公开(公告)号：KR1020010058674A

公开(公告)日：2001-07-06

申请号：KR1019990066030

申请日：1999-12-30

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  최기영

Inventor： 신영수 ,  최기영 ,  민병호 ,  장영훈

IPC: G06F13/14

CPC classification number: G06F13/4217 ,  H03M5/04 ,  H04L25/49 ,  Y02D10/14 ,  Y02D10/151

Abstract: PURPOSE: A system and a method for encoding/decoding bus are provided to reduce an overhead and the size of a chip by removing a circuit capable of determining whether an inverting of data is performed. CONSTITUTION: An 8-bit data encoder of a data bus includes a conditional inverting unit(10), a storage unit(14) and the first exclusive OR calculation unit(12). The conditional inverting unit(12) performs an inverting of the lower 7-bit data as the unit of bit in case that a value of the highest bit of 8-bit data is 1 . The storage unit(14) stores the last 8-bit data outputted to a bus. The first exclusive OR calculation unit(12) performs an exclusive of the lower (n-1) bit data inverted and the lower (n-1) data stored in the storage unit(14). The (n-1) bit data exclusively ORed by the highest bit of the n bit data and the first exclusive OR calculation unit(12) are outputted to the bus via the storage unit(14).

Abstract translation: 目的：提供一种用于编码/解码总线的系统和方法，通过去除能够确定是否执行数据反相的电路来减少芯片的开销和尺寸。 构成：数据总线的8位数据编码器包括条件反转单元（10），存储单元（14）和第一异或运算单元（12）。 在8位数据的最高位的值为1的情况下，条件反转单元（12）执行下位7位数据的反相作为位的单位。 存储单元（14）存储输出到总线的最后8位数据。 第一异或运算单元（12）执行存储在存储单元（14）中的低（n-1）比特数据和低（n-1）数据。 由n位数据和第一异或运算单元（12）的最高位进行异或运算的（n-1）位数据经由存储单元（14）输出到总线。

公开(公告)号：KR1020010027041A

公开(公告)日：2001-04-06

申请号：KR1019990038601

申请日：1999-09-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 신동화 ,  민병호

IPC: H01L21/02

Abstract: PURPOSE: A system for supplying photoresist is provided to prevent photoresist residue in a buffer tank from being wasted to clean a photoresist supply line, and to eliminate a photoresist overflow phenomenon while pressuring nitrogen gas to remove air bubbles on a supply line. CONSTITUTION: A photoresist receptacle(11), a valve(12), an end point detecting sensor, a spray pump(16) and a spray nozzle(17) are sequentially connected by pipes. A pipe is branched to a drain line before the spray pump. The valve and the end point detecting valve are connected at two portions for exchanging the photoresist receptacles. The pipes in the two portions are connected to the drain line and the spray pump through the branched pipe.

Abstract translation: 目的：提供用于提供光致抗蚀剂的系统，以防止缓冲罐中的光致抗蚀剂残留物被浪费以清洁光致抗蚀剂供应管线，并且在加压氮气以除去供应管线上的气泡时消除光致抗蚀剂溢出现象。 构成：通过管道依次连接光致抗蚀剂容器（11），阀（12），端点检测传感器，喷雾泵（16）和喷嘴（17）。 管道在喷雾泵之前被分支到排水管线。 阀和端点检测阀连接在两个部分以更换光刻胶插座。 两部分的管道通过分支管连接到排水管线和喷射泵。

公开(公告)号：KR1020010027002A

公开(公告)日：2001-04-06

申请号：KR1019990038557

申请日：1999-09-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 우재영 ,  김희덕 ,  민병호

IPC: G03C1/00

Abstract: PURPOSE: A photographic process treatment system capable of improving the manufacturing speed and processing uniformity of a semiconductor by performing in-line expansion of an ultraviolet radiation process into a bake unit of a spinner apparatus used in a photographic process to improve reproducibility of linewidth to a fine pattern is provided which improves yield and processing reproductivity. CONSTITUTION: This treatment system comprises a bake unit (200) comprising a reaction chamber formed a light transmitting member at the upper part, a heating device for a wafer in a reaction space, a wafer lift fin (224) connected through the heating device and inserted thereinto to separate the wafer from the heating device and safely place and a first actuator for ascending and descending the heating device; a UV radiation unit containing a UV lamp (110); a UV radiation unit lifter (120) containing a second actuator for moving the UV radiation unit to the bake unit and ascending and descending at the same time; and a main controller for controlling the first actuator and the second actuator.

Abstract translation: 目的：一种摄影处理系统，其能够通过将紫外线辐射过程线性膨胀到用于摄影过程中的旋转器装置的烘烤单元中来提高半导体的制造速度和加工均匀性，以提高线宽的再现性 提供了提高产量和处理繁殖力的精细图案。 构成：该处理系统包括烘烤单元（200），其包括在上部形成有透光构件的反应室，反应空间中的晶片加热装置，通过加热装置连接的晶片提升翅片（224）和 插入其中以将晶片与加热装置分离，并安全地放置和用于上升和下降加热装置的第一致动器; 包含UV灯（110）的UV辐射单元; UV辐射单元升降器（120），其包含用于将UV辐射单元移动到烘烤单元并同时上升和下降的第二致动器; 以及用于控制第一致动器和第二致动器的主控制器。

公开(公告)号：KR1020010017681A

公开(公告)日：2001-03-05

申请号：KR1019990033337

申请日：1999-08-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 민병호 ,  박영호 ,  신동화

IPC: H01L21/02

Abstract: PURPOSE: An exhaust method used in a semiconductor device fabricating equipment is provided to release photoresist fumes from a chamber by periodically or automatically exhausting the chamber. CONSTITUTION: The fabricating equipment includes the chamber(2) having an exhaust pipe(7) and a door(3), the first and second arms(8,9) for transferring a wafer, sensors(10,11) for detecting the wafer, a sensor(12) for detecting the position of the arms(8,9), and a controller(21). To exhaust the chamber(2) by force, the exhaust method begins with determining a way of exhaust. If the expected time of exhaust and the exhausting time are set in the controller(21), a forced exhaust will progress periodically. However, in case of no time set, the forced exhaust will progress automatically whenever an absence of the wafer is ascertained. The wafer detecting sensors(10,11) ascertain whether the wafer is or not in the chamber(2). If the absence of the wafer is ascertained, the first and second arms(8,9) stop operating with the door(3) kept shutting. Thereafter, the exhaust pipe(7) is opened, and then the forced exhaust progresses.

Abstract translation: 目的：提供一种在半导体器件制造设备中使用的排气方法，以通过周期性地或自动地排出腔室来从腔室释放光致抗蚀剂烟雾。 构成：制造设备包括具有排气管（7）和门（3）的腔室（2），用于传送晶片的第一和第二臂（8,9），用于检测晶片的传感器（10,11） ，用于检测臂（8,9）的位置的传感器（12）和控制器（21）。 为了用力排出腔室（2），排气方法从确定排气方式开始。 如果在控制器（21）中设定排气预期时间和排气时间，则强制排气将周期性地进行。 然而，在没有时间设定的情况下，当确定不存在晶片时，强制排气将自动进行。 晶片检测传感器（10,11）确定晶片是否在室（2）中。 如果没有确定晶片，则第一和第二臂（8,9）停止操作，门（3）不断关闭。 此后，排气管（7）打开，然后强制排气进行。

公开(公告)号：KR1020000009863A

公开(公告)日：2000-02-15

申请号：KR1019980030516

申请日：1998-07-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이현옥 ,  민병호

IPC: H01L23/28

CPC classification number: H01L2224/48091 ,  H01L2224/48247 ,  H01L2224/48465 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2924/00

Abstract: PURPOSE: A semiconductor chip package is provided, which forms an yield film of an electromagnetic wave on a surface of a molder for yielding a electromagnetic wave occurred from a semiconductor chip. CONSTITUTION: The semiconductor chip package comprises: a semiconductor chip (32) which bonding pads (34) are formed on a certain surface; leads (36) to be electrically coupled to bonding pads (34) by a conductive means; a molder (44) for molding the semiconductor chip (32) and the circumference of the semiconductor chip (32) for outputting outleads (42) among leads (36); and an electromagnetic wave yield portion (46) to be formed on a surface of the molder (44) at a state grounded to a certain ground lead among outleads (42) for covering the surface of the molder (44). Since the yield film of an electromagnetic wave can to easily formed using conductive materials, the producing rate of the product can to be improved.

Abstract translation: 目的：提供一种半导体芯片封装，其在成型机的表面上形成电磁波的屈服膜，以产生从半导体芯片发生的电磁波。 构成：半导体芯片封装包括：在特定表面上形成接合焊盘（34）的半导体芯片（32） 引线（36）通过导电装置电耦合到焊盘（34）; 用于模制半导体芯片（32）的模塑机（44）和用于在引线（36）之间输出引出线（42）的半导体芯片（32）的周边; 以及形成在成型器（44）的表面上的电磁波产生部分（46），所述电磁波产生部分（46）在用于覆盖模制器（44）的表面的引出部分（42）中接地到某一接地引线的状态。 由于可以使用导电材料容易地形成电磁波的屈服膜，所以可以提高产品的生产率。

公开(公告)号：KR100244923B1

公开(公告)日：2000-02-15

申请号：KR1019970009295

申请日：1997-03-19

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 민병호 ,  오상훈 ,  장호선

IPC: H01L21/205

Abstract: 반도체장치를 제조하는 공정설비의 가스 분배장치의 배관에 설치되는 유량제어기의 정상적인 동작여부를 타이머를 이용하여 자동으로 체크하도록 한 유량제어기(Mass Flow Controller)의 유량 체크 장치에 관한 것이다.
본 발명은, 유체의 최소 흐름양이 설정되어서 상기 유량제어기에서 흐르는 유체의 흐름양과 비교하는 제 1 비교수단, 상기 유체의 최대 흐름양이 설정되어서 상기 유량제어기에서 흐르는 유체의 흐름양과 비교하는 제 2 비교수단, 상기 제 1 비교수단에서 상기 최소 흐름양 이상의 유체 흐름이 판단되면 제 1 스위칭신호를 출력하는 제 1 스위칭수단, 상기 제 2 비교수단에서 상기 최대 흐름양 이상의 유체 흐름이 판단되면 제 2 스위칭신호를 출력하는 제 2 스위칭수단 및 상기 제 1 스위칭신호에 의하여 카운트를 개시하고 상기 제 2 스위칭신호에 의하여 홀드되는 타이머를 구비하여 이루어진다.
따라서, 반도체장치를 제조하기 위하여 가스의 분배장치에 설치된 유량조절기의 상태를 손쉽고 간단하게 체크할 수 있어서 작업성이 극대화되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019980065196A

公开(公告)日：1998-10-15

申请号：KR1019970000056

申请日：1997-01-04

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김흥태 ,  민병호

IPC: H01L21/02

Abstract: 공정챔버 내부의 기체를 고진공밸브를 통하여 슬로우펌핑(Slow Pumping) 및 하드펌핑(Hard Pumping)을 수행함으로써 펌핑에 관련된 고장이 방지되도록 개선시킨 반도체 제조용 식각설비의 펌핑 장치 및 그 제어 방법에 관한 것이다.
본 발명은, 고진공밸브를 포함하는 복수 개의 밸브를 제어하면서 공정챔버 내부의 기체를 펌핑하도록 구성되는 반도체 제조용 식각설비의 펌핑 장치에 있어서, 폐쇄용 공기공급관 및 개방용 공기공급관을 통하여 공기가 절환공급되어 상기 고진공밸브의 개폐상태를 조절하는 고진공밸브 구동수단, 상기 고진공밸브 구동수단에 따른 상기 고진공밸브의 개폐정도를 센싱하는 센싱수단 및 상기 고진공밸브 구동수단으로의 공기공급을 슬로우펌핑 및 하드펌핑을 포함하는 모드 별로 구분하여 상기 고진공밸브의 개폐정도를 가변하면서 펌핑을 제어하는 제어수단을 구비하여 이루어진다.
따라서, 본 발명에 의하면 화학기상식각기(CVE)의 펌핑이 원활하게 진행되므로 공정이 안정되게 수행될 수 있고, 그에 따라 설비에 대한 신뢰성 및 작업성이 극대화되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019980031830A

公开(公告)日：1998-07-25

申请号：KR1019960051392

申请日：1996-10-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 민병호 ,  홍형식 ,  조정훈

IPC: H01L21/20

Abstract: 런(Run)의 진행여부에 따라 안전 또는 비상경보램프를 발광시키고 런 중 백 도어(Back Door)가 열리면 경보음을 발생하도록 개선시킨 반도체 제조용 스캐번저의 도어 개폐 감지장치에 관한 것이다.
본 발명은, 런 중인 경우 도어를 여는 것을 방지하기 위한 반도체 제조용 스캐번저(Scavenger)의 도어 개폐 경보장치에 있어서, 전원, 런 여부에 따라 연동스위칭되는 제 1 릴레이, 상기 릴레이의 연동상태에 따라 2접점 스위칭되는 제 2 릴레이 및 상기 제 2 릴레이가 제 1 접점 스위칭되면 전원을 인가받아서 안전경보램프를 점등하고, 상기 제 2 릴레이가 제 2 점점 스위칭되면 전원을 인가받아서 비상경보램프를 점등하는 경보수단을 구비하여 이루어진다.
따라서, 확산공정을 수행하는 중 도어가 열려서 발생될 수 있는 문제점을 사전에 예방할 수 있어서, 설비의 가동율을 높여서 수율 및 생산성을 향상시킬 수 있고, 사고를 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR100766496B1

公开(公告)日：2007-10-15

申请号：KR1020050061833

申请日：2005-07-08

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 민병호

IPC: H04N5/44

CPC classification number: H04N5/765 ,  G09G5/006 ,  G09G2360/10 ,  G09G2370/047 ,  G09G2370/10 ,  G09G2370/12 ,  H04N21/43615

Abstract: 본 발명의 전송 시스템은, 영상 설정 정보 및 전송 인에이블 신호의 상태를 저장하기 위한 레지스터 설정 회로와, 제 1 신호를 발생하고, 상기 전송 인에이블 신호에 응답해서 보조 데이터를 패킷화하고, 제어 신호에 응답해서 패킷 데이터를 출력하는 데이터 패킷 회로, 및 상기 레지스터 설정 회로로부터의 상기 영상 설정 정보와 상기 데이터 패킷 회로로부터의 상기 제 1 신호에 응답해서 상기 제어 신호를 발생하는 제어 신호 발생기를 포함하여 HDMI 규약에 따른 오디오/보조 데이터 패킷화를 수행한다.

公开(公告)号：KR1020060090859A

公开(公告)日：2006-08-17

申请号：KR1020050011544

申请日：2005-02-11

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 서윤범 ,  공명석 ,  민병호

IPC: G06F12/14 ,  G06F15/78

CPC classification number: G06F21/79

Abstract: 제 1 보안키를 소정 영역에 저장하는 온 칩 메모리부, 제 2 보안키를 저장하는 제 2 보안키 저장부, 칩 내부로부터 온 칩 메모리부에 대한 억세스 신호를 발생시키는 메모리 컨트롤러, 칩 외부로부터 온 칩 메모리부에 대한 억세스를 요청하기 위한 테스트 인에이블 신호와 온 칩 메모리부에 대한 억세스 신호를 수신하는 외부 입출력 핀, 온 칩 메모리부로부터 메모리 컨트롤러를 통하여 제 1 보안키를 읽어들이고, 제 2 보안키 저장부로부터 제 2 보안키를 읽어들여 비교하고 보안키 비교 신호를 출력하는 비교 로직부, 및 보안키 비교 신호에 응답하여, 외부 입출력 핀을 통하여 수신된 온 칩 메모리부에 대한 억세스 신호의 허용 여부를 결정하는 억세스 제어부를 포함하여 온 칩 메모리를 이용한 기밀 정보 보안 장치를 구성한다. 따라서, 제품의 생산 과정에서는 기밀 정보의 저장 및 변경을 가능하게 하고, 제품이 출하된 다음에는 기밀 정보의 파괴 및 유출을 방지할 수 있도록 하는 효과가 있다.