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公开(公告)号：KR1020130129969A
公开(公告)日：2013-11-29
申请号：KR1020137014445
申请日：2011-12-06
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: H01L51/5253 , C23C16/54 , G09F13/22
Abstract: 표시 디바이스의 임시 밀봉체를 대기 중에 폭로하여 일시 보관을 행하는 것이 가능하며, 요구 성능에 따른 각종 막 구조를 가지는 표시 디바이스의 최종 제품을 얻을 수 있어, 양호한 스루풋을 가지는 표시 디바이스 제조 장치, 표시 디바이스의 제조 방법 및 표시 디바이스를 제공한다. 제 1 밀봉막 형성 장치(27)에 의해, 유기 EL 소자의 표면에 제 1 밀봉막이 형성되고, 임시 밀봉체가 얻어진다. 이 임시 밀봉체는, LL(28)에 의해 감압 공간으로부터 대기압 공간 내에 있는 임시 밀봉체 보관부(29)로 취출된다. 임시 밀봉체는, 제 1 밀봉막에 의해 내투습성이 확보된 상태로 임시 밀봉체 보관부(29)에 일시 보관된 후, 타이밍을 도모하여 반송 장치에 의해, 각 제 2 밀봉막 형성부(6)의 각 SiN막 형성 장치(30)로 반송되고, 각 SiN막 형성 장치(30)에서 임시 밀봉체에 제 2 밀봉막이 형성된다.
Abstract translation: 公开了一种显示装置制造装置，其能够暴露于大气并临时存储显示装置的临时密封体，能够根据性能要求获得具有各种膜结构的显示装置最终产品，并具有良好的生产能力; 还公开了显示装置制造方法和显示装置。 通过第一密封膜形成装置（27）在有机EL元件的表面上形成第一密封膜以获得临时密封体。 所述临时密封体通过LL（28）从减压空间提取到临时密封的体积存储单元（29），在大气压的空间中。 在通过第一密封膜确保耐潮湿传播的状态下将临时密封体临时存储在临时密封体存放单元（29）中之后，所述临时密封体通过适当的时间由输送装置输送到SiN膜 第二密封膜形成单元（6）的形成装置（30），其中在临时密封体上形成第二密封膜。
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公开(公告)号：KR1020130049779A
公开(公告)日：2013-05-14
申请号：KR1020127033470
申请日：2011-06-16
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: H01L33/44 , H01L33/005 , H01L51/5253 , H05B33/04
Abstract: 내투습성이 높은 밀봉막을, 종래 기술에 비해 보다 단시간 및 저코스트로 형성할 수 있는 밀봉막 형성 방법을 제공한다. 유기 EL 소자(12)를 밀봉하기 위한 밀봉막(13)을 형성하는 밀봉막 형성 방법에서, 유기 EL 소자(12)의 표면에 제 1 무기층(13a)을 형성하고, 제 1 무기층(13a) 상에 탄화수소층(13c)을 형성하고, 탄화수소층(13c)을 연화 또는 융해시킴으로써 평탄화시키고, 탄화수소층(13c)을 경화시키고, 탄화수소층(13c)을 경화시킨 후, 탄화수소층(13c) 상에 제 1 무기층(13a)보다 두꺼운 제 2 무기층(13e)을 형성한다.
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公开(公告)号：KR1020120011854A
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：KR1020117024929
申请日：2010-04-21
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/228 , C23C14/246
Abstract: 유동성을 높게 유지한 상태의 과립 형상의 유기 재료를 효율적으로 승화 / 용해시키는 것이 가능한 증착 처리 장치 및 증착 처리 방법을 제공한다. 증착에 의해 기판에 박막을 성막시키는 증착 처리 장치로서, 재료 가스를 공급하는 감압 가능한 재료 공급 장치와, 상기 기판에 박막을 성막하는 성막 장치를 구비하고, 상기 재료 공급 장치는, 재료를 정량하는 정량부와, 상기 정량부를 통과한 재료를 기화시키는 재료 가스 생성부를 가지는 증착 처리 장치가 제공된다.
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公开(公告)号：KR101685148B1
公开(公告)日：2016-12-09
申请号：KR1020137014445
申请日：2011-12-06
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: H01L51/5253 , C23C16/54 , G09F13/22
Abstract: 표시디바이스의임시밀봉체를대기중에폭로하여일시보관을행하는것이가능하며, 요구성능에따른각종막 구조를가지는표시디바이스의최종제품을얻을수 있어, 양호한스루풋을가지는표시디바이스제조장치, 표시디바이스의제조방법및 표시디바이스를제공한다. 제 1 밀봉막형성장치(27)에의해, 유기 EL 소자의표면에제 1 밀봉막이형성되고, 임시밀봉체가얻어진다. 이임시밀봉체는, LL(28)에의해감압공간으로부터대기압공간내에있는임시밀봉체보관부(29)로취출된다. 임시밀봉체는, 제 1 밀봉막에의해내투습성이확보된상태로임시밀봉체보관부(29)에일시보관된후, 타이밍을도모하여반송장치에의해, 각제 2 밀봉막형성부(6)의각 SiN막형성장치(30)로반송되고, 각 SiN막형성장치(30)에서임시밀봉체에제 2 밀봉막이형성된다.
Abstract translation: 公开了一种显示装置制造装置，其能够暴露于大气并临时存储显示装置的临时密封体，能够根据性能要求获得具有各种膜结构的显示装置最终产品，并且具有良好的生产能力; 还公开了显示装置制造方法和显示装置。 通过第一密封膜形成装置（27）在有机EL元件的表面上形成第一密封膜以获得临时密封体。 所述临时密封体通过LL（28）从减压空间提取到临时密封的体积存储单元（29），在大气压的空间中。 在通过第一密封膜确保耐湿性传递的状态下将临时密封体临时存储在临时密封体存放单元（29）中之后，所述临时密封体通过适当的时间由输送装置输送到SiN膜 第二密封膜形成单元（6）的形成装置（30），其中在临时密封体上形成第二密封膜。
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公开(公告)号：KR101352949B1
公开(公告)日：2014-01-17
申请号：KR1020120015423
申请日：2012-02-15
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L51/56
Abstract: 증착 헤드로부터 분사된 성막 재료가 피처리 기판과, 처리실 또는 다른 증착 헤드와의 사이에서 반도하여, 증착되어야 할 개소와는 상이한 부위에 성막 재료가 부착되거나, 각 성막 재료 분출부로부터의 증기가 혼합되어 인접하는 막 중에 불순물로서 혼입된다. 피처리 기판(G)을 수용하는 처리실(11)과, 성막 재료의 증기를 이 피처리 기판을 향해 분출시키는 성막 재료 분출부(13)를 구비하는 성막 장치(1)에 성막 재료 분출부(13)로부터 분출되어, 피처리 기판(G)에서 반도한 성막 재료를 포착하는 포착부(16, 16 …)를 처리실(11)의 내부에 구비한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101326166B1
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：KR1020127033470
申请日：2011-06-16
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: H01L33/44 , H01L33/005 , H01L51/5253 , H05B33/04
Abstract: 내투습성이 높은 밀봉막을, 종래 기술에 비해 보다 단시간 및 저코스트로 형성할 수 있는 밀봉막 형성 방법을 제공한다. 유기 EL 소자(12)를 밀봉하기 위한 밀봉막(13)을 형성하는 밀봉막 형성 방법에서, 유기 EL 소자(12)의 표면에 제 1 무기층(13a)을 형성하고, 제 1 무기층(13a) 상에 탄화수소층(13c)을 형성하고, 탄화수소층(13c)을 연화 또는 융해시킴으로써 평탄화시키고, 탄화수소층(13c)을 경화시키고, 탄화수소층(13c)을 경화시킨 후, 탄화수소층(13c) 상에 제 1 무기층(13a)보다 두꺼운 제 2 무기층(13e)을 형성한다.
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公开(公告)号：KR101283396B1
公开(公告)日：2013-07-08
申请号：KR1020117024929
申请日：2010-04-21
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/228 , C23C14/246
Abstract: 유동성을 높게 유지한 상태의 과립 형상의 유기 재료를 효율적으로 승화 / 용해시키는 것이 가능한 증착 처리 장치 및 증착 처리 방법을 제공한다. 증착에 의해 기판에 박막을 성막시키는 증착 처리 장치로서, 재료 가스를 공급하는 감압 가능한 재료 공급 장치와, 상기 기판에 박막을 성막하는 성막 장치를 구비하고, 상기 재료 공급 장치는, 재료를 정량하는 정량부와, 상기 정량부를 통과한 재료를 기화시키는 재료 가스 생성부를 가지는 증착 처리 장치가 제공된다.
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公开(公告)号：KR101114850B1
公开(公告)日：2012-03-06
申请号：KR1020090124621
申请日：2009-12-15
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/205
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/246
Abstract: 고체원료를가열하고증발시켜서성막용원료가스를얻음에있어서, 열에의한열화또는변질을억제하면서장시간에걸쳐안정된양의원료가스를얻는것이다. 고체원료를저장하는분체저장부와, 이분체저장부로부터공급되는고체원료를용융(溶融)시켜액체원료를얻는분체수용실과, 이분체수용실로부터배출된액체재료를기화시킴으로써원료가스를얻는기화실을설치하고, 기화실에서는성막처리에필요한생성량이되도록액체재료에큰 열량을가하여원료가스를발생시키는한편, 분체수용실에서는고체원료를용융할수 있을정도의작은열량을가하여열 열화를억제하면서액체원료를얻고, 이액체원료를분체수용실로부터기화실을향하여통류시킨다.
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公开(公告)号：KR1020110122762A
公开(公告)日：2011-11-10
申请号：KR1020117023051
申请日：2010-04-02
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/24 , H01L51/001 , H01L51/50
Abstract: 종래의 소형 기판뿐만 아니라 대형의 기판에 대해서도 각 부에서의 분출량이 균일화되고, 또한 균열성이 담보된 재료 가스를 분출하여 균일한 박막을 성막시킬 수 있는 증착 헤드 및 이 증착 헤드를 구비하는 성막 장치를 제공한다.
기판에 박막을 성막하는 증착 처리 장치 내에 설치되고, 기판을 향하여 재료 가스를 분출시키는 증착 헤드로서, 외측 케이싱과, 상기 외측 케이싱 내에 배치되고 재료 가스가 도입되는 내측 케이싱을 구비하고, 상기 내측 케이싱에는 기판을 향하여 재료 가스를 분출시키는 개구부가 형성되고, 상기 외측 케이싱의 외면 또는 상기 외측 케이싱과 상기 내측 케이싱 간에 재료 가스를 가열하는 히터가 배설되는 증착 헤드가 제공된다.-
公开(公告)号：KR1020100070993A
公开(公告)日：2010-06-28
申请号：KR1020090124621
申请日：2009-12-15
Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
IPC: H01L21/205
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/246
Abstract: PURPOSE: A raw material gasogene and a film forming device thereof are provided to execute a stable film forming process by acquiring a stable amount of raw material gas throughout the long time while preventing deterioration or degeneration. CONSTITUTION: A liquid storing part(28) stores a liquid raw material which is obtained by liquefying a solid material. A solid material supplying part(21) supplies the solid material to the first area of the liquid storing part. A discharge hole discharges the raw material gas which is obtained by evaporating the liquid material in the second region of the liquid storing part. A liquid surface level detection part detects the liquid surface level of the liquid storing part. A controlling part controls the supply operation of the solid material based on the detection result of the liquid surface level detection part.
Abstract translation: 目的：提供原料气相及其成膜装置，以通过长时间获取稳定量的原料气体，同时防止劣化或退化，从而进行稳定的成膜过程。 构成：液体储存部（28）存储通过液化固体物质而获得的液体原料。 固体材料供给部（21）将固体材料供给到液体收容部的第一区域。 排出孔排出通过蒸发液体存储部分的第二区域中的液体材料而获得的原料气体。 液面检测部检测液体储存部的液面。 控制部基于液面检测部的检测结果来控制固体材料的供给动作。
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