公开(公告)号：KR1020000051802A

公开(公告)日：2000-08-16

申请号：KR1019990002441

申请日：1999-01-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 우재영 ,  현기철

IPC: H01R33/06

Abstract: PURPOSE: A socket for a lamp having pins is provided to combine the lamp with the socket or dissemble the lamp from the socket easily, and to securely fix the pins of the lamp on the terminal of the socket. CONSTITUTION: A socket for a lamp having pins according to the present invention includes a body and a member. The body incorporates a terminal connected with the pins of the lamp. The body is to be coupled with the external power supply with the lamp. The member includes a first and second positions. The member is also slidingly movable on the body. The first position presses one side of the pin when the pin is combined with the body. The second position is removed from the pin when the member is slided from the body. The member is moved to the second position when the lamp is to be combined or disassembled in order to facilitate the operation of assembling and dissembling.

Abstract translation: 目的：提供一个灯管插座，用于将灯与插座组合起来，轻松将插座从插座上拆下，并牢固地固定插座端子上的灯管。 构成：根据本发明的具有销的灯的插座包括主体和构件。 本体包含一个与灯管连接的端子。 身体将与外部电源与灯泡耦合。 该构件包括第一和第二位置。 该成员也可在身体上滑动移动。 当销与主体结合时，第一个位置可以按压销的一侧。 当构件从身体滑动时，第二位置从销上移除。 当灯组合或拆卸时，构件移动到第二位置，以便于组装和拆卸的操作。

公开(公告)号：KR100238944B1

公开(公告)日：2000-01-15

申请号：KR1019970000382

申请日：1997-01-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 우재영 ,  최우열

IPC: H01L21/30

CPC classification number: F27D1/1858 ,  F27B17/02

Abstract: 습식식각공정을 마친 웨이퍼를 하드 베이크(Hard Bake)하는 베이크설비에서 카세트가 출입하는 통로를 개폐하는 도어개폐장치에 관한 것이다.
본 발명은 베이크설비의 공정챔버 도어개폐장치에 있어서, 공정챔버의 출입구 일측에 형성된 보스와, 상기 보스에 회전가능하게 관통된 회전축과, 상기 공정챔버에 고정되어 회전축의 양단을 회전지지하는 베어링과, 상기 회전축을 소정각도 정,역회전시키는 구동수단과, 상기 회전축에 일측이 고정되고 회전축과 연동하여 출입구를 개폐하는 도어를 포함하여 구성된 것이다.
따라서 도어의 개폐동작이 자동화됨으로써 작업성이 향상되고, 도어의 회전동작이 원활하게 이루어져 회전부위에서의 마모로 인한 파티클이 감소되어 수율이 향상되며, 작업자가 직접 도어를 개폐할 필요가 있어 공정챔버내의 고열로부터 작업자를 보호할 수 있는 효과를 갖는다.

公开(公告)号：KR100237827B1

公开(公告)日：2000-01-15

申请号：KR1019960063877

申请日：1996-12-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 우재영 ,  김희덕

IPC: H01L21/304

Abstract: 수조(Bath) 내부에 초순수(Deionized Water)가 일정량 이상 수용된 상태에서만 초음파 세정이 수행되어 설비의 손상을 방지하고 수조의 구조를 개선시킨 반도체제조설비의 초음파 세정장치 및 그 제어 방법에 관한 것이다.
본 발명은, 진동자를 진동시켜서 초음파를 발생시킴으로써 수조에 수용되는 초순수에 담기는 반도체제조설비의 부품에 붙은 이물질을 세정하는 반도체제조설비의 초음파 세정장치에 있어서, 상기 수조에 수용되는 초순수의 양을 센싱하는 레벨센싱수단 및 상기 레벨센싱수단에서 상기 초순수의 수용량을 소정 양 이상으로 센싱하면 상기 부품을 세정하기 위한 상기 진동자의 동작을 제어하는 제어수단을 구비하여 이루어진다.
따라서, 수조 내에 순수가 수용되지 않은 상태에서의 초음파 발생이 방지되어 설비의 손상이 예방되므로 수명이 연장되는 효과가 있으며, 수조의 구조 개선으로 세정작업이 원활하게 이루어지며, 초순수를 가열시켜서 초음파 세정이 이루어져서 세정효율이 극대화되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019990085795A

公开(公告)日：1999-12-15

申请号：KR1019980018416

申请日：1998-05-21

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 우재영 ,  최규상

IPC: G02B21/00

Abstract: 본 발명은 헤드부와 조명부를 억지끼움으로 결합시킨 반도체소자 검사용 현미경장치에 관한 것이다.
본 발명은, 접안렌즈 등이 구비되는 헤드부와 상기 헤드부와 결합되는 조명부 등으로 이루어지는 반도체소자 검사용 현미경장치에 있어서, 상기 헤드부와 조명부는 억지끼움으로 결합할 수 있도록 상기 헤드부와 조명부가 면접하는 부분에 서로 엇갈리는 끼움수단을 각각으로 구비시키는 것을 특징으로 한다.
따라서, 현미경장치의 이상발생 및 검사공정의 이상발생 등을 최소화시킴으로써 반도체소자의 제조에 따른 검사공정의 신뢰도가 향상되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR100217322B1

公开(公告)日：1999-09-01

申请号：KR1019960006865

申请日：1996-03-14

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 우재영 ,  최우열

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명은 스핀 방식에 의한 포토레지스트 도포작업에서 고속 회전에 따른 잉여 액상이 되튀겨지지 않도록 받아주는 캣치컵을 세정하도록 하는 반도체 제조설비의 캣치컵 세정장치에 관한 것으로, 그 구성은 캣치컵을 다수개 수용하는 바스켓 및 소정량의 세정액을 수용할 수 있는 세정챔버가 형성된 세정장치에 있어서, 소정량의 세정액을 저장하기 위한 저장탱크와, 상기 저정탱크로 세정액을 공급할 수 있도록 연결된 세정액 투입용 공급용기가 구비되고 상기 공급용기의 일측면에는 세정액 정량용기를 착탈시킬 수 있는 용기 케이스가 고정된 회전대가 수평배치되어 그 양단이 자전 가능하도록 지지되며 상기 회전대 일단의 굴곡부에는 실린더 축이 연결되어 상기 회전대를 회전시킬 수 있도록 된 세정액 투입부와, 상기 저장탱크와 연결되어 상기 저장탱크 내부에 투입된 세정액을 다수개의 세정챔버에 공급하는 세정액 공급펌프;를 포함한 구성으로 이루어진다.
따라서, 캣치컵에 의한 화재의 위험을 방지하고, 작업자의 신체에 대한 손상이 없도록 하며, 작업자의 노동력과 세정에 소요되는 시간을 단축하게 되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019980065413A

公开(公告)日：1998-10-15

申请号：KR1019970000382

申请日：1997-01-09

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 우재영 ,  최우열

IPC: H01L21/30

Abstract: 습식식각공정을 마친 웨이퍼를 하드 베이크(Hard Bake)하는 베이크설비에서 카세트가 출입하는 통로를 개폐하는 도어개폐장치에 관한 것이다.
본 발명은 베이크설비의 공정챔버 도어개폐장치에 있어서, 공정챔버의 출입구 일측에 형성된 보스와, 상기 보스에 회전가능하게 관통된 회전축과, 상기 공정챔버에 고정되어 회전축의 양단을 회전지지하는 베어링과, 상기 회전축을 소정각도 정,역회전시키는 구동수단과, 상기 회전축에 일측이 고정되고 회전축과 연동하여 출입구를 개폐하는 도어를 포함하여 구성된 것이다.
따라서 도어의 개폐동작이 자동화됨으로써 작업성이 향상되고, 도어의 회전동작이 원활하게 이루어져 회전부위에서의 마모로 인한 파티클이 감소되어 수율이 향상되며, 작업자가 직접 도어를 개폐할 필요가 있어 공정챔버내의 고열로부터 작업자를 보호할 수 있는 효과를 갖는다.

公开(公告)号：KR1019980040757A

公开(公告)日：1998-08-17

申请号：KR1019960059994

申请日：1996-11-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 우재영 ,  우창우

IPC: H01L21/304

Abstract: 세정공정이 끝난 상태로 웨이퍼 및 각종 부품을 건조챔버 내부에 투입하여 가열 건조하고 배출구를 선택적으로 개폐함으로써 건조챔버 내부의 온도를 일정 수준으로 유지 형성하는 반도체 건조설비의 배기시스템에 관한 것이다.
본 발명은 건조챔버의 배기관 내에 회전축을 중심으로 회전함에 따라 상기 배기관을 개폐하는 밸브를 갖는 반도체 건조설비의 배기시스템에 있어서, 상기 회전축과 연결되어 상기 회전판에 회전력을 제공하는 동력장치와, 상기 동력장치에 의한 상기 회전판의 개폐 정도를 감지하도록 형성된 개폐 센서와, 상기 개폐 센서와 상기 건조챔버 내부에 설치된 열전대와 연결되어 이들 신호에 따라 상기 동력장치의 구동을 제어하는 제어부 및 상기 제어부에 연결 설치되어 상기 회전판의 개폐 정도를 디스플레이 하는 디스플레이 패널이 설치됨을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명에 의하면 배출구에 설치된 밸브를 용이하게 조작함에 따라 내부에 투입된 웨이퍼와 부품 및 작업자의 화재에 의한 손상과 재해를 방지하게 되고, 공정 시간이 단축되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR100696379B1

公开(公告)日：2007-03-19

申请号：KR1020050034666

申请日：2005-04-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이헌정 ,  이양구 ,  전필권 ,  박상오 ,  우재영

IPC: H01L21/304

CPC classification number: H01L21/02052 ,  B08B3/04 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67028 ,  H01L21/67126

Abstract: 본 발명은 나노 파티클의 역흡착이 없는 세정 장치 및 세정 방법을 개시한다. 본 발명은 피처리물을 세정하기 위한 처리액이 채워지는 세정조와, 상기 세정조의 상부에 배치되어 상기 피처리물을 건조시키기 위한 유체가 상단부에서 제공되는 건조실을 포함한다. 또한, 상기 세정조와 상기 건조실 사이를 이동하며 상기 피처리물을 이송하는 이송 수단을 포함한다. 여기서, 상기 건조실이 밀폐되도록 상기 건조실 하단부에 활주 가능하게 배치되며 상기 건조실 내로 제공된 상기 건조용 유체를 배기시키는 배기판을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하면, 웨이퍼 간격이 조밀함으로써 생기는 웨이퍼 센터 부위에서의 유체 흐름에 대한 저항 증가가 상쇄됨으로써 건조용 유체의 흐름이 균일한 층류가 된다.
반도체 웨이퍼, 세정 장치, 세정조, 건조실, 이소프로필알코올(IPA)

公开(公告)号：KR100655429B1

公开(公告)日：2006-12-08

申请号：KR1020050107754

申请日：2005-11-10

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이헌정 ,  변병광 ,  김경수 ,  우재영 ,  황동원 ,  채승기 ,  이양구 ,  김상희 ,  박영환

IPC: H01L21/3063

Abstract: An apparatus for regenerating a phosphoric acid solution is provided to facilitate deposition of silicate in a phosphoric acid solution and save energy necessary for separating the phosphoric acid solution from alcohol by using alcohol as an additive. Substrates are received in a process unit(100) in which a process for removing a layer formed on a substrate is performed. A regeneration system(300) removes by-products melted in a phosphoric acid solution exhausted from the process unit, including a regeneration line(310), an additive supply member(330), a filter(350), and a heating member(360). The phosphoric acid solution to regenerate flows through the regeneration line. The additive supply member supplies alcohol to the phosphoric acid solution. The filter eliminates the impurities deposited from the alcohol-mixed phosphoric acid solution. The heating member heats the phosphoric acid solution from which the impurities are removed so as to eliminate the alcohol from the phosphoric acid solution. The regeneration system further includes a mixture tank in which the phosphoric acid solution mixes with alcohol.

Abstract translation: 提供一种用于再生磷酸溶液的装置，以促进硅酸盐在磷酸溶液中的沉积，并通过使用醇作为添加剂来节省从醇分离磷酸溶液所需的能量。 衬底被接收在处理单元（100）中，在处理单元（100）中执行用于去除形成在衬底上的层的处理。 再生系统（300）除去从处理单元排出的磷酸溶液中熔化的副产物，所述副产物包括再生管线（310），添加剂供应构件（330），过滤器（350）和加热构件（360 ）。 再生的磷酸溶液流过再生管线。 添加剂供应部件将醇供应到磷酸溶液。 该过滤器消除了从醇混合磷酸溶液中沉积的杂质。 加热部件加热除去了杂质的磷酸溶液，从而从磷酸溶液中除去醇。 再生系统还包括混合罐，其中磷酸溶液与醇混合。

公开(公告)号：KR100552057B1

公开(公告)日：2006-02-20

申请号：KR1019990013310

申请日：1999-04-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 우창우 ,  우재영 ,  윤명식 ,  현기철

IPC: H01L21/68

Abstract: 본 발명은 그라인더에서 연마되는 분석용 웨이퍼를 고정하기 위한 지그 시스템에 관한 것이다. 본 발명의 지그 시스템은 지그와 지지부재를 구비한다. 상기 지그는 상기 분석용 웨이퍼가 수용될 홈이 형성되고, 상기 홈의 일면에는 스크류가 설치되어 상기 분석용 웨이퍼의 착탈을 용이하게 할 수 있다. 상기 지지부재는 상기 그라인더의 상방향에 복수개의 상기 지그가 결합되고, 상기 지그를 고정해서 상기 분석용 웨이퍼가 균일하게 연마되도록 하는 역할을 한다. 이와 같은 구성을 갖는 지그 시스템에 의하면, 분석용 웨이퍼의 착탈이 용이하기 때문에 작업성이 향상되며, 분석용 웨이퍼가 동시에 균일하게 연마되는 것이 가능하므로 설비 가동 효율이 증대되고 재작업으로 인한 시간 손실도 최소화할 수 있다. 또한, 분석용 웨이퍼가 균일하게 연마되므로 분석과 검사의 정확도가 향상되고 불균일한 단층면으로 인한 현미경 렌즈의 손상도 방지될 수 있다.