Abstract:
온도 조절이 가능한 밸브 시스템은 유체의 흐르는 배관을 개폐하기 위한 밸브의 온도를 조절하기 위해 밸브를 둘러싸는 열전소자 어레이를 포함한다. 온도 센서에서 밸브의 온도를 검출하고, 전원부는 열전소자 어레이로 전원을 공급한다. 제어부는 밸브의 온도가 기 설정된 온도에 근접하도록 전원부를 제어한다. 따라서 유체의 온도에 상관없이 밸브의 온도를 조절할 수 있다.
Abstract:
배기부를 포함하는 반도체 기판 가공 장치에 있어서, 공정 챔버 내로 다수의 반도체 기판들을 구비하고, 반응 가스를 주입하여 확산 공정을 수행한다. 이때, 배기부가 상기 공정 챔버와 연결되어 공정 챔버로부터 배기 가스를 배출시키고 상기 공정 챔버의 압력을 조절한다. 상기 배기부는 펌프와, 상기 펌프와 공정 챔버를 연결하기 위한 배기 라인과, 상기 배기 라인 중에 구비된 밸브들을 포함한다. 상기 밸브들 중 하나를 선택적으로 공정 챔버와 연결하고, 상기 밸브에 이상이 있는 경우, 상기 밸브들 중 다른 하나를 선택적으로 공정 챔버와 연결시켜, 상기 밸브 이상으로 인한 배기 가스 역류를 억제할 수 있으며, 공정을 지속적으로 진행시킬 수 있다.
Abstract:
셋탑 박스와 같은 외부 기기와 연결시 그 외부 기기가 정상적으로 동작할 때 까지 사용자에게 온 스크린 표시(on screen display)하는 방법 및 그 장치가 개시되어 있다. 본 발명은 외부 입력 기기들을 연결하는 외부 입력 기기연결부를 구비한 영상 기기에서 사용자 안내 온 스크린 표시 방법에 있어서, 디스플레이 모드가 외부 입력 모드일 경우 상기 외부 기기들로부터 발생하는 신호를 검출하는 과정, 신호가 검출되지 않으면 일정 시간 동안 외부 기기의 신호를 탐색중임을 알리는 온 스크린 표시 정보를 표시하고, 신호가 검출되면 상기 온 스크린 표시 정보를 제거하는 과정을 포함한다.
Abstract:
본 발명은, 디지털 방송과 아날로그 방송 중 어느 하나의 방송을 재생하는 텔레비전 장치에 관한 것으로서, 본 발명의 텔레비전 장치는 아날로그 방송신호와 디지털 방송신호를 수신하는 방송신호수신부와; 상기 방송신호수신부로부터의 아날로그 방송신호를 처리하는 아날로그 영상처리부와; 상기 방송신호수신부로부터 상기 아날로그 방송신호의 채널 정보와 디지털 방송신호의 채널 정보를 포함하는 디지털 방송신호를 입력받아 처리하는 디지털 영상처리부와; 상기 디지털 영상처리부와 상기 아날로그 영상처리부에서 출력되는 소정의 영상신호를 선택적으로 출력하는 비디오 스위칭부와; 소정의 아날로그 채널방송 선택 시에, 해당 채널에 따른 아날로그 방송신호와 디지털 방송신호를 수신하도록 상기 방송신호수신부를 제어하고, 상기 디지털 방송신호에 포함된 상기 아날로그 방송신호의 채널 정보와 상기 디지털 방송신호의 채널 정보가 동일한 경우, 상기 디지털 방송신호를 재생하도록 상기 디지털 영상처리부와 상기 아날로그 영상처리부와 상기 비디오 스위칭부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 디지털 방송에 익숙하지 않은 사용자가 디지털 방송을 보다 편리하게 시청할 수 있는 텔레비전 장치를 제공할 수 있다.
Abstract:
A semiconductor manufacturing heater block is provided to improve the uniformity of heat conductivity by minimizing a gap between a hot wire and a body and installing a heat conductor in the body. A semiconductor manufacturing heater block includes an upper body(100) for loading stably a wafer, upper installing grooves(110) roundly formed under the upper body, a hot wire(300) inserted in the upper installing grooves, and a lower body. The lower body(200) includes lower installing grooves(210) roundly formed on the upper surface corresponding to the shape of the hot wire. The upper body includes a heat conductor(500) between the wafer loading surface and the hot wire.
Abstract:
PURPOSE: A polishing pad conditioning disk and a polishing pad conditioner having the same are provided to remove polishing residues from a surface of a polishing pad and lengthen the lifetime of the polishing pad by using the first conditioning part having diamond particles and the second conditioning part having a brush. CONSTITUTION: A plate(110) is formed with a shape of a disk. The first conditioning part(120) is partially formed on one side of the plate. A plurality of diamond particles are adhered on the first conditioning part in order to dress a surface of a polishing pad by cutting the surface of the polishing pad. The second conditioning part(130) is formed on one side of the plate adjacent to the first condition part. A brush is adhered on the second conditioning part in order to remove polishing residues from the surface of the polishing pad.
Abstract:
PURPOSE: A lifting apparatus is provided to be capable of restraining the generation of a popping phenomenon and stably loading and unloading a semiconductor substrate. CONSTITUTION: A lifting apparatus includes a socket(110) connected to the lower portion of the first hole. At this time, the socket has the second hole having the same pivot as the first hole. The lifting apparatus further includes a bellows(120) connected with the lower portion of the socket and a lift pin(130). The lift pin includes a load integrated along the pivot of the second hole and bellows for loading and unloading a process object part by the motion of the bellows, and a head formed at the upper portion of the load for supporting the process object part. A path is formed between the second hole and the lift pin for exhausting the gas of the bellows while the bellows is shrunk. Preferably, a groove and the third hole are used as the path.
Abstract:
PURPOSE: A power connector for a heater block of semiconductor fabricating equipment is provided to extend the lifetime of a heater block and improve the operation rate of the equipment by solving a problem arising from a damaged heater block and by preventing a defect caused by arcing. CONSTITUTION: A post heater is mounted on a heater block through a screw(145) inserted into the heater block with a heat wire, having a head part(140) protruding to the outside of the heater block. A connector(150) of a pin type provides a power supply path to the heat wire, connected to the head part. A tightening pin(155) is inserted into the front portion of the connector to supply an additional connection path, opening the head part. A spring(157) in the connector pushes the tightening pin toward the front so as to be inserted into the head part when the head part and the connector are interconnected.