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公开(公告)号：KR1020100132753A
公开(公告)日：2010-12-20
申请号：KR1020090051516
申请日：2009-06-10
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G06F13/385
Abstract: PURPOSE: A method and an apparatus for transferring data using a USB(Universal Serial Bus) are provided to increase a transmission speed thereof by storing data at a memory and not reading the data when storing the data through the USB. CONSTITUTION: A data transfer controller(111) includes an OS(Operating System), and downloads data from a USB host(110). An external storage controller(115) stores the downloaded data to an external storage device(140). A bus directly connects the downloaded data to the external storage device controller. The OS comprises a file system which manages the storage of the downloaded data to the external storage device.
Abstract translation: 目的：提供使用USB（通用串行总线）传送数据的方法和装置，以通过在存储器中存储数据来增加其传输速度，并且在通过USB存储数据时不读取数据。 构成：数据传输控制器（111）包括OS（操作系统），并从USB主机（110）下载数据。 外部存储控制器（115）将下载的数据存储到外部存储设备（140）。 总线将下载的数据直接连接到外部存储设备控制器。 OS包括管理将下载的数据存储到外部存储设备的文件系统。
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公开(公告)号：KR1020090048186A
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：KR1020070114456
申请日：2007-11-09
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/302
CPC classification number: H03B28/00 , B44C1/227 , H01L23/66 , H01L2223/6627 , H01L2924/0002 , H01L2924/1903 , H01L2924/00
Abstract: 제1 기판의 어느 한 면에 제1 마스크 패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 마스트 패턴을 식각 마스크로 하여 상기 제1 기판을 식각하여 홀을 형성하는 단계; 제2 기판의 어느 한 면에 제2 마스크 패턴을 형성하는 단계; 상기 제2 마스크 패턴을 식각 마스크로 하여 상기 제2 기판을 미리 설정된 깊이만큼 식각하여 홀을 형성하는 단계; 상기 제1 기판의 식각된 면이 상기 제2 기판의 식각된 면에 접합되도록 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판을 접합하는 단계; 상기 제2 기판에 제3 마스크 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 제3 마스크 패턴을 식각 마스크로 하여 상기 제2 기판을 식각하여, 상기 제2 기판을 관통하는 홀을 형성하는 단계를 포함하는 다단계 기판 식각 방법이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 다단계 기판 식각 방법을 사용하면, 식각 후 바닥면에 곡률 반경이 생기거나 단차면에서 오버행(overhang) 구조가 생성되는 것을 방지할 수 있어 식각 품질을 개선할 수 있고, 각 기판에 위치한 얼라인 키를 사용하여 기판을 정교하게 접합할 수 있으며, 다층(multi-layer) 공정이 가능한 이점이 있다.
식각, 발진기, 테라헤르츠, 공융-
公开(公告)号：KR1020090011222A
公开(公告)日：2009-02-02
申请号：KR1020070074593
申请日：2007-07-25
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/306
CPC classification number: H01P11/003 , Y10T428/24802
Abstract: A method for etching multi-stage substrate and a terahertz radiation source using the same are provided to improve etching quality by minimizing a radius of curvature of an edge. A oxide film(310) is formed on a first substrate(300). A photoresist coating is formed on one surface of the first substrate. An align key pattern(330) is formed on a photoresist coated surface. A first mask pattern is formed on an opposite surface of the photoresist coated surface. A hole is formed by etching the first substrate with the first mask pattern as an etching mask. A second substrate(350) is contacted with the first substrate. A second mask pattern is formed on the second substrate. A hole is formed by etching the second substrate with the second mask pattern as an etching mask. An oxide film having etching selection ratio between the first substrate and the second substrate is removed.
Abstract translation: 提供了使用其蚀刻多级衬底和太赫兹辐射源的方法，以通过使边缘的曲率半径最小化来提高蚀刻质量。 氧化膜（310）形成在第一基板（300）上。 在第一基板的一个表面上形成光刻胶涂层。 在光致抗蚀剂涂覆的表面上形成对准键图案（330）。 在光致抗蚀剂涂覆表面的相对表面上形成第一掩模图案。 通过用第一掩模图案作为蚀刻掩模蚀刻第一基板来形成孔。 第二基板（350）与第一基板接触。 在第二基板上形成第二掩模图案。 通过用第二掩模图案蚀刻第二衬底作为蚀刻掩模形成孔。 除去具有第一基板和第二基板之间的蚀刻选择比的氧化物膜。
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公开(公告)号：KR100823131B1
公开(公告)日：2008-04-21
申请号：KR1020060016457
申请日：2006-02-20
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김종석
Abstract: 본 발명에 따른 원격 제어가 가능한 화상 전화 단말기의 제어방법은 제 1 화상 전화 단말기는 제 2 화상 전화 단말기로부터 호가 요청된 후 기 설정 시간이 지나면 자동응답 모드로 동작하는 단계; 상기 제 1 화상 전화 단말기가 제 2 화상 전화 단말기로부터 인증을 위한 DTMF를 수신하는 단계; 상기 제 1 화상 전화 단말기가 기 설정된 비밀번호와 제 2 화상 전화 단말기로부터 입력된 DTMF가 동일한지를 판단하는 단계; 상기 판단 단계에서 상기 기 설정된 비밀번호와 제 2 화상 전화 단말기로부터 입력된 DTMF가 동일하면, 상기 제 1 화상 전화 단말기가 원격 제어 모드로 설정을 변경함과 동시에 제 2 화상 전화 단말기로 원격제어 화면을 전송하는 단계; 및 원격 제어 모드가 설정된 상기 제 1 화상 전화 단말기는 제 2 화상 전화 단말기로부터 입력된 DTMF가 검출되고 해당 동작을 수행한 후 LCD 표시부에 디스플레이함과 동시에 LCD 표시부에 디스플레이되는 화면 정보를 제 2 화상 전화 단말기로 전송하는 단계를 포함하는 것으로, 화상 전화 시스템에서 외부에서 PC 또는 다른 화상 전화 단말기를 이용하여 자신의 화상 전화기에 접속한 후 기존의 전화기의 자동응답 원격제어 보다 다양한 기능의 원격 제어 서비스를 제공받을 수 있는 것이다.
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公开(公告)号：KR100785084B1
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：KR1020060028991
申请日：2006-03-30
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H01H57/00 , H01H2057/006 , Y10T403/7026
Abstract: 개시된 압전형 MEMS 스위치는 기판; 기판의 상면에 소정의 간격부를 두고 서로 대칭되게 형성된 제 1,2 고정신호라인; 간격부에 제 1,2고정신호라인과 동일 선상으로 설치되되, 기판에 일단이 지지되어 상하구동하는 압전액튜에이터; 및 압전액튜에이터의 상면에 적어도 일측이 연결되고, 제 1 고정신호라인 또는 제 2 고정신호라인 중 어느 하나에 일단이 연결되고, 그 타단이 제 1 고정신호라인 또는 제 2 고정신호라인과 접촉 또는 이탈되는 가동신호라인;을 포함한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020070083141A
公开(公告)日：2007-08-23
申请号：KR1020060016457
申请日：2006-02-20
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 김종석
CPC classification number: H04M11/007 , H04M1/64 , H04M11/06
Abstract: A picture phone a remote control function and a remote control method thereof are provided to enable a user to use various remote control services as well as an existing automatic response function after accessing his picture phone through a PC or another picture phone. A picture phone(1) having a remote control function comprises an image storage part(100), a DTMF(Dual Tone Multi Frequency) detection part(200), and a control part(300). The image storage part stores its own image information to be transmitted to the second picture phone(2), its own image information to be displayed on its own LCD part(400), the other side's image information inputted from the second picture phone, and menu and setup screen information in their respective areas. The DTMF detection part detects a DTMF inputted from the second picture phone, connected with the picture phone. The control part, if a DTMF is detected through the DTMF detection part in an automatic response mode, judges whether the detected DTMF is matched with a preset password. If matched, the control part changes the automatic response mode to a remote control mode. Then, if a DTMF is inputted from the second picture phone in the remote control mode, the control part executes an operation corresponding to the inputted DTMF.
Abstract translation: 提供一种图像电话遥控功能及其遥控方法，以使用户能够通过PC或另一个图片电话访问他的图片电话后使用各种遥控服务以及现有的自动响应功能。 具有遥控功能的图像电话（1）包括图像存储部（100），DTMF（双音多频）检测部（200）和控制部（300）。 图像存储部分存储要发送到第二图像电话（2）的自己的图像信息，将自己的图像信息显示在其自己的LCD部分（400）上，另一侧从第二图像电话输入的图像信息，以及 菜单和设置屏幕信息。 DTMF检测部分检测从图像电话连接的第二图像电话输入的DTMF。 控制部分，如果在自动响应模式下通过DTMF检测部分检测到DTMF，则判断检测到的DTMF是否与预设密码相匹配。 如果匹配，则控制部件将自动响应模式更改为远程控制模式。 然后，如果在远程控制模式中从第二图像电话输入DTMF，则控制部分执行与输入的DTMF相对应的操作。
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公开(公告)号：KR1020070083063A
公开(公告)日：2007-08-23
申请号：KR1020060016308
申请日：2006-02-20
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01H59/00
CPC classification number: H01H1/0036 , H01H2057/006 , H01P1/127
Abstract: An MEMS(Micro Electro Mechanical System) switch of a downward type and a method for manufacturing the same are provided to remove an electro magnetic coupling phenomenon generated on a metal of an antenna line and a metal of a substrate through a switch using a piezoelectric force. An MEMS switch(100) of a downward type includes a substrate(110), a first actuator(130), a second actuator(132), a first fixing line(140), a second fixing line(142), a contact metal(150), and a support layer(160). The substrate(110) has first and second cavity units(120,122). The first and second fixing lines(140,142) are formed on the top surface of the substrate(110) not to be cross with the first and second cavity units(120,122). The contact metal(150) is formed by being separated from the surfaces of the first and second fixing lines(140,142). The first and second actuators(130,132) are formed on the first and second cavity units(120,122), and make the contact metal(150) downward to be contacted to at least one of the first and second fixing lines(140,142) when the power is supplied.
Abstract translation: 提供了一种向下型的MEMS（微电子机械系统）开关及其制造方法，以通过使用压电力的开关去除在天线和金属的基板上产生的电磁耦合现象 。 向下型的MEMS开关（100）包括基板（110），第一致动器（130），第二致动器（132），第一固定线（140），第二固定线（142），接触金属 （150）和支撑层（160）。 衬底（110）具有第一和第二腔单元（120,122）。 第一和第二固定线（140,142）形成在不与第一和第二空腔单元（120,122）交叉的基板（110）的顶表面上。 接触金属（150）通过从第一和第二固定线（140,142）的表面分离而形成。 第一和第二致动器（130,132）形成在第一和第二空腔单元（120,122）上，并且当功率（140,122）的功率与第一和第二固定线（140,142）中的至少一个接触时，使接触金属（150）向下接触 被提供。
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公开(公告)号：KR100689806B1
公开(公告)日：2007-03-08
申请号：KR1020000066174
申请日：2000-11-08
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
Abstract: 본 발명은 반도체 제조 설비의 하나인 화학 기상 증착 설비에서 데포 레이트(depo rate)에 영향을 미치는 공정 가스 분사용 샤워 헤드와 히터 블록의 사이에 형성된 갭을 정밀하게 즉정하는 반도체 제조 설비의 갭 측정 장치에 관한 것으로, 본 발명에 의하면 2 개의 전극으로 사용되는 히터 블록 및 샤워 헤드의 사이에 히터 블록 및 샤워 헤드의 갭을 측정하면서 조절할 수 있는 갭 측정 장치를 설치함으로써 갭 조절에 소요되는 시간을 크게 단축시킬 수 있음은 물론 갭을 정밀하게 조정할 수 있음은 물론 작업자간 갭 측정 및 조절 편차를 크게 감소시키는 다양한 효과를 갖는다.
갭 측정, 반도체 제조 설비-
公开(公告)号：KR1020070016041A
公开(公告)日：2007-02-07
申请号：KR1020050070799
申请日：2005-08-02
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
CPC classification number: H01L22/12 , G01N21/8851 , G01N21/9501 , G01N2021/8858 , G01N2021/8887
Abstract: 반도체 기판 상에 형성된 다수의 다이들에 대한 결함 검사 방법에서, 기판 상에는 다수의 행들 및 열들로 배열된 다수의 검사 영역들이 설정되고, 지그재그 형태로 설정된 검사 경로를 따라 상기 검사 영역들로부터 이미지들이 순차적으로 획득된다. 상기 이미지들 중에서 n번째 이미지를 n-1번째 이미지 및 n+1번째 이미지와 비교함으로써 n번째 검사 영역의 결함을 검출할 수 있으며, 상기 n을 변화시키면서 상기 결함 검출 단계를 반복적으로 수행한다. 또한, 상기 다수의 행들 중 첫 번째 행의 첫 번째 검사 영역의 이미지를 상기 첫 번째 행의 두 번째 검사 영역 및 두 번째 행의 마지막 검사 영역으로부터 획득된 이미지들과 각각 비교함으로써 상기 첫 번째 검사 영역의 결함을 검출할 수 있다. 따라서, 기판 상의 최외각 다이들에 대하여도 더블 검출 방식에 의한 결함 검사가 가능하다.
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公开(公告)号：KR1020060074076A
公开(公告)日：2006-07-03
申请号：KR1020040112700
申请日：2004-12-27
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L29/00
CPC classification number: B81B7/007
Abstract: 본 발명에 의한 MEMS 소자 패키지는, MEMS 활성소자가 상면에 형성되어 있는 소자용 기판, MEMS 활성소자가 위치하는 공간을 제공하도록 MEMS 활성소자의 양측에 배치되며 MEMS 활성소자에 전기적으로 연결된 내부전극패드, 내부전극패드의 외곽에 배치되는 실링패드, 실링패드를 통하여 소자용 기판과 결합되며 내부전극패드에 위치하는 부분에 비아홀이 형성된 덮개용 기판, 그리고, 비아홀을 통하여 내부전극패드와 전기적인 접속을 이루도록 덮개용 기판의 상면에 형성된 외부전극패드를 포함한다. 내부전극패드와 실링패드는 Au으로 형성되며, 따라서, 소자용 기판과 덮개용 기판은 실링패드에 의해 Au-Au 다이렉트 본딩된다.
MEMS, 소자, 패키지, 웨이퍼, 기판, 비아홀, Au, 전극, 실링
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