유연성 박막 증착 방법, 및 이를 위한 증착 장치
    21.
    发明公开
    유연성 박막 증착 방법, 및 이를 위한 증착 장치 有权
    柔性薄膜沉积方法及其沉积设备

    公开(公告)号:KR1020170125258A

    公开(公告)日:2017-11-14

    申请号:KR1020160055563

    申请日:2016-05-04

    Abstract: 유연성박막증착방법및 이를위한유연성박막증착장치에관한것으로서, 서로분리된제 1 반응가스공급부및 제 2 반응가스공급부와연결되는반응플라즈마부를구비하고, 상기반응플라즈마부와상기제 1 반응가스공급부및 상기제 2 반응가스공급부각각과의연결을선택적으로전환시키는제어밸브에의해제 1 반응가스와제 2 반응가스가상기반응플라즈마부에선택적으로공급되어상기기재에상기제 1 박막과상기제 2 박막이선택적으로증착되는박막증착장치및 증착방법을포함한다.

    Abstract translation: 柔性薄膜的形成方法,并涉及一种柔性膜沉积装置为此,和连接到所述第一反应气体供给部和彼此分离的第二反应气体供给部的反应等离子体部分,其中所述反应的第一反应气体的供应部分的血浆部分,并且 将用于选择性地切换连接到每个第二反应气体供应部分的控制阀的第一反应气体和第二反应气体选择性地供应到反应等离子体部分,并且第一薄膜和第二薄膜 并选择性地沉积薄膜沉积设备和沉积方法。

    무기박막의 고속 증착방법
    23.
    发明公开
    무기박막의 고속 증착방법 有权
    无机薄膜的高速沉积方法及其设备

    公开(公告)号:KR1020160017646A

    公开(公告)日:2016-02-16

    申请号:KR1020150187842

    申请日:2015-12-28

    Abstract: 무기박막의고속증착방법및 상기무기박막의고속증착을위한제조장치에관한것이다.

    Abstract translation: 本发明涉及无机薄膜的高效率沉积方法和无机薄膜的高速沉积的制造装置。 本发明提供一种无机薄膜的制造方法,其特征在于,包括:使用原料气体和反应气体等离子体处理基材; 在基材上形成无机薄膜作为原料气体,反应气体在基材的表面上反应。

    박막 증착 장치
    24.
    发明授权
    박막 증착 장치 有权
    薄膜沉积装置

    公开(公告)号:KR101533032B1

    公开(公告)日:2015-07-01

    申请号:KR1020150016477

    申请日:2015-02-03

    CPC classification number: H01L51/56 H01L21/02274

    Abstract: 플라즈마부의하단에소스부가배열되고, 플라즈마부에그리드를포함하는박막증착장치에관한것이다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种薄膜沉积装置,其中源单元布置在等离子体单元的下端,并且栅格包括在等离子体单元中。 薄膜沉积设备包括:基材装载单元,其中装载基材; 基材输送单元,其通过组合到所述基材装载单元而交替地移动所述基材; 以及薄膜沉积单元,以在基材上沉积薄膜。 薄膜沉积单元包括等离子体模块,其包括分离的源极和等离子体单元。 等离子体模块的等离子体单元包括:引入等离子体气体的流入单元; 等离子体存储单元,用于存储引入到流入单元中的等离子体气体; 以及多个等离子体产生单元和源单元,其被布置成在等离子体存储单元的下端彼此交叉。 等离子体模块还包括网格。 栅格位于等离子体生成单元的上端或下端,并且包括网状。 电网使等离子体产生单元中产生的离子的损伤最小化,并防止源单元和等离子体单元的混合。

    금 박막 형성 방법 및 인쇄회로기판
    25.
    发明公开
    금 박막 형성 방법 및 인쇄회로기판 无效
    形成所有薄膜和印刷电路板的方法

    公开(公告)号:KR1020140035701A

    公开(公告)日:2014-03-24

    申请号:KR1020120102287

    申请日:2012-09-14

    Abstract: The present invention provides a method for forming an Au thin film, which includes the steps of: forming an Ni plating layer by the electroless Ni plating of the surface of an object; forming a Pd-Cu mixed plating layer by the electroless Pd-Cu mixture plating of the Ni plating layer; and forming a first Au thin film layer by substituting Au for Cu elements of a Pd-Cu mixture by a substitution reaction by immersing the Pd-Cu mixed plating layer in Au galvanic electrolytes. [Reference numerals] (S10) Step for removing a copper print circuit substrate oxide film; (S20) Catalyst activation step; (S30) Ni electroless plating step; (S40) Pd electroless plating step; (S50) Pd-Cu mixture electroless plating step; (S60) Gold galvanic replacement reaction step; (S70) Gold electroless plating step

    Abstract translation: 本发明提供一种形成Au薄膜的方法,其包括以下步骤:通过对象表面的无电Ni镀层形成Ni镀层; 通过Ni镀层的无电Pd-Cu混合电镀形成Pd-Cu混合镀层; 以及通过将Pd-Cu混合镀层浸入Au电解电解质中,通过置换反应将Au代替为Pd-Cu混合物的Cu元素,形成第一Au薄膜层。 (附图标记)(S10)去除铜印刷电路基板氧化膜的步骤; (S20)催化剂活化步骤; (S30)镍化学镀步骤; (S40)Pd化学镀步骤; (S50)Pd-Cu混合物电镀步骤; (S60)金电镀替代反应步骤; (S70)金化学镀步骤

    수분 및 산소 투과도 측정 방법 및 장치
    26.
    发明公开
    수분 및 산소 투과도 측정 방법 및 장치 无效
    用于测量水蒸气和氧气传输的方法和装置

    公开(公告)号:KR1020120138468A

    公开(公告)日:2012-12-26

    申请号:KR1020110057958

    申请日:2011-06-15

    Inventor: 유지범 조성민

    CPC classification number: G01N15/0826 G01M3/02 G01N33/44 G01N2015/086

    Abstract: PURPOSE: A moisture and an oxygen transmission measuring method and a device for the same are provided to improve the accuracy of a moisture and oxygen transmission measurement and to reduce measurement time. CONSTITUTION: A moisture and an oxygen transmission measuring method is as follows. Helium gas is introduced to a first space(3) and nitrogen gas is penetrated through the second space. The helium gas flowing into the second space by penetrating through the measurement object from the first space and the nitrogen gas penetrating through the second space are mixed so that nitrogen-helium mixed gas is formed. The mol concentration of the helium gas of the nitrogen-helium mixed gas discharged from the second space is measured and the mol concentration of the helium gas is converted into moisture penetrated through the measurement object so that the moisture transmission of the measurement object is measured.

    Abstract translation: 目的:提供水分和氧气透过测量方法及其装置,以提高湿气和氧气透过测量的精度并减少测量时间。 构成:水分和氧气透过测量方法如下。 氦气被引入第一空间(3),氮气穿过第二空间。 通过从第一空间穿过测量对象物流入第二空间的氦气和穿过第二空间的氮气混合,形成氮 - 氦混合气体。 测量从第二空间排出的氮 - 氦混合气体的氦气的摩尔浓度,并且将氦气的摩尔浓度转化成穿过测量对象的水分,从而测量测量对象的水分传输。

    대면적 유기조명을 위한 유기발광 장치 및 그 제조 방법
    27.
    发明授权
    대면적 유기조명을 위한 유기발광 장치 및 그 제조 방법 有权
    用于大面积有机照射的有机发光装置及其制造方法

    公开(公告)号:KR101032026B1

    公开(公告)日:2011-05-02

    申请号:KR1020090122606

    申请日:2009-12-10

    Inventor: 조성민 채희엽

    Abstract: PURPOSE: An organic light emitting device for a large organic light and a manufacturing method thereof are provided to independently connect a transparent electrode and a metal electrode to a power source, thereby eliminating problems due to high resistance of the transparent electrode. CONSTITUTION: A first electrode layer(200) is formed on a substrate(100). The first electrode layer is formed of a transparent material with high conductivity and work function. An organic light emitting layer(300) is formed on the first electrode layer. A second electrode layer(400) is formed on the organic light emitting layer. The first and second electrode layers include a power connecting unit extended to an edge of the organic light emitting layer.

    Abstract translation: 目的:提供一种用于大型有机光的有机发光器件及其制造方法,以将透明电极和金属电极独立地连接到电源,从而消除由于透明电极的高电阻引起的问题。 构成:在基板(100)上形成第一电极层(200)。 第一电极层由具有高导电性和功函数的透明材料形成。 在第一电极层上形成有机发光层(300)。 在有机发光层上形成第二电极层(400)。 第一和第二电极层包括延伸到有机发光层的边缘的电力连接单元。

    스크린인쇄에 의한 유기발광소자 및 이의 제조 방법
    28.
    发明公开
    스크린인쇄에 의한 유기발광소자 및 이의 제조 방법 无效
    有机发光装置通过丝网印刷工艺制造方法和使用其的有机发光装置

    公开(公告)号:KR1020070121097A

    公开(公告)日:2007-12-27

    申请号:KR1020060055720

    申请日:2006-06-21

    CPC classification number: H01L51/0004 H01L51/0097 H01L51/56

    Abstract: An organic light emitting display device and a manufacturing method thereof are provided to facilitate an organic film forming process by using a screen printing scheme. A pattern is formed on a screen(30) using a photo-sensitive agent. The photo-sensitive agent is removed from a region to be printed, so that ink(20) penetrates the region to be printed during a printing process. The photo-sensitive agent is coated on a region which is not to be printed, so that the photo-sensitive agent is blocked by the screen. The screen has a flexible property, so that the screen is contacted with a substrate, when the ink is applied using a squeegee(10). The ink which penetrates the screen is applied on the substrate.

    Abstract translation: 提供一种有机发光显示装置及其制造方法,以通过使用丝网印刷方案促进有机成膜工艺。 使用光敏剂在屏幕(30)上形成图案。 从要印刷的区域去除感光剂,使得油墨(20)在印刷过程中穿透要印刷的区域。 感光剂涂布在不被印刷的区域上,使得感光剂被屏幕遮挡。 当使用刮板(10)施加墨水时,屏幕具有柔性,使得屏幕与基底接触。 渗入筛网的油墨被涂在基材上。

    전사방법을 이용한 연료전지용 전극 제조 방법 및 그전극을 포함하는 연료전지
    29.
    发明授权
    전사방법을 이용한 연료전지용 전극 제조 방법 및 그전극을 포함하는 연료전지 失效
    使用贴花法制造燃料电池电极的方法和含有该电极的燃料电池

    公开(公告)号:KR100555045B1

    公开(公告)日:2006-03-30

    申请号:KR1020030036094

    申请日:2003-06-04

    Abstract: 촉매 입자, 수소이온전도성 고분자, 및 상기 촉매 입자 및 상기 수소이온전도성 고분자를 분산 또는 용해할 수 있는 용매 시스템을 혼합하고 교반하여 상기 촉매 입자가 균일하게 분산된 촉매슬러리를 제조하는 단계; 상기 촉매슬러리를 고분자 기재상에 도포하고 건조하여 상기 고분자 기재상에 촉매층을 형성하는 단계; 및 상기 촉매층과 확산층이 접하도록 상기 고분자 기재와 상기 확산층을 겹친 후 열과 압력을 가함으로써 상기 촉매층을 상기 확산층위로 전사시켜 전극을 제조하는 단계를 포함하는 연료전지용 전극 제조방법 및 이에 의하여 제조된 전극을 포함하는 연료전지가 제공된다. 본원 발명에 따른 제조방법은 (1) 동일한 전지성능을 얻기 위하여 촉매 충전량을 획기적으로 낮출 수 있으며, (2) 확산층과 촉매층과의 사이의 계면특성이 매우 균일하며 계비저항을 획기적으로 감소시킬 수 있으며, 또한 (3) 촉매층 형성방법이 연속공정이 가능하며 제조비용을 획기적으로 낮출 수 있는 장점이 있으며, 이로 인해 상업적으로 대량생산에 적합하다.

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