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公开(公告)号：KR1020080094291A
公开(公告)日：2008-10-23
申请号：KR1020070038519
申请日：2007-04-19
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: An apparatus for inspecting the uniformity of pattern is provided to inspect the CD uniformity of periodical patterns and the phase defect information. An apparatus for inspecting the uniformity of pattern comprises a sample(10) having periodical patterns, a light source, a detector(40), an amplifier(50), and an inspection part(80). The light source irradiates laser beam having short wavelength to the sample. The detector detects the frequency of beam reflected from the sample. The amplifier measures amplitude of the laser reflected from the sample and a phase signal by comparing the frequency of the reflected beam detected by the detector and the frequency of a reference beam emitted from the light source. The inspection part inspects the CD uniformity of the sample pattern and phase defect information by analyzing the amplitude of the laser measured by the amplifier and the phase signal.
Abstract translation: 提供了一种用于检查图案均匀性的装置，用于检查周期图案的CD均匀性和相缺陷信息。 用于检查图案均匀性的装置包括具有周期图案的样品（10），光源，检测器（40），放大器（50）和检查部分（80）。 光源向样品照射具有短波长的激光束。 检测器检测从样品反射的光束的频率。 放大器通过比较由检测器检测的反射光束的频率和从光源发射的参考光束的频率，来测量从样本反射的激光的振幅和相位信号。 检查部分通过分析由放大器测量的激光的振幅和相位信号来检查样品图案的CD均匀性和相缺陷信息。
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公开(公告)号：KR1020080064584A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：KR1020070001653
申请日：2007-01-05
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04N21/4363 , H04N5/44 , H04N21/436
CPC classification number: H04N21/43635 , H04N5/4403 , H04N21/43615 , H04N21/43622
Abstract: A transmission device connected with a reception device via an HDMI(High Definition Multimedia Interface) cable, and its control method are provided to transmit a remote controller control signal, which has been received by a transmission device, to a reception device by using an I2C line installed in an HDMI cable. A signal receiving unit(110) receives a control signal from a remote controller. A conversion unit(120) converts the received control signal into a signal that can be processed by a reception device. An I2C master interface(150) transmits the converted control signal to the reception device via an I2C line of an HDMI cable. The reception device includes an I2C slave interface for receiving the control signal from the transmission device via the I2C line, and a controller for performing a controlling operation according to the received control signal.
Abstract translation: 一种通过HDMI（高清晰度多媒体接口）电缆与接收装置连接的发送装置及其控制方法，用于通过使用I2C（高清晰度多媒体接口）电缆将由发送装置接收的遥控器控制信号发送到接收装置 线路安装在HDMI电缆中。 信号接收单元（110）从遥控器接收控制信号。 转换单元（120）将所接收的控制信号转换成可由接收装置处理的信号。 I2C主接口（150）通过HDMI电缆的I2C线将转换的控制信号发送到接收设备。 接收装置包括用于经由I2C线路从发送装置接收控制信号的I2C从接口，以及用于根据接收的控制信号执行控制操作的控制器。
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公开(公告)号：KR1020080051312A
公开(公告)日：2008-06-11
申请号：KR1020060122159
申请日：2006-12-05
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H04N21/44 , H04N21/433
Abstract: An image quality processing apparatus and an image quality processing method are provided to solve the image quality degradation of an image by performing an adaptive contents image quality process in consideration of a characteristic of contents. A confirmation unit(122) confirms a kind of decoded contents. A storing unit(130) stores image quality processing methods written according to kinds of the contents. A signal processing unit(140) reads the image quality processing method corresponding to the confirmed kind from the storing unit, and processes the decoded contents by using the read image quality processing method.
Abstract translation: 提供图像质量处理装置和图像质量处理方法，以通过考虑内容的特征执行自适应内容图像质量处理来解决图像的图像质量劣化。 确认单元（122）确认解码内容的种类。 存储单元（130）存储根据内容的种类写入的图像质量处理方法。 信号处理单元（140）从存储单元读取与确认类型相对应的图像质量处理方法，并且通过使用读取的图像质量处理方法处理解码的内容。
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公开(公告)号：KR1020080009782A
公开(公告)日：2008-01-30
申请号：KR1020060069416
申请日：2006-07-25
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C59/022 , B82Y40/00 , G03F7/2012
Abstract: A stamper and a production method thereof and an imprinting process of a substrate using a stamper are provided to prevent the stamper from being distorted by external circumferences by enhancing the intensity of the stamper. A production method of a stamper includes the steps of: stacking a stamper material on a substrate(100) with a predetermined pattern(110) and forming a stamper body(120) with the pattern replicated thereon; placing a strength reinforcing member(130) at the stamper body; hardening the stamper body and the strength reinforcing member; and separating the substrate and the stamper body from each other. The production method of the stamper further includes the step of stacking the stamper material on the strength reinforcing member to fix the strength reinforcing member after placing the strength reinforcing member at the stamper body. The strength reinforcing member is made of a minute fiber.
Abstract translation: 提供压模及其制造方法以及使用压模的基板的压印处理，以通过增强压模的强度来防止压模由外周扭曲。 压模的制造方法包括以下步骤：以预定图案（110）将压模材料堆叠在基板（100）上，并且形成具有复制在其上的图案的压模体（120）; 将强度加强构件（130）放置在压模体上; 使压模体和强度增强部件硬化; 并且将基板和压模体彼此分离。 压模的制造方法还包括将强化加强构件放置在压模体上之后，将强度补强材料堆叠在强化加强部件上的工序。 强度加强件由微细纤维制成。
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公开(公告)号：KR1020070117134A
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：KR1020060050928
申请日：2006-06-07
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0002 , B81C1/0046 , B82Y10/00 , B82Y40/00
Abstract: A method for forming a micro pattern using nano imprint is provided to form a pattern having various shapes and to output a hydrophile region and a hydrophobicity region alternately on a micro structure surface without chemical processing. A stamp(100) comprises a positive part(320) and a negative(120) part, wherein a micro structure having a hydrophile property is imprinted at the negative part. The micro structure of the stamp is copied at a surface region of a hydrophile property resist(300) which is coated on a substrate(200) by using a nano imprint.
Abstract translation: 提供了使用纳米压印形成微图案的方法，以形成具有各种形状的图案，并且在微结构表面上交替地输出亲水区域和疏水性区域而无需化学处理。 印模（100）包括正极（320）和负极（120）部分，其中具有亲水性的微结构印在负极部分。 通过使用纳米印记将印模的微结构复制在涂布在基板（200）上的亲水性抗蚀剂（300）的表面区域。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100704668B1
公开(公告)日：2007-04-09
申请号：KR1020050106906
申请日：2005-11-09
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 본 발명은 광학디바이스의 제조장치 및 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 복수의 프리즘을 갖는 광학디바이스의 제조장치는, 소정의 패턴의 빛을 출사하는 광원과; 상기 프리즘과 상기 광원 사이에 마련되어, 상기 광원에서 출사된 빛을 소정 파장 대역으로 추출하는 파장선택필터와; 상기 파장선택필터로부터 추출된 빛을 상기 프리즘으로 집광하는 집광렌즈와; 상기 프리즘으로부터 반사된 빛의 패턴을 표시하는 표시부와; 상기 표시부에 표시된 상기 패턴의 선명도가 소정의 범위에 있도록 상기 프리즘의 위치를 조절하는 스테이지를 포함한다. 이에 의해 용이하게 복수의 프리즘의 광로장을 일치시킬 수 있는 광학디바이스의 제조장치 및 제조방법이 제공된다.
Abstract translation: 用于制造光学装置的设备和方法 根据本发明的用于制造具有多个棱镜的光学装置的设备包括：发射预定图案的光的光源; 设置在棱镜和光源之间的波长选择滤波器，用于在预定波段中提取从光源发射的光; 一个会聚透镜，用于将从波长选择滤波器提取的光与棱镜会聚; 显示单元，用于显示从棱镜反射的光的图案; 还有一个调整棱镜位置的阶段，以便显示单元上显示的图案的清晰度在预定范围内。 由此，提供了一种能够容易地匹配多个棱镜的光路长度的光学装置的制造装置和方法。
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公开(公告)号：KR100651529B1
公开(公告)日：2006-11-29
申请号：KR1020050103244
申请日：2005-10-31
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: A method for setting and releasing a security function in a portable terminal is provided to change a password at every predetermined period and enable a user to set password conditions for being inputted with the password, thereby strengthening the security function. A method for setting and releasing a security function in a portable terminal comprises the following steps of: determining whether connection with an external storage medium to perform communication is made or not; if so, determining whether a data transmission signal is generated(410); if so, displaying password conditions for releasing security function setting corresponding to preset conditions(425); being inputted with a password, for releasing the security setting, from a user; and releasing the security setting if the inputted password corresponds to the preset password conditions(435,445).
Abstract translation: 提供了一种用于在便携式终端中设置和释放安全功能的方法，以在每个预定周期改变密码，并且使用户能够设置用于输入密码的密码条件，从而加强了安全功能。 一种用于在便携式终端中设置和释放安全功能的方法，包括以下步骤：确定是否与外部存储介质进行连接以进行通信; 如果是，则确定是否生成数据传输信号（410）; 如果是，则显示用于释放对应于预设条件的安全功能设置的密码条件（425）; 从用户输入密码以释放安全设置; 如果输入的密码对应于预设的密码条件（435,445），则释放安全设置。
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公开(公告)号：KR100588154B1
公开(公告)日：2006-06-09
申请号：KR1020050076102
申请日：2005-08-19
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 본 발명은 자기기록매체의 검사장치 및 그 검사방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 자기기록매체의 검사장치는, 상기 자기기록매체로 광을 출사시키는 헤테로다인레이저와; 상기 자기기록매체로부터 반사된 광을 특정 방향으로 편광시키는 편광부와; 편광된 광을 수광하는 수광부와; 수광된 광으로부터 자기컬신호를 검출하는 검출부와; 검출된 상기 자기컬신호를 표시하는 표시부를 포함한다. 이에 의해 정확하고 용이하게 자기기록매체의 자기컬신호를 검출할 수 있는 광학디바이스의 검사장치 및 그 검사방법이 제공된다.
Abstract translation: 检查磁记录介质的设备和方法 根据本发明的用于检查磁记录介质的设备包括：用于向磁记录介质发射光的外差激光器; 偏振器，用于使从磁记录介质反射的光沿特定方向偏振; 用于接收偏振光的光接收单元; 一种检测器，用于从接收到的光中检测磁卷曲信号; 以及用于显示检测到的磁卷曲信号的显示单元。 由此，提供了能够准确且容易地检测磁记录介质的磁卷曲信号的光学装置的检查装置和检查方法。
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公开(公告)号：KR100541514B1
公开(公告)日：2006-03-14
申请号：KR1019980042966
申请日：1998-10-14
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/265
Abstract: 본 발명은 반도체 웨이퍼의 표면디펙트 분석방법 및 벌크디펙트 분석방법에 관한 것으로써, 본 발명의 표면디펙트의 분석방법은, 이온을 주입시킨 웨이퍼와 이온을 주입시키지 않은 웨이퍼 각각을 소정의 온도의 범위 내에서 소정의 온도의 대역을 따라 열처리시키는 단계; 및 비엠디분석기를 이용하여 상기 열처리가 이루어진 웨이퍼들의 표면디펙트를 분석한 결과의 비교로써 그 거동 등을 분석하는 단계를 구비하여 이루어짐을 특징으로 하고, 본 발명의 벌크디펙트의 분석방법은, 이온을 주입시킨 웨이퍼와 이온을 주입시키지 않은 웨이퍼 각각을 소정의 온도의 범위 내에서 소정의 온도의 대역을 따라 열처리시키는 단계; 상기 열처리가 이루어지는 웨이퍼들을 소정의 온도로 재(在)열처리시키는 단계; 및 비엠디분석기를 이용하여 상기 재열처리가 이루어진 웨이퍼들의 벌크디펙트를 분석한 결과의 비교로써 그 거동 등을 분석하는 단계를 구비하여 이루어짐을 특징으로 한다.
따라서, 이온이 주입된 웨이퍼에 분포하는 표면디펙트 및 벌크디펙트의 거동 등의 분석을 용이하게 수행함에 따라 반도체소자의 제조에 따른 신뢰도가 향상되는 효과가 있다.
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