Abstract:
A semiconductor probe having a wedge shape resistive tip and a method of fabricating the semiconductor probe is provided. The semiconductor probe includes a resistive tip that is doped with a first impurity, has a resistance region doped with a low concentration of a second impurity having an opposite polarity to the first impurity, and has first and second semiconductor electrode regions doped with a high concentration of the second impurity on both side slopes of the resistive tip. The probe also includes a cantilever having the resistive tip on an edge portion thereof, and an end portion of the resistive tip has a wedge shape.
Abstract:
A semiconductor probe having a wedge-shaped resistive tip, and a method of fabricating the same are provided to increase the resolution of a resistance area by forming highly doped electrode areas on both sides of the resistance area of the resistive tip. A semiconductor probe comprises a resistive tip(150), and a cantilever(170). The resistive tip, doped by the first impurity, comprises a resistance area(156) which is doped by the second impurity, having an opposite polarity to that of the first impurity, in low concentration on its top portion, and has first and second semiconductor electrode areas(152,154) doped by the second impurity in high concentration on its inclined portion. The cantilever has the resistive tip on its edge portion. The end portion of the resistive tip is wedge-shaped and the length of the end portion of the tip is in a range of 20nm to 2mum.
Abstract:
반도체 탐침과 이를 이용한 기록재생방법이 개시된다. 개시된 반도체 탐침은 하부면에 전극층이 마련된 강유전성 매체에 정보를 기록 또는 기록된 정보를 재생하는 반도체 탐침으로서, 저항성 팁;과 매체와 대향하는 면에, 전극층과의 사이에 전압을 온, 오프 함으로써 매체와 팁 간의 접촉력을 조절하는 정전력 형성 전극부가 구비된 캔티레버;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 또 개시된 기록재생방법은 본 발명에 의한 반도체 탐침을 이용하는 기록재생방법으로서, 매체의 전극층과 반도체 탐침의 정전력 형성 전극부간에 전압을 인가하여 매체와 팁간의 접촉력에 정전력을 포함되게 하는 기록단계;와 전극층과 정전력 형성 전극부간에 전압을 인가하지 않아 매체와 팁간의 접촉력에 정전력이 포함되지 않게 하는 재생단계; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Abstract:
저항성 팁을 구비한 반도체 탐침 및 그 제조방법이 개시된다. 개시된 제조방법은 제1불순물을 도핑한 기판의 상면에 스트라이프형의 마스크막을 형성하고, 상기 마스크막을 제외한 상기 기판의 영역에 제2불순물을 고농도로 도핑하여 제1 및 제2반도체 전극영역을 형성하는 단계와, 상기 기판을 열처리하여 상기 제1 및 제2 반도체 전극영역의 외곽에 상기 제2분순물이 저농도로 도핑된 저항영역을 형성하는 단계와, 상기 마스크막과 직교하는 방향으로 스트라이프 형상의 제1감광제를 형성하고, 식각공정을 수행하여 상기 마스크막을 사각형상으로 형성하는 단계와, 상기 제1감광제의 일부를 덮으며 캔티레버 영역을 한정하는 제2감광제를 형성하는 단계와, 상기 제1 및 제2감광제를 제외한 영역을 식각하여 상기 캔티레버 영역을 형성하는 단계와, 상기 제1 및 제2감광제를 제거하고, 상기 마스크막을 제외한 상기 기판을 식각하여 반사각뿔 형상의 저항성 팁을 형성하는 단계를 구비한다.
Abstract:
자기 논리 소자와 그 제조 및 동작 방법이 개시되어 있다. 개시된 본 발명은 제1 배선 상에 적층되어 자기 분극 방향이 주어진 방향으로 고정된 하부 자성막과, 상기 하부 자성막 상에 적층된 비자성막과, 상기 비자성막 상에 적층되어 자기 분극 방향이 상기 하부 자성막의 자기 분극 방향과 동일하거나 반대인 상부 자성막과, 상기 상부 자성막 상에 형성된 제2 배선을 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 논리 소자와 그 제조 및 동작 방법을 제공한다. 상기 제1 배선의 일단과 상기 제2 배선의 일단사이에 제1 전류원이 구비되고, 상기 제1 배선의 타단과 상기 제2 배선의 타단사이에 제2 전류원이 구비될 수 있다.
Abstract:
이방성 전도층을 구비하는 강유전체 기록 매체, 그것이 구비되는 기록 장치 및 그 기록 방법이 개시된다. 강유전체 기록 매체는 강유전체 기록층과 상기 강유전체 기록층을 덮는 보호층을 구비하는 것으로서, 상기 강유전체 기록층은 극성 반전(polarization reversal)되는 강유전성 물질(ferroelectric material)로 형성되고, 상기 보호층은 외부 에너지에 의해 도체, 부도체로 전이되는 전기적 이방성 전도층(anisotropic conduction layer)인 것을 특징으로 한다. 개시된 강유전체 기록 매체에 의하면, 헤드 팁과 강유전체 기록층 사이에 작은 전압을 인가하면서 읽기/쓰기 작업을 수행할 수 있고, 강유전체 기록층이 긁히거나 헤드 팁이 손상/파손되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.
Abstract:
PURPOSE: An HD information storing medium is provided to easily emit photo electrons by forming protrusions of several nm in a desired pattern and store information in the high density by stacking a dielectric layer for storing the photo electrons on a top surface. CONSTITUTION: An HD information storing medium includes a lower electrode(11), an insulating layer(13) stacked on the lower electrode, a photo electron emitting layer(15) stacked on the insulating layer and arranged with a plurality of protrusions(19), and a dielectric layer(17) stacked on the photo electron emitting layer. The lower electrode and the photo electron emitting layer are formed of metal, wherein the photo electron emitting layer is formed of a metal having a low work function such as aluminium. The photo electron emitting layer emits the photo electrons as a predetermined electric charge is applied to the layer, and the emitted photo electrons are stored to the dielectric layer. The dielectric layer is formed of Al2O3 or Si3N4 for trapping the photo electrons in structural defect portions, thereby preventing the emitting of the photo electrons into the atmosphere.
Abstract translation:目的:提供HD信息存储介质,通过以期望的图案形成几nm的突起,容易地发射光电子,并且通过在顶表面堆叠用于存储光电子的介电层,以高密度存储信息。 构成:HD信息存储介质包括下电极(11),层叠在下电极上的绝缘层(13),层叠在绝缘层上并配置有多个突起(19)的光电子发射层(15) ,以及层叠在光电子发射层上的电介质层(17)。 下电极和光电子发射层由金属形成,其中光电子发射层由具有低功函数的金属形成,例如铝。 当向该层施加预定的电荷时,光电子发射层发射光电子,并且所发射的光电子被存储到电介质层。 电介质层由Al 2 O 3或Si 3 N 4形成,用于捕获结构缺陷部分中的光电子,从而防止光电子发射到大气中。
Abstract:
A CMOS image sensor includes a pixel array comprising multiple pixels, wherein each pixel includes a photogate structure which is controlled based on a first gate voltage and a sensing transistor which includes a charge pocket region formed in a substrate region and is controlled based on a second gate voltage. The photogate structure collects charges generated in response to light incident upon the substrate region based on the first gate voltage. The sensing transistor controls at least one among the threshold voltage of the sensing transistor and the current flowing in the sensing transistor in response to charges transmitted from the photogate structure to the charge pocket region based on the difference between the first gate voltage and the second gate voltage.