translation: 提供了一种用于执行具有温度控制功能的UV纳米压印光刻的设备和温度控制方法。 用于进行UV纳米压印光刻的热板设备被安装，用于热电偶的加热线路，和温度梯度，用于测量所述装载板的温度; 被移动到将压力施加到模具被放置在树脂顶涂层到玻璃基板上的方向，作为按压部，和UV透射的透明材料能够按压部低的内置UV灯照射紫外线，以放置在所述装载板中的玻璃基板 一种压力单元，其包括安装有用于图案形成的模具的温度感测的热电偶的弹性垫; 腔室，用于接收装载板，恒温板和加压单元，腔室具有可通过门打开的容纳空间; 安装在腔室内的温度传感器，用于测量腔室的内部温度; 外部空调器安装在室外并使室内的空气循环，使室内的温度保持恒定; 控制面板控制恒温板的温度和基于安装在恒温板和加压单元中的热电偶以及通过温度传感器测量的温度数据的外部空调器的操作。

公开(公告)号：KR100917747B1

公开(公告)日：2009-09-15

申请号：KR1020070083296

申请日：2007-08-20

Applicant: 국민대학교산학협력단

Inventor： 임홍재 ,  성상준 ,  주재환 ,  장시열 ,  정재일 ,  신동훈

IPC: G06F9/455 ,  G06T15/00 ,  B82Y10/00

Abstract: 본 발명은 나노 임프린트 스테이지 장비 개발을 위한 시뮬레이션 시스템 및 그 방법을 제공하기 위한 것으로, 화면에 보이는 그래픽스 창을 관리하는 뷰 클래스 처리부와; 상기 뷰 클래스 처리부와 연결되고, 객체를 생성하거나 삭제하고, 생성된 객체에 액츄에이터 또는 센서를 장착하는 명령을 주관하고, 가상장비 시뮬레이터를 구동시키는 부분이 있으면 구동시키는 부분이 정상 작동하도록 처리하는 모델 클래스 처리부와; 상기 모델 클래스 처리부와 연결되고, 사용자 직접 입력해주어야 하는 값들에 대한 대화창을 관할하는 대화창 클래스 처리부;를 포함하여 구성함으로써, 가상장비를 이용하여 장비 제어 소프트웨어의 신뢰성을 검증하여 실물장비가 출시되기 전 단계에서도 장비제어 소프트웨어의 개발이 가능하도록 할 수 있게 되는 것이다.
3D 영상처리, 가상장비, 시뮬레이션, 모델링, 테스트

公开(公告)号：KR100904720B1

公开(公告)日：2009-06-25

申请号：KR1020070099886

申请日：2007-10-04

Applicant: 국민대학교산학협력단

Inventor： 정재일 ,  임홍재

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/677

Abstract: 본 발명은 피에조 액추에이터의 나노 단위의 정밀한 제어와 서보 모터를 이용한 충분한 이동량을 동시에 구현하여, 대면적 스테이지에 적용할 수 있는 미세 이송 기구와 이를 이용한 초정밀 스테이지를 제공하는 것을 목적으로 한다. 이를 위하여 본 발명에서는, 고정단에 배치된 서보 모터; 상기 서보 모터에 의해 구동되어 일 방향으로 이송되는 제1 리니어 가이드; 상기 제1 리니어 가이드에 배치되어 상기 제1 리니어 가이드의 이송 방향에 나란한 방향으로 미세 변위를 발생시키는 피에조 액추에이터; 및 상기 피에조 액추에이터의 단부에 배치되어 상기 서보 모터 및 상기 피에조 액추에이터가 발생시키는 변위에 의해 상기 고정단에 대해 일 방향으로 이동 가능한 제2리니어 가이드를 포함하는 미세 이송 기구와, 이를 이용한 초정밀 스테이지를 제공한다.
피에조 액추에이터, 서보 모터, 4축 스테이지, 1단 스테이지

公开(公告)号：KR1020090034577A

公开(公告)日：2009-04-08

申请号：KR1020070099886

申请日：2007-10-04

Applicant: 국민대학교산학협력단

Inventor： 정재일 ,  임홍재

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/677

CPC classification number: B23Q3/186 ,  B23Q3/08 ,  B23Q5/28 ,  G05B19/402 ,  H01L21/68714 ,  Y10S414/136

Abstract: A precision transfer mechanism and nano positioning stage using the same are provided to consecutively arrange the servo motor and piezo actuator and to extend the stroke range of the transport mechanism. The servo motor(2) is arranged in the fixed end. The first linear guide is driven by the servo motor. The piezo actuator(8) is arranged in the first linear guide. The piezo actuator generates the fine displacement in the transfer direction of the first linear guide. The second linear guide is arranged in the end part of the piezo actuator. The second linear guide is transferred by the servo motor and displacement about the fixed end.

Abstract translation: 提供了使用其的精密传送机构和纳米定位台，以连续地布置伺服电机和压电致动器并延长传送机构的行程范围。 伺服马达（2）布置在固定端。 第一直线导轨由伺服电机驱动。 压电致动器（8）布置在第一线性引导件中。 压电致动器在第一线性引导件的传送方向上产生精细位移。 第二直线导轨布置在压电致动器的端部中。 第二直线导轨由伺服电机传递并围绕固定端移动。

公开(公告)号：KR1020090019112A

公开(公告)日：2009-02-25

申请号：KR1020070083296

申请日：2007-08-20

Applicant: 국민대학교산학협력단

Inventor： 임홍재 ,  성상준 ,  주재환 ,  장시열 ,  정재일 ,  신동훈

IPC: G06F9/455 ,  G06T15/00 ,  B82Y10/00

CPC classification number: G06F17/5009 ,  B82Y10/00 ,  G06F8/315 ,  G06F8/34 ,  G06F17/16

Abstract: A simulation system of the virtual equipment by 3D image processing and method are provided to verify the reliability of the equipment control software by using the virtual equipment. The simulation system of the virtual equipment through 3D image processing comprises the view class processing unit(100), and the model class processing unit(200) and dialog box class processing unit(300). The view class processing unit manages the graphics window in the screen. The model class processing unit is connected to the view class processing unit. The model class processing unit produces or deletes the object and supervises the command mounting actuator or the sensor to the generated object. The virtual equipment simulator is connected to the model class processing unit processes.

Abstract translation: 通过3D图像处理和方法提供虚拟设备的仿真系统，通过虚拟设备验证设备控制软件的可靠性。 通过3D图像处理的虚拟设备的仿真系统包括视图类处理单元（100），模型类处理单元（200）和对话框类处理单元（300）。 视图类处理单元管理屏幕中的图形窗口。 模型类处理单元连接到视图类处理单元。 模型类处理单元生成或删除对象，并将命令安装执行器或传感器监控到生成的对象。 虚拟设备模拟器连接到模型类处理单元处理。

公开(公告)号：KR1020090010771A

公开(公告)日：2009-01-30

申请号：KR1020070074136

申请日：2007-07-24

Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 ,  국민대학교산학협력단

Inventor： 장동영 ,  양희남 ,  김동환 ,  임홍재

IPC: H01J37/26

Abstract: A stage unit of the miniature scanning electron microscope is provided to drive the stage for the sample loading to the X-axis, the Y-axis, the Z-axis and the rotational direction with minimum size. A chamber door(10) opens and closes the sample chamber. A support base(20) enters and leaves into/from the sample chamber while opening and shutting the sample chamber by the chamber door. The X-Y translation stage(30) is moved to the X-Y axis comparing to the support base. A sample holder(40) moves up and down to Z axial direction comparing to the X-Y translation stage and rotates comparing to the Z-axis. Z shaft driving part(50) moves the sample holder up and down to the Z-axis direction.

Abstract translation: 提供微型扫描电子显微镜的级单元，以最小尺寸驱动用于样品加载到X轴，Y轴，Z轴和旋转方向的载物台。 室门（10）打开和关闭样品室。 支撑基座（20）在通过室门打开和关闭样品室时进入和离开样品室。 与支撑基座相比，X-Y平移台（30）移动到X-Y轴。 样品架（40）与X-Y平移台相比上下移动Z轴方向，与Z轴相比旋转。 Z轴驱动部50将样品架上下移动到Z轴方向。

公开(公告)号：KR101336607B1

公开(公告)日：2013-12-05

申请号：KR1020100082896

申请日：2010-08-26

Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 ,  국민대학교산학협력단

Inventor： 김동환 ,  정광오 ,  오세규 ,  김승재 ,  임홍재

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/24 ,  H01J37/244

Abstract: 본 발명은 기존의 주사 전자 현미경(SEM:Scanning Electron Microscope)이 촬영 후, 출력되는 SEM 이미지가 AD컨버터를 통해 아날로그신호에서 디지털신호로 변환되는 과정에서 불특정한 잡음으로 인해 에러가 발생되어 SEM 이미지가 선명하지 않게 표출되기 때문에 SEM 이미지 판독이 어려운 문제점을 개선하고자, 이차전자 검출기 (SED; secondary electron detector)(10), AD 컨버터부(20), SEM 이미지 제어부(30)에 포토멀티플리어(PMT : photomultiplier)신호발생부(40), 디더신호생성모듈(50)이 포함되어 구성됨으로서, 디더 신호를 통해 ADC의 인코더 전달함수의 차동 비선형성으로 인한 왜곡과 양자화 왜곡을 줄임으로써 스퓨리어스 프리 동적 범위를 향상시킬 수 있고, 이로 인해 ADC과정에서 발생하는 백색 잡음을 최소화시킬 수 있는 디더신호생성모듈을 이용한 SEM 이미지노이즈 제거장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.